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X-ray detection based on complementary metal-oxide-semiconductor sensors
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作者 Qian-Qian Cheng Chun-Wang Ma +3 位作者 Yan-Zhong Yuan Fang Wang Fu Jin Xian-Feng Liu 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2019年第1期43-48,共6页
Complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) sensors can convert X-rays into detectable signals; therefore, they are powerful tools in X-ray detection applications. Herein, we explore the physics behind X-ray detecti... Complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) sensors can convert X-rays into detectable signals; therefore, they are powerful tools in X-ray detection applications. Herein, we explore the physics behind X-ray detection performed using CMOS sensors. X-ray measurements were obtained using a simulated positioner based on a CMOS sensor, while the X-ray energy was modified by changing the voltage, current, and radiation time. A monitoring control unit collected video data of the detected X-rays. The video images were framed and filtered to detect the effective pixel points(radiation spots).The histograms of the images prove there is a linear relationship between the pixel points and X-ray energy. The relationships between the image pixel points, voltage, and current were quantified, and the resultant correlations were observed to obey some physical laws. 展开更多
关键词 X-ray detection SIMULATED POSITIONER COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-semiconductor sensor Effective PIXEL POINTS
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Influences of semiconductor laser on fibre-optic distributed disturbance sensor based on Mach-Zehnder interferometer 被引量:1
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作者 梁生 张春熹 +4 位作者 蔺博 林文台 李勤 钟翔 李立京 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第12期339-346,共8页
This paper investigates the influences of a semiconductor laser with narrow linewidth on a fibre-optic distributed disturbance sensor based on Mach-Zehnder interferometer. It establishes an effective numerical model t... This paper investigates the influences of a semiconductor laser with narrow linewidth on a fibre-optic distributed disturbance sensor based on Mach-Zehnder interferometer. It establishes an effective numerical model to describe the noises and linewidth of a semiconductor laser, taking into account their correlations. Simulation shows that frequency noise has great influences on location errors and their relationship is numerically investigated. Accordingly, there is need to determine the linewidth of the laser less than a threshold and obtain the least location errors. Furthermore, experiments are performed by a sensor prototype using three semiconductor lasers with different linewidths, respectively, with polarization maintaining optical fibres and couplers to eliminate the polarization induced noises and fading. The agreement of simulation with experimental results means that the proposed numerical model can make a comprehensive description of the noise behaviour of a semiconductor laser. The conclusion is useful for choosing a laser source for fibre-optic distributed disturbance sensor to achieve optimized location accuracy. What is more, the proposed numerical model can be widely used for analysing influences of semiconductor lasers on other sensing, communication and optical signal processing systems. 展开更多
关键词 fibre-optic distributed sensor semiconductor laser narrow linewidth laser fibre-optic interferometric sensor
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基于串级模糊PID控制的NB-IoT智能保温箱
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作者 陈广庆 辛金泽 +4 位作者 张磊 吴真强 魏军英 李壮贤 刘婷 《现代电子技术》 北大核心 2024年第20期170-176,共7页
针对农产品冷链物流中存在的运力不足和无法混装小批量冷链农产品等问题,提出一种基于NB-IoT技术的智能保温箱解决方案。该方案基于半导体制冷片、PT100温度传感器和NB-IoT技术构建了系统的硬件部分,实现了远程温控和冷链物流追溯,同时... 针对农产品冷链物流中存在的运力不足和无法混装小批量冷链农产品等问题,提出一种基于NB-IoT技术的智能保温箱解决方案。该方案基于半导体制冷片、PT100温度传感器和NB-IoT技术构建了系统的硬件部分,实现了远程温控和冷链物流追溯,同时利用串级模糊PID算法实现了全程精确控温。此外,基于Simulink搭建了智能保温箱温度控制系统模型,通过仿真对比验证了智能保温箱的温度控制效果。结果显示,与PID算法和模糊PID算法相比,保温箱应用的串级模糊PID算法具有更快的调节速度和更小的超调量,并在受到干扰时表现出更好的稳定性,为农产品冷链物流领域提供了高效可靠的温度控制方案。 展开更多
关键词 NB-IoT 串级模糊PID 智能保温箱 半导体制冷 温度传感器 冷链物流
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基于纳米WO_(3)半导体材料的H_(2)气体传感器的研究现状
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作者 徐红燕 李根 《中国粉体技术》 CAS CSCD 2024年第5期9-20,共12页
【目的】梳理对氢气气体响应快、灵敏度高的气体传感器研究现状,为研究高灵敏度、高选择性、易制备的H2气体传感器提供思路。【研究现状】纳米WO_(3)材料作为N型半导体,具有宽带隙、热稳定性高、易合成等优点,广泛应用于气体传感器领域;... 【目的】梳理对氢气气体响应快、灵敏度高的气体传感器研究现状,为研究高灵敏度、高选择性、易制备的H2气体传感器提供思路。【研究现状】纳米WO_(3)材料作为N型半导体,具有宽带隙、热稳定性高、易合成等优点,广泛应用于气体传感器领域;WO_(3)基氢气传感器发展迅速,综述近年来国内外WO_(3)基氢气传感器的研究成果,概括WO_(3)材料氢气传感器制备技术、形貌特征、气敏性能的研究成果,总结上述成果的优势与现阶段的局限性;WO_(3)纳米材料由于独特的结构特性,存在多种提高其性能的方式,包括形貌控制、异质结构筑、贵金属掺杂;重点阐述WO_(3)纳米材料不同调整修饰技术的基本原理。【展望】WO_(3)基氢气传感器的发展势头较好,提升性能的方式灵活多样,制备出的传感器气敏性能优异,WO_(3)基氢气传感器在未来具有深厚的发展潜力。 展开更多
关键词 气体传感器 氧化物半导体 三氧化钨
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金属氧化物半导体MEMS气体传感器研究进展 被引量:2
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作者 尹嘉琦 沈文锋 +3 位作者 吕大伍 赵京龙 胡鹏飞 宋伟杰 《材料导报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期30-43,共14页
随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的... 随着物联网的快速发展,各领域对气体监测的需求越来越大,基于先进微机电系统(Micro-electro-mechanical systems, MEMS)技术的金属氧化物半导体(Metal oxide semiconductor, MOS)气体传感器在过去几十年里取得了很大发展。MEMS微热板的多样化设计、MOSs纳米结构的多样化以及机器学习算法的出现为MEMS的传感性能以及智能传感系统的构建提供了很大助力。本文从MEMS气体传感器的分类、制备和应用以及传感器阵列的构建等方面综述了金属氧化物半导体MEMS气体传感器的最新研究进展,并对MEMS基气体传感器的发展前景进行了总结和展望。 展开更多
关键词 气体传感器 金属氧化物半导体 微机电系统 传感器阵列 智能传感系统
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针对半导体气体传感器的电信号采集装置
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作者 段奇 王宇轩 +3 位作者 李栋辉 刘东明 韩丹 桑胜波 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期88-90,98,共4页
针对半导体气体传感器对环境敏感、电阻跨度大的特性,设计了一种针对半导体气体传感器灵敏度高、体积小、适用性广的电信号采集装置。采用多档位分压法实现对欧姆(Ω)至吉欧姆(GΩ)范围的电阻测量,通过滤波与温湿度补偿消除物理、温湿... 针对半导体气体传感器对环境敏感、电阻跨度大的特性,设计了一种针对半导体气体传感器灵敏度高、体积小、适用性广的电信号采集装置。采用多档位分压法实现对欧姆(Ω)至吉欧姆(GΩ)范围的电阻测量,通过滤波与温湿度补偿消除物理、温湿度干扰;同时装置具有本地报警、上位机报警、气室等设计。本文装置实现了半导体气体传感器的精确测量,同时设计集成电路,将传感器封装为可实际应用系统,采用国产EDA与核心芯片设计,有效填补了该领域的空白。 展开更多
关键词 半导体气体传感器 嵌入式 大电阻测量
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精准温度控制半导体激光治疗仪及其可靠性分析
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作者 戴丽 张旺 +1 位作者 温易宸 赵俊 《中国医疗设备》 2024年第9期28-34,共7页
目的探究影响基于保偏光纤温度传感器的半导体激光治疗仪功率稳定输出的关键因素,探索实用化的激光治疗系统光电子器件可靠性分析方法。方法基于可靠性框图法,对系统光电子器件及其外围电路建立可靠度(RSL)、失效率(λSL)和平均寿命(LSL... 目的探究影响基于保偏光纤温度传感器的半导体激光治疗仪功率稳定输出的关键因素,探索实用化的激光治疗系统光电子器件可靠性分析方法。方法基于可靠性框图法,对系统光电子器件及其外围电路建立可靠度(RSL)、失效率(λSL)和平均寿命(LSL)分析模型,分析使用环境、运行时间(t)和工作温度(T)对系统运行可靠性的影响。基于加速寿命模型分别在室温大驱动电流(T=25℃、I=2.5 A)、高温工作电流(T=50℃、I=1.5 A)和高温大驱动电流(T=50℃、I=2.5 A)条件下,测试LSL与T、I以及T和I相互作用条件下的关系。结果仿真结果表明,λSL随T的增加而增加,LSL随T的增加而降低,RSL随T和t的增加而降低,在I为1.5 A、T为50℃的条件下,λSL、LSL、RSL估计值分别为5.229×10-51/h、17824.500 h、0.11418。实验结果显示,LSL分别为22873、17693和4780 h,实验测试结果与仿真结果吻合。结论基于本研究所提方法,可结合系统架构、设计方法、使用环境,分析计算出设备的λSL是否满足使用规范,进而预测出设备的RSL与LSL,为设计制造与临床使用提供数据支撑。 展开更多
关键词 半导体激光治疗仪 光纤温度传感器 可靠性框图 加速寿命实验 可靠性
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半导体激光器驱动器的SPICE仿真及其在气体传感系统的应用
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作者 丛梦龙 周昆鹏 《现代电子技术》 北大核心 2024年第18期77-82,共6页
为了提高激光器的工作可靠性和稳定性,借助TINA-SPICE软件对其驱动电路进行辅助设计,并通过电调制和光电检测系统实验检验设计效果。对驱动器的恒流输出电路的幅频特性和瞬态响应进行仿真,预测潜在的电流振荡现象,并提出一种用于补偿环... 为了提高激光器的工作可靠性和稳定性,借助TINA-SPICE软件对其驱动电路进行辅助设计,并通过电调制和光电检测系统实验检验设计效果。对驱动器的恒流输出电路的幅频特性和瞬态响应进行仿真,预测潜在的电流振荡现象,并提出一种用于补偿环路增益的易用方案。通过对比补偿前后的仿真曲线,验证了该方案的可行性。在此基础上,以STM32H743作为中央处理核心,通过触摸屏图形化设置和监测驱动电流参数,从而调度激光器驱动电路的运行。在296 K环境温度下,利用该电路进行半导体激光器电调制特性实验,通过拟合波长与电流得到调制系数为0.045 cm-1/mA。进一步地,将该控制器引入基于红外光谱吸收技术的气体传感系统,完成了对甲烷气体的定量分析。分析结果表明,所设计的电路能稳定地驱动激光器并实现对波长的精准调制,获得的气体传感系统的检测下限低于8 ppm。 展开更多
关键词 半导体激光器 驱动电路 压控电流源 SPICE仿真 气体传感器 电调制 环路增益
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SF_(6)分解组分的气体传感器检测方法综述 被引量:1
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作者 蒋庆明 张艳妹 +3 位作者 王明祥 李洨雨 徐敏 贾鹏飞 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2024年第3期1-14,共14页
填充六氟化硫(SF_(6))的电气设备内部存在绝缘缺陷时可能发生过热或放电,迫使SF_(6)分解产生一些特定的气体副产物。通过检测这些副产物的种类和浓度,可以判断电气设备中是否存在绝缘缺陷以及缺陷的类型和严重程度。气体传感器作为气体... 填充六氟化硫(SF_(6))的电气设备内部存在绝缘缺陷时可能发生过热或放电,迫使SF_(6)分解产生一些特定的气体副产物。通过检测这些副产物的种类和浓度,可以判断电气设备中是否存在绝缘缺陷以及缺陷的类型和严重程度。气体传感器作为气体检测的重要工具,在绝缘缺陷的气体检测法中受到了越来越多的关注。本文重点回顾了使用气体传感器检测SF_(6)分解产物的方法,介绍了SF_(6)解离过程和特征气体的生成路径,详细阐述了用于SF_(6)分解特征气体检测的传感器气敏原理和优缺点;重点讨论了利用特征气体信息诊断绝缘缺陷的算法,并展望了通过传感器检测气体分解组分方法诊断绝缘缺陷的发展方向。 展开更多
关键词 六氟化硫 气体组分分析法 绝缘缺陷 气体传感器 金属氧化物半导体
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金属氧化物半导体气体传感器选择性改进研究进展
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作者 刘亚东 徐勇 +1 位作者 尤立娟 王学峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期1-5,共5页
选择性较差一直是金属氧化物半导体(MOS)传感器难以攻破的主要技术瓶颈。本文基于单层结构和分层结构两种角度,对目前解决MOS传感器选择性问题的技术途径进行了综述。基于单层结构提出的技术途径,能够在一定程度上提升传感器的选择性,... 选择性较差一直是金属氧化物半导体(MOS)传感器难以攻破的主要技术瓶颈。本文基于单层结构和分层结构两种角度,对目前解决MOS传感器选择性问题的技术途径进行了综述。基于单层结构提出的技术途径,能够在一定程度上提升传感器的选择性,但在实际应用环境下的抗干扰能力等方面存在一定的未知性和局限性。基于分层结构提出的技术途径,在对气体的响应过程中产生的具有差异性的特征,可以为传感器对目标气体的准确识别提供可靠依据。但分层结构MOS传感器一致性较难控制、制备技术要求较高、使用寿命相对较短等问题仍需进一步改进和完善。 展开更多
关键词 金属氧化物半导体气体传感器 选择性 技术途径
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氢气传感器在电解制氧系统中的应用研究
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作者 钱力 李森 +3 位作者 黄刚 彭卓 王飞 潘点飞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第4期21-24,共4页
针对电解制氧系统中氢气浓度测量受环境因素影响大、测量准确性低等问题,选取了半导体型、催化燃烧型、热导型三类不同原理的氢气传感器,对其在电解制氧系统中的应用进行了试验验证,并对试验结果进行了讨论,分析了各类氢气传感器的使用... 针对电解制氧系统中氢气浓度测量受环境因素影响大、测量准确性低等问题,选取了半导体型、催化燃烧型、热导型三类不同原理的氢气传感器,对其在电解制氧系统中的应用进行了试验验证,并对试验结果进行了讨论,分析了各类氢气传感器的使用局限性。 展开更多
关键词 半导体型 催化燃烧型 热导型 氢气传感器 电解制氧系统
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微机电系统半导体气体传感器检测方法
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作者 耿彦红 史苏娟 +1 位作者 王瑞 董亮华 《计量与测试技术》 2024年第7期16-18,共3页
为解决微机电系统半导体气体传感器检测自主性大,一致性欠缺等问题,对传感器进行全面评价,促进性能进行,本文针对其检测方法进行了研究,检测项目包括传感器检测误差、漂移、温湿度影响试验、振动跌落试验、长期稳定性试验等通用项目,以... 为解决微机电系统半导体气体传感器检测自主性大,一致性欠缺等问题,对传感器进行全面评价,促进性能进行,本文针对其检测方法进行了研究,检测项目包括传感器检测误差、漂移、温湿度影响试验、振动跌落试验、长期稳定性试验等通用项目,以及功率、传感器检测下限、响应时间和恢复时间等传感器特有性能参数。 展开更多
关键词 微机电系统 半导体 气体传感器 检测方法
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激光供电脉冲电场传感器设计
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作者 王宇 辛明勇 +1 位作者 代奇迹 徐长宝 《电力大数据》 2024年第1期18-27,共10页
为应对高电压电力系统中瞬变电场强度的测量难题,并确保直流输电系统的安全稳定运行,本研究设计并构建了一种由激光光电池供电的脉冲电场传感器。该传感器包括激光光电池供电模块、电光信号转换模块和单极子天线。此外,还在设计中采用... 为应对高电压电力系统中瞬变电场强度的测量难题,并确保直流输电系统的安全稳定运行,本研究设计并构建了一种由激光光电池供电的脉冲电场传感器。该传感器包括激光光电池供电模块、电光信号转换模块和单极子天线。此外,还在设计中采用恒流源电路作为半导体激光器的供电系统,它能将特定波长的激光能量转换为电能,为传感器或其他负载提供远距离非接触式供能。为确保传感器的精确度,本研究开发了一套系统标定装置,用于在控制空间内产生标准测试电场,并通过部署的传感器阵列来测量产生的电场、磁场及被测物体内部的其他数据,实现对动态系统电场强度的即时校准。实验测试表明,所研制的脉冲电场传感器具有20kHz至500MHz的3 dB带宽,100V/m至60kV/mm的动态范围,125Ω的负载阻抗,优于10%的线性度,以及上升沿小于3.5ns的瞬态响应性能,验证了其在强电磁干扰环境下仍具备良好的快速响应速度。 展开更多
关键词 脉冲电场传感器 半导体激光器 恒源流电路 单极子天线 脉冲电场测试
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基于二维半导体的图像传感器
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作者 于雅俐 麦梓锋 +2 位作者 刘力源 魏钟鸣 慈鹏弘 《集成电路与嵌入式系统》 2024年第5期26-34,共9页
图像传感器作为获取视觉信息的重要器件,可将感知到的光信号转换为电信号进行输出。目前,基于互补型金属氧化物半导体构建的图像传感器制造技术已相当成熟。然而,在某些特定的应用场景下,对微型化和多功能的图像传感器的需求仍待解决。... 图像传感器作为获取视觉信息的重要器件,可将感知到的光信号转换为电信号进行输出。目前,基于互补型金属氧化物半导体构建的图像传感器制造技术已相当成熟。然而,在某些特定的应用场景下,对微型化和多功能的图像传感器的需求仍待解决。面对此挑战,结合二维半导体丰富的材料体系及优异的光电特性,以及器件向微型化和多功能化发展的趋势,基于二维半导体的图像传感器在微型化和高集成度方面显示出巨大潜力,为图像传感器领域的发展带来了新机遇。本文首先介绍了二维半导体的带隙特性及其对应的光谱响应波段范围,展示了基于二维半导体的单像素成像技术;接着,阐述了如何利用二维半导体原子排布呈面内各向异性的特征,成功构筑了偏振敏感的图像传感器;最后,探讨了随着大面积二维半导体材料生长技术的不断成熟,如何进一步实现基于二维半导体像素阵列图像传感器的构筑。 展开更多
关键词 二维半导体 光响应 偏振敏感 单像素 阵列像素 图像传感器
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Semiconductor Optical Amplifier (SOA)-Fiber Ring Laser and Its Application to Stress Sensing 被引量:1
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作者 Yoshitaka Takahashi Shinji Sekiya Tatsuro Suemune 《Optics and Photonics Journal》 2011年第4期167-171,共5页
We have developed a novel optical fiber ring laser using a semiconductor optical amplifier (SOA) as the gain medium, and taking advantage of polarization anisotropy of its gain. The frequency difference of the bi-dire... We have developed a novel optical fiber ring laser using a semiconductor optical amplifier (SOA) as the gain medium, and taking advantage of polarization anisotropy of its gain. The frequency difference of the bi-directional laser is controlled by birefringence which is introduced in the ring laser cavity. The beat frequency generated by combining two counter-propagating oscillations is proportional to the birefringence, the fiber ring laser of the present study is, therefore, applicable to the fiber sensor. The sensing signal is obtained in a frequency domain with the material which causes the retardation change by a physical phenomenon to be measured. For the application to stress sensing, the present laser was investigated with a photoelastic material. 展开更多
关键词 FIBER LASER FIBER sensor Ring LASER semiconductor OPTICAL Amplifier OPTICAL sensor
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Analysis of proton and γ-ray radiation effects on CMOS active pixel sensors 被引量:4
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作者 马林东 李豫东 +7 位作者 郭旗 文林 周东 冯婕 刘元 曾骏哲 张翔 王田珲 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第11期264-268,共5页
Radiation effects on complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) active pixel sensors(APS) induced by proton and γ-ray are presented. The samples are manufactured with the standards of 0.35 μm CMOS technology.... Radiation effects on complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) active pixel sensors(APS) induced by proton and γ-ray are presented. The samples are manufactured with the standards of 0.35 μm CMOS technology. Two samples have been irradiated un-biased by 23 MeV protons with fluences of 1.43 × 10^11 protons/cm^2 and 2.14 × 10^11 protons/cm-2,respectively, while another sample has been exposed un-biased to 65 krad(Si) ^60Co γ-ray. The influences of radiation on the dark current, fixed-pattern noise under illumination, quantum efficiency, and conversion gain of the samples are investigated. The dark current, which increases drastically, is obtained by the theory based on thermal generation and the trap induced upon the irradiation. Both γ-ray and proton irradiation increase the non-uniformity of the signal, but the nonuniformity induced by protons is even worse. The degradation mechanisms of CMOS APS image sensors are analyzed,especially for the interaction induced by proton displacement damage and total ion dose(TID) damage. 展开更多
关键词 complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) active pixel sensor dark current fixedpattern noise quantum efficiency
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Calibration of GaAlAs Semiconductor Diode
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作者 S. B. Ota Smita Ota 《Journal of Modern Physics》 2012年第10期1490-1493,共4页
The forward voltage of GaAlAs semiconductor diode has been measured in the temperature range 50 K - 300 K and for current values between 10 nA and 450 μA. The forward voltage as a function of temperature is least-squ... The forward voltage of GaAlAs semiconductor diode has been measured in the temperature range 50 K - 300 K and for current values between 10 nA and 450 μA. The forward voltage as a function of temperature is least-squares fitted and the coefficients are given. The 1st and 2nd order least-squares fitting has high temperature root between 400 K and 950 K. The presence of the high temperature root indicates that the fitted polynomials are of similar character. The high temperature root is found to increase for the least squares fitted polynomials corresponding to higher current values. 展开更多
关键词 semiconductor TEMPERATURE sensorS GAALAS
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Enabling Long-Term Operation of GaAs-Based Sensors
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作者 Maria Tkachev Tatikonda Anand-Kumar +2 位作者 Arkady Bitler Rahamim Guliamov Ron Naaman 《Engineering(科研)》 2013年第9期1-12,共12页
A coating scheme was developed for enabling the operation of a GaAs-based Molecular Controlled Semiconductor Resistor (MOCSER) under biological conditions. Usually GaAs is susceptible to etching in an aqueous environm... A coating scheme was developed for enabling the operation of a GaAs-based Molecular Controlled Semiconductor Resistor (MOCSER) under biological conditions. Usually GaAs is susceptible to etching in an aqueous environment. Several methods of protecting the semiconductor based devices were suggested previously. However, even when protected, it is very difficult to ensure the operation of a GaAs-based electronic sensor in aqua solution for long periods. We developed a new depositing scheme of (3-mercaptopropyl)-trimethoxysilane (MPTMS) on GaAs substrate consisting of two separate steps. The first involves chemisorption of a dense primary MPTMS layer on the substrate, whereas in the second, a thin MPTMS polymer layer is deposited on the already adsorbed layer, resulting in a 15 -?29 nm thick coating. We show that applying the new MPTMS deposition procedure to GaAs-based MOCSER devices allows up to 15 hours of continuous electrical measurements and stable performance of the sensing device in harsh biological environment. The new protection allows implementing GaAs technology in bioelectronics, particularly in biosensing. 展开更多
关键词 semiconductor GAAS sensor Protection LAYER PHYSIOLOGICAL Conditions
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低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器研究进展 被引量:1
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作者 赵利强 向星岩 +2 位作者 王刚 李威 刘建钢 《微电子学》 CAS 北大核心 2023年第4期716-722,共7页
电阻型MEMS半导体气体传感器在环境空气质量监测和有毒有害气体检测等领域得到了广泛应用,但是受限于功耗较高的原因,这类传感器难以广泛应用于便携式气体检测系统。文章综述了近年来低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器的研究进展,分别... 电阻型MEMS半导体气体传感器在环境空气质量监测和有毒有害气体检测等领域得到了广泛应用,但是受限于功耗较高的原因,这类传感器难以广泛应用于便携式气体检测系统。文章综述了近年来低功耗电阻型MEMS半导体气体传感器的研究进展,分别从气敏材料、传感器结构和传感器模组的集成电路等方面探讨如何实现低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器的制备,并展望低功耗的电阻型MEMS半导体气体传感器未来的发展方向。 展开更多
关键词 低功耗 微机电系统 半导体气体传感器 脉冲工作模式
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New Applications of the Noise Spectroscopy for Hydrogen Sensors
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作者 Ferdinand Gasparyan Hrant Khondkaryan Mikayel Aleksanyan 《Journal of Modern Physics》 2014年第16期1662-1669,共8页
Peculiarities of the low-frequency noise spectroscopy of hydrogen gas sensors made on MgFeO4 n-type porous semiconductor covered by the palladium catalytic nanosize particles are investigated. Behavior of the low-freq... Peculiarities of the low-frequency noise spectroscopy of hydrogen gas sensors made on MgFeO4 n-type porous semiconductor covered by the palladium catalytic nanosize particles are investigated. Behavior of the low-frequency noise spectral density and its exponent value from sensitive layer thickness in the frequency range 2 - 300 Hz are analyzed. Sensitivity of the sensor calculated by the noise method is several tenth times higher as compared with the resistive method. It is shown that besides of the well-known applications, noise spectroscopy can be also used for definition of the unknown thickness of gas sensitive layer, for definition of the sensitive layer subsurface role in the formation of the low-frequency noises and for definition of the intensity of trapping-detrapping processes of the gas molecules. 展开更多
关键词 LOW-FREQUENCY Noise HYDROGEN sensor POROUS semiconductor
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