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SFM/SNOM结合的扫描探测显微镜 被引量:3
1
作者 祝生祥 李杰 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第2期136-138,共3页
采用光纤探针的扫描近场光学显微镜 (SNOM)存在某些弱点 ,如探针特别脆 ,不易贴近样品表面扫描 ,探针的转输效率低等。近年来发展了将SFM /SNOM结合起来的扫描探测显微镜。利用微加工工艺技术 ,将小孔集成在悬臂探针中 ,使探针既能批量... 采用光纤探针的扫描近场光学显微镜 (SNOM)存在某些弱点 ,如探针特别脆 ,不易贴近样品表面扫描 ,探针的转输效率低等。近年来发展了将SFM /SNOM结合起来的扫描探测显微镜。利用微加工工艺技术 ,将小孔集成在悬臂探针中 ,使探针既能批量制备 ,又具有很好的重复性。探针悬臂在垂直于样品表面方向上的弹性常数较小 ,针尖不易损坏。在接触模式中利用这种SFM /SNOM组合探针可将样品的形貌像、摩擦力和光学透射像等信息同时记录下来。对于综合研究样品表面的介观性质十分有利。 展开更多
关键词 SNOM sfm 显微镜 集成悬臂探针
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自敏感式SFM的研发及其在微小垂直面无损测量中的应用(英文)
2
作者 单学传 前田龙太郎 +1 位作者 小林健 张国雄 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第1期32-37,共6页
介绍了一种新颖的扫描原子力显微 (SFM )方法 ,它可用于微机械垂直面的无损测量 ,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的 .除操作灵活外 ,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身的偏移 .因此 ,这使得测量微小垂直镜面的反射面以及微... 介绍了一种新颖的扫描原子力显微 (SFM )方法 ,它可用于微机械垂直面的无损测量 ,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的 .除操作灵活外 ,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身的偏移 .因此 ,这使得测量微小垂直镜面的反射面以及微模插入物内壁等微结构的特征时可以精确定位 .本方法已成功地应用于测量微模长方形腔体的内壁和热压聚合物微镜的反射面 ,该微镜的尺寸是 5 0 0 μm (长 )× 10 0 μm(宽 )× 2 0 0 μm (高 ) . 展开更多
关键词 自敏感悬臂 扫描原子力显微镜 无损测量 微镜 微模 微机械
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Three-dimensional atomic force microscopy based on tailored cantilever probe with flared tip
3
作者 ZHANG Rui WU Sen +3 位作者 XIAO Sha-sha HU Xiao-dong SHI Yu-shu FU Xing 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2020年第4期388-396,共9页
In order to meet the requirements of nondestructive testing of true 3D topography of micro-nano structures,a novel three-dimensional atomic force microscope(3D-AFM)based on flared tip is developed.A high-precision sca... In order to meet the requirements of nondestructive testing of true 3D topography of micro-nano structures,a novel three-dimensional atomic force microscope(3D-AFM)based on flared tip is developed.A high-precision scanning platform is designed to achieve fast servo through moving probe and sample simultaneously,and several combined nanopositioning stages are used to guarantee linearity and orthogonality of displacement.To eliminate the signal deviation caused by AFM-head movement,a traceable optical lever system is designed for cantilever deformation detection.In addition,a method of tailoring the cantilever of commercial probe with flared tip is proposed to reduce the lateral force applied on the tip in measurement.The tailored probe is mounted on the 3D-AFM,and 3D imaging experiments are conducted on different samples by use of adaptive-angle scanning strategy.The results show the roob-mean-square value of the vertical displacement noise(RMS)of the prototype is less than 0.1 nm and the high/width measurement repeatability(peak-to-peak)is less than 2.5 nm. 展开更多
关键词 three-dimensional atomic force microscope(3D-AFM) flared tip SCANNER optical lever vector scanning
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原子力显微镜-扫描电子显微镜共定位表征系统的研发与应用
4
作者 蔡蕊 万鹏 +2 位作者 徐强 吕天明 孙智广 《分析测试技术与仪器》 CAS 2024年第1期53-57,共5页
微纳加工过程中,常有样品需要进行聚焦离子束(FIB)溅射、切割,扫描电子显微镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)表征,而这三类仪器都需要将样品固定在样品台上才可测试,固定不佳会影响表征结果.但固定好的样品在不同仪器之间转移、拆卸、再固... 微纳加工过程中,常有样品需要进行聚焦离子束(FIB)溅射、切割,扫描电子显微镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)表征,而这三类仪器都需要将样品固定在样品台上才可测试,固定不佳会影响表征结果.但固定好的样品在不同仪器之间转移、拆卸、再固定的过程中极易受到破坏.基于以上问题,设计了AFM-SEM-FIB样品共定位系统,可实现样品在此三种仪器之间的无损转移及共定位,避免珍贵样品破坏及目标丢失,以及解决AFM扫描无法控制方向、迅速调整位点等问题.在微纳表征中有优异的表现,系统已被开发成产品并量产销售. 展开更多
关键词 共定位系统 原子力显微镜 扫描电子显微镜 聚焦离子束 微纳表征
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Micro-galvanic corrosion behaviour of Mg-(7,9)Al-1Fe-xNd alloys
5
作者 Kai-xuan FENG Tao LAI +6 位作者 Yang CHEN Zheng YIN Zhi-qin WU Hong YAN Hong-gun SONG Chao LUO Zhi HU 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第9期2828-2848,共21页
The localized micro-galvanic corrosion process and the kinetic information of Mg-(7,9)Al-1Fe-x Nd alloys were investigated by in situ observation under electrochemical control and in situ atomic force microscopy(AFM)i... The localized micro-galvanic corrosion process and the kinetic information of Mg-(7,9)Al-1Fe-x Nd alloys were investigated by in situ observation under electrochemical control and in situ atomic force microscopy(AFM)in an electrolyte environment.The results revealed that the formation of the Nd-rich phase in alloys resulted in a decrease in the Volta potential difference from~400 m V(AlFe3/α-Mg)to~220 mV(Nd-rich/α-Mg),reducing the corrosion products around the cathodic phase and corrosion current density of the microscale area.The addition of Nd significantly improved the corrosion resistance,mainly due to the suppression of the micro-galvanic corrosion between the second phases and substrate.Finally,the corrosion mechanism of Mg-(7,9)Al-1Fe-x Nd alloys was discussed based on in situ observations and electrochemical results. 展开更多
关键词 magnesium alloy scanning Kelvin probe force microscope micro-galvanic corrosion in situ observation atomic force microscopy
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电力变压器用绝缘纸热老化的微观结构及形貌研究 被引量:42
6
作者 廖瑞金 唐超 +2 位作者 杨丽君 孙才新 张昀 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第33期59-64,共6页
对绝缘纸在热老化过程中微观形貌、纸纤维的结构以及其超微结构等的变化发展进行研究。通过对比绝缘纸样品的原子力显微镜图片,发现初始绝缘纸纤维素的原子排列致密而有序,但经过加速热老化后葡萄糖单体的六边形结构受到破坏。此外,通... 对绝缘纸在热老化过程中微观形貌、纸纤维的结构以及其超微结构等的变化发展进行研究。通过对比绝缘纸样品的原子力显微镜图片,发现初始绝缘纸纤维素的原子排列致密而有序,但经过加速热老化后葡萄糖单体的六边形结构受到破坏。此外,通过扫描电镜照片可以发现纤维素的细胞壁在老化过程中逐渐破裂,同时纤维素的长度及粗度均有减小。通过X光衍射分析显示绝缘纸样品的结晶度及晶粒尺寸在老化过程中逐渐减小,但仍保持原有的纤维素晶型和两相共存的微细结构。试验证明,绝缘纸老化的微观结构研究对进一步了解绝缘纸纤维老化的发展过程及其老化机理有很好的帮助。 展开更多
关键词 绝缘纸 热老化 原子力显微镜 扫描电镜 X光 衍射
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扫描探针显微术的应用(综述) 被引量:5
7
作者 蔡继业 曾洁铭 +1 位作者 王煜 曾耀英 《暨南大学学报(自然科学与医学版)》 CAS CSCD 2001年第3期91-95,共5页
扫描探针显微镜 (SPM)是扫描隧道显微镜 (STM)、原子力显微镜 (AFM)、近场光学显微镜(SNOM)等近几年发展起来的新型显微镜的总称 .SPM的发展使得在纳米尺度上研究物质的特性和相互作用成为可能 ,它为生物。
关键词 扫描探针显微镜 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 近场光学显微镜 纳米科学技术
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原子力显微镜及其应用 被引量:26
8
作者 刘小虹 颜肖慈 +1 位作者 罗明道 李伟 《自然杂志》 北大核心 2002年第1期36-40,共5页
本文简要介绍了原子力显微镜的发展史 ,评述了原子力显微镜的工作原理、工作模式及技术 。
关键词 原子力显微镜 针尖 微悬臂 扫描探针显微镜
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纳米孔阵列阳极氧化铝膜的制备和表征(英文) 被引量:7
9
作者 杨文彬 朱世富 +4 位作者 赵北君 叶军 倪经 甄万宝 陈兴明 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第4期366-370,共5页
本文通过在0℃、0.5mol·L-1的草酸溶液中阳极氧化高纯铝片的方法制得了阳极氧化铝(AAO)膜,并用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对AAO膜的形貌和结构进行了表征。结果表明,阻挡层AAO膜中大小一致的膜胞在铝/氧化铝界面上排... 本文通过在0℃、0.5mol·L-1的草酸溶液中阳极氧化高纯铝片的方法制得了阳极氧化铝(AAO)膜,并用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对AAO膜的形貌和结构进行了表征。结果表明,阻挡层AAO膜中大小一致的膜胞在铝/氧化铝界面上排成六方形阵列;有孔层AAO膜中含有高度有序的纳米孔阵列和膜胞阵列,并且孔的直径和膜胞的尺寸都具有较窄的分布。另外,考察了阳极氧化电压对膜胞尺寸、孔径大小、孔密度和膜胞密度的影响,表明在一定的电压范围内,膜胞和孔径都随电压的升高而增大,而孔密度和膜胞密度却随电压的升高而减小。 展开更多
关键词 纳米孔阵列 制备 扫描电子显微镜 原子力显微镜 阳极氧化铝膜 表征 形貌 结构
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扫描探针显微镜系列及其应用综述 被引量:16
10
作者 田文超 贾建援 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期108-112,共5页
扫描探针显微镜将人类带入原子世界,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况,而且能够按照人类的意图实现原子操纵.回顾了扫描探针显微镜的历史,介绍了目前国际上各种系列的扫描探针显微镜基本原理、主要特点、研究现状和最新应用... 扫描探针显微镜将人类带入原子世界,使人类不仅能够观察到物质表面原子的排布情况,而且能够按照人类的意图实现原子操纵.回顾了扫描探针显微镜的历史,介绍了目前国际上各种系列的扫描探针显微镜基本原理、主要特点、研究现状和最新应用情况,重点介绍了原子操纵和生命科学、信息科学领域的应用,提出了扫描探针显微镜目前的研究方向. 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 原子操纵 纳米技术 PDM NSOM SPM
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扫描探针显微术在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用 被引量:5
11
作者 赵健伟 阚蓉蓉 +1 位作者 章岩 陈洪渊 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第1期124-130,共7页
介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子... 介绍了近十年来扫描探针显微术(SPM)在巯醇自组装单分子膜纳米刻蚀中的应用.依据扫描探针的工作原理,依次讨论了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和导电原子力显微镜的工作特点和适用范围.同时也讨论了自组装单分子膜纳米刻蚀术在生物分子传感器、超高密度信息存储等领域的应用前景. 展开更多
关键词 扫描探针显微术 自组装膜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 纳米刻蚀
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聚酰亚胺静电损伤和取向作用失效的系统观测 被引量:6
12
作者 魏怀鹏 李艳龙 +1 位作者 叶文江 张志东 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期320-323,共4页
利用偏光显微镜、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对聚酰亚胺(PI)表面正常区域和静电损伤区域进行系统观测。偏光显微镜的观测基于超扭曲向列相液晶显示(STN—LCD)的关态透射原理,并确定损伤区域的线度在50~100μm。用SEM... 利用偏光显微镜、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对聚酰亚胺(PI)表面正常区域和静电损伤区域进行系统观测。偏光显微镜的观测基于超扭曲向列相液晶显示(STN—LCD)的关态透射原理,并确定损伤区域的线度在50~100μm。用SEM区分静电损伤引起的“白点”与尘粒引起的“白点”,同时观测到电极被局域破坏,其线度沿电极边缘约20μm。通过AFM的直接观测发现,与正常区域比较损伤区域失去了沟槽结构,但仍然保持深度在10nm以内的二维无序凹凸结构,其原因为:损伤后PI对液晶分子取向作用失效的机制是沟槽结构的消失。 展开更多
关键词 液晶显示 聚酰亚胺 静电损伤 偏光显微镜 扫描电镜 原子力显微镜
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化学力显微镜针尖修饰技术研究新进展 被引量:9
13
作者 彭章泉 唐智勇 汪尔康 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期644-648,共5页
评述了化学力显微镜的新成果。对自组装单分子膜修饰扫描探针显微镜针尖,生物分子修饰原子力显微镜针尖,电化学方法修饰扫描隧道显微镜针尖,纳米碳管材料修饰原子力显微镜针尖等作了介绍。
关键词 化学力显微镜 扫描探针显微镜 针法修饰技术
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纳米尺度铁电畴的扫描力显微镜成像研究进展 被引量:3
14
作者 曾华荣 方健文 +2 位作者 惠森兴 李国荣 殷庆瑞 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期1095-1104,共10页
扫描力显微镜(SFM)作为一种新型的超分辨率近场扫描探针显微仪器正日益受到各学科领域的高度重视.在铁电材料领域,SFM是开展纳米尺度铁电畴结构成像、纳米尺度畴结构控制及纳米尺度微区的铁电性、介电性、压电性等特性研究的潜在的强有... 扫描力显微镜(SFM)作为一种新型的超分辨率近场扫描探针显微仪器正日益受到各学科领域的高度重视.在铁电材料领域,SFM是开展纳米尺度铁电畴结构成像、纳米尺度畴结构控制及纳米尺度微区的铁电性、介电性、压电性等特性研究的潜在的强有力的研究工具.本文就纳米尺度铁电畴的扫描力显微镜的成像原理的研究进展作一综述. 展开更多
关键词 扫描力显微镜成像 研究进展 纳米尺度 铁电畴 铁电材料
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两种方法提取的麦冬多糖结构及聚集行为的比较研究 被引量:8
15
作者 王小梅 孙润广 +2 位作者 张静 郝长春 张力妮 《电子显微学报》 CAS CSCD 2013年第1期54-61,共8页
本文利用热水提取法与超声提取法提取麦冬多糖,并利用傅里叶变换红外光谱法、原子力显微镜(AFM)及扫描电子显微镜(SEM)对两种方法提取的麦冬多糖的官能团及表面形貌进行了比较研究。结果表明,热水提取的麦冬多糖(WPOJ-DS)与超声提取的... 本文利用热水提取法与超声提取法提取麦冬多糖,并利用傅里叶变换红外光谱法、原子力显微镜(AFM)及扫描电子显微镜(SEM)对两种方法提取的麦冬多糖的官能团及表面形貌进行了比较研究。结果表明,热水提取的麦冬多糖(WPOJ-DS)与超声提取的麦冬多糖(UPOJ-DS)的官能团存在明显差别,在WPOJ-DS中检测到β-葡萄吡喃糖,而UPOJ-DS中没有。两种多糖的AFM观测结果表明,相对于WPOJ-DS,UPOJ-DS的分散性更好,能观察到多糖单分子链形态以及明显的螺旋结构,说明超声处理可能对麦冬多糖的分子间及分子内氢键产生影响。SEM结果表明,UPOJ-DS相对于WPOJ-DS大片状结构减少,且出现很多棒状及小球状颗粒,说明超声处理使麦冬多糖产生了降解。因此,超声提取法会对麦冬多糖的分子结构及聚集行为产生影响。 展开更多
关键词 麦冬多糖 超声 原子力显微镜 扫描电子显微镜
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绿茶多糖的扫描电镜制样新方法及原子力显微镜观察 被引量:19
16
作者 秦利鸿 曹建波 易伟松 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期162-167,共6页
利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对绿茶多糖及酶解绿茶多糖试样进行显微成像,得到颗粒状或由单个颗粒聚集成的形貌结构。结果表明:改进制样方法的扫描电镜观察结果与原子力显微镜成像基本一致,说明了改进后的扫描电镜制样方法是... 利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对绿茶多糖及酶解绿茶多糖试样进行显微成像,得到颗粒状或由单个颗粒聚集成的形貌结构。结果表明:改进制样方法的扫描电镜观察结果与原子力显微镜成像基本一致,说明了改进后的扫描电镜制样方法是一种简单有效的方法。实验结果还在一定程度上解释了绿茶多糖经酶解后其微观形态的变化情况。 展开更多
关键词 绿茶多糖 扫描电镜 原子力显微镜
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盐冻循环条件下改性沥青微细观结构 被引量:11
17
作者 崔亚楠 韩吉伟 +2 位作者 冯蕾 李嘉迪 王乐 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期452-458,共7页
利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究了内蒙古地区道路工程常用沥青(基质沥青、SBS改性沥青和胶粉改性沥青)盐冻循环前、后的细观结构变化,分析了改性剂与沥青的相互作用机理。结果表明,SEM和AFM可以相互补充,能更好地反映... 利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究了内蒙古地区道路工程常用沥青(基质沥青、SBS改性沥青和胶粉改性沥青)盐冻循环前、后的细观结构变化,分析了改性剂与沥青的相互作用机理。结果表明,SEM和AFM可以相互补充,能更好地反映沥青在不同状态下细观结构的变化。在冻融循环后,各种沥青发生不同程度的水老化,特别是盐冻循环后基质沥青与SBS改性沥青中出现盐晶粒,沥青膜破坏明显;而胶粉改性沥青中胶粉颗粒抑制盐晶粒的生长,且胶粉颗粒本身具有弹性,低温性能虽有下降,但多次冻融循环后仍能保持较好的形态。 展开更多
关键词 道路工程 基质沥青 改性沥青 盐冻循环 微观结构 扫描电子显微镜 原子力显微镜
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AFM扫描参数对样品粗糙度测量的影响 被引量:8
18
作者 王子仪 张荣君 +2 位作者 郑玉祥 张振生 李海涛 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2013年第2期5-7,共3页
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是纳米科技研究领域的一种重要工具。作为一种近场成像仪器,参数的选择对样品成像的效果有着很大的影响,不当的参数甚至可能造成样品的损坏。通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度作为评判标... 原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是纳米科技研究领域的一种重要工具。作为一种近场成像仪器,参数的选择对样品成像的效果有着很大的影响,不当的参数甚至可能造成样品的损坏。通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度作为评判标准,改变AFM各项扫描参数,研究了AFM中不同参数的调整对于样品扫描图像的影响。结果表明,振幅阈值、扫描速率、积分增益三项参数对于测量样品表面粗糙度均有较大影响,通过适当改变扫描参数,可以有效提升AFM的样品扫描质量。 展开更多
关键词 原子力显微镜 扫描参数 表面粗糙度
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利用AFM在不同加工参数下实现纳米加工 被引量:2
19
作者 王研 郑丽芬 +2 位作者 胡晓东 傅星 胡小唐 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期33-36,共4页
利用扫描探针显微镜(SPM)进行电场诱导氧化加工的方法可应用于半导体微型器件和纳米电子器件的加工制作.文中研究了原子力显微镜(AFM)电场诱导氧化理论以及一些加工参数(偏置电压和加工速度)对加工结构尺寸的影响,并提出了阈值电压的概... 利用扫描探针显微镜(SPM)进行电场诱导氧化加工的方法可应用于半导体微型器件和纳米电子器件的加工制作.文中研究了原子力显微镜(AFM)电场诱导氧化理论以及一些加工参数(偏置电压和加工速度)对加工结构尺寸的影响,并提出了阈值电压的概念.通过实验得出了偏压越大,加工线尺寸越大的结论,并指出随着加工速度的增大,加工线宽和线高都减小,且加工线高度和加工速度近似呈负对数关系.实验是在H钝化的Si表面上进行的. 展开更多
关键词 AFM 加工参数 纳米加工 原子力显微镜 电场诱导氧化 偏置电压 加工速度 阈值电压
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基于硅悬臂高阶谐振的动态原子力显微镜的快速扫描 被引量:3
20
作者 黄强先 尤焕杰 +2 位作者 袁丹 赵阳 胡小娟 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期656-663,共8页
利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM。介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理,从理论上证明了利用... 利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM。介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理,从理论上证明了利用硅悬臂梁高阶谐振特性实现快速扫描的可行性。以自制的AFM为研究对象,分析了影响动态AFM扫描速度的主要因素,对系统各模块的响应时间进行了分析、测试,并通过实验证明了AFM在二阶谐振模态下的稳定时间明显小于一阶谐振模态下的稳定时间。最后,分别用一阶、二阶谐振模态对光栅试样在同一区域的表面形貌进行了扫描测试,测试数据表明:在相同条件下,AFM的扫描速度在二阶谐振模态下约是一阶模态下的3.3倍。理论分析和实验结果证明了利用高阶谐振探针提高AFM扫描速度的可行性和有效性。 展开更多
关键词 原子力显微镜(AFM) 硅悬臂梁 高阶谐振 扫描速度
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