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MEMS心音传感器及检测电路优化设计
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作者 刘佳琦 张国军 +1 位作者 崔建功 史鹏程 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期102-111,共10页
对基于微电子机械系统(MEMS)技术的心音传感器声敏结构进行了优化且设计了其检测电路。首先,针对心音信号的特点,设计了二次集成的扁平状仿生纤毛结构,对该结构进行仿真,确定了纤毛的尺寸参数和梁上最大应力1.2×10^(5) N/m^(2),对... 对基于微电子机械系统(MEMS)技术的心音传感器声敏结构进行了优化且设计了其检测电路。首先,针对心音信号的特点,设计了二次集成的扁平状仿生纤毛结构,对该结构进行仿真,确定了纤毛的尺寸参数和梁上最大应力1.2×10^(5) N/m^(2),对纤毛进行特征频率仿真,在硅油域中结果为711 Hz;其次由扁平状纤毛结构X轴接收噪声时梁上的应力仿真结果可知该结构具有抗干扰能力;最后设计了后端的放大电路和滤波电路并对传感器封装后进行测试。测试结果表明,该结构的信噪比达到了27 dB,较传统的圆柱形纤毛提高了35%,且其抗干扰能力也优于传统的圆柱形纤毛。优化过后的MEMS心音传感器具有抗干扰、低噪声、低成本、采集的信号不失真等优势,可为临床心音信号的采集提供关键核心部件。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems)技术 心音传感器 处理电路 心音信号 信噪比
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Low-Power Operational Amplifier for Real-Time Signal Processing System of Micro Air Vehicle
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作者 王竹萍 仲顺安 聂丹丹 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2010年第3期353-356,共4页
A low-power complementary metal oxide semiconductor(CMOS) operational amplifier (op-amp) for real-time signal processing of micro air vehicle (MAV) is designed in this paper.Traditional folded cascode architectu... A low-power complementary metal oxide semiconductor(CMOS) operational amplifier (op-amp) for real-time signal processing of micro air vehicle (MAV) is designed in this paper.Traditional folded cascode architecture with positive channel metal oxide semiconductor(PMOS) differential input transistors and sub-threshold technology are applied under the low supply voltage.Simulation results show that this amplifier has significantly low power,while maintaining almost the same gain,bandwidth and other key performances.The power required is only 0.12 mW,which is applicable to low-power and low-voltage real-time signal acquisition and processing system. 展开更多
关键词 microelectromechanical system(mems operational amplifier(op-amp) LOW-POWER real-time signal processing system micro air vehicle(MAV)
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模平方小波阈值在MEMS陀螺信号降噪中的应用 被引量:16
3
作者 李杰 曲芸 +1 位作者 刘俊 张文栋 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2008年第2期236-239,共4页
在深入分析现有软阈值和硬阈值小波去噪方法的基础上,综合二者的优点,提出一种模平方小波阈值去噪方法,并将其应用到MEMS陀螺仪输出信号的滤波处理中,从而有效地减小了信号中的高频噪声,提高了信噪比,抑制了MEMS陀螺仪的随机漂移。文中... 在深入分析现有软阈值和硬阈值小波去噪方法的基础上,综合二者的优点,提出一种模平方小波阈值去噪方法,并将其应用到MEMS陀螺仪输出信号的滤波处理中,从而有效地减小了信号中的高频噪声,提高了信噪比,抑制了MEMS陀螺仪的随机漂移。文中详细介绍了该方法的原理与实现过程,并结合某项目研究中MEMS惯性测量系统的实地跑车实验,对其中MEMS陀螺仪的实测数据进行了分析研究,肯定了使用该方法对MEMS陀螺仪输出信号进行滤波消噪处理的可行性和有效性。 展开更多
关键词 小波分析 模平方阈值 mems陀螺仪 信号处理
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MEMS矢量水听器阵列信号处理研究 被引量:10
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作者 樊姣荣 王晓瑶 +3 位作者 刘文怡 张国军 关凌纲 王盼盼 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第1期14-16,19,共4页
MEMS矢量水听器是一种新型的水声传感器,对这种传感器的原理进行了简要介绍。为了验证该MEMS矢量水听器阵列的目标估计性能,进行了矢量阵的深海实验研究,选取了MUSIC算法应用于该MEMS矢量阵。实验结果表明:在复杂海洋环境中,该MEMS矢量... MEMS矢量水听器是一种新型的水声传感器,对这种传感器的原理进行了简要介绍。为了验证该MEMS矢量水听器阵列的目标估计性能,进行了矢量阵的深海实验研究,选取了MUSIC算法应用于该MEMS矢量阵。实验结果表明:在复杂海洋环境中,该MEMS矢量阵能够实现对目标的方位估计和水下运动目标的航迹跟踪,从而验证了该MEMS矢量水听器成阵的可行性,为工程化应用奠定了基础。 展开更多
关键词 mems矢量阵列 MUSIC算法 信号处理
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基于MEMS器件的微小型移动机器人嵌入式导航定位系统的研究 被引量:1
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作者 郭伟 徐济安 +1 位作者 钟鸣 李满天 《制造业自动化》 北大核心 2008年第11期5-9,共5页
文章针对微小型移动机器人的实时导航定位需求,采用嵌入式系统设计思想,以新型MEMS惯性器件为核心,利用ARM/CPLD构建了一种结构紧凑、低功耗、低成本、通用性强的实时导航定位系统硬件平台;利用μC/OS-II实时操作系统开发了其嵌入式软... 文章针对微小型移动机器人的实时导航定位需求,采用嵌入式系统设计思想,以新型MEMS惯性器件为核心,利用ARM/CPLD构建了一种结构紧凑、低功耗、低成本、通用性强的实时导航定位系统硬件平台;利用μC/OS-II实时操作系统开发了其嵌入式软件平台,实现了数字信号处理、插值升频、导航信息解算等处理算法;最后,通过在机器人上的搭载实验,验证了系统的功能和可靠性。 展开更多
关键词 mems 微小型移动机器人 嵌入式系统 数字信号处理
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运用MEMS麦克风对噪声测量系统的设计 被引量:1
6
作者 王文明 仪垂杰 +1 位作者 李燕超 楚雅杰 《机械制造与自动化》 2019年第1期210-213,共4页
传统声级计的传声器都采用驻极体电容式麦克风,它存在频率响应和噪声特性不理想的缺陷,不仅时间和温度的稳定性较差,还需要提供高性能的前置放大器。MEMS麦克风各项性能高于传统麦克风,且体积很小,有更好的易用性和更大的设计自由度。... 传统声级计的传声器都采用驻极体电容式麦克风,它存在频率响应和噪声特性不理想的缺陷,不仅时间和温度的稳定性较差,还需要提供高性能的前置放大器。MEMS麦克风各项性能高于传统麦克风,且体积很小,有更好的易用性和更大的设计自由度。故提出了运用MEMS麦克风对噪声测量系统的设计。介绍了噪声测量的原理,论述了噪声测量系统的硬件和软件设计理论,并给出软件设计的流程图,进行了实验数据对比。由结果得出:使用该系统不仅能够准确地测量噪声声级,而且该系统结构简单,需要的硬件数量少,可以大大地降低成本。 展开更多
关键词 mems麦克风 噪声测量系统 ARM 信号处理
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基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计 被引量:2
7
作者 魏丽君 《工业仪表与自动化装置》 2022年第3期3-7,共5页
二氧化硫等含硫气体的红外吸收峰在7~10μm的波段,该波段正好与人体红外的波段重合,属于敏感区域,可用于军事应用,因此发达国家对我国实行了长期的技术封锁;特别是低硫的红外检测传感器价格昂贵,因此,开发检出限接近10 mg/L的高精度低... 二氧化硫等含硫气体的红外吸收峰在7~10μm的波段,该波段正好与人体红外的波段重合,属于敏感区域,可用于军事应用,因此发达国家对我国实行了长期的技术封锁;特别是低硫的红外检测传感器价格昂贵,因此,开发检出限接近10 mg/L的高精度低硫传感器迫在眉睫。该文以煤燃烧后的含硫气体检测为研究对象,通过设计精密的红外气室、高精密的恒温室、微弱信号处理电路以及补偿电路,采用MEMS技术,设计完成了一款高精密的非分光红外低硫集成传感器。经检测,该传感器的检出限达到近10 mg/L。低硫测量平均值为0.382%,标准差(SD)为0.006%,相对标准偏差(RSD)为1.2%,瓶内相对标准偏差(RSD)为0.9%。实现了低硫的高精密测试。 展开更多
关键词 mems系统 红外吸收 低硫传感器 微弱信号处理
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MEMS技术对火控系统的影响
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作者 段修生 程远增 孙书鹰 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期577-578,582,共3页
结合火控系统的发展趋势 ,说明了MEMS技术在火控系统中的应用 ,分析了MEMS技术在机械结构。
关键词 mems技术 火控系统 系统性能 体系结构 机械结构 微电子机械系统
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MEMS矢量水听器阵列方位估计的对比研究
9
作者 刘宏 张国军 +2 位作者 葛晓洋 李振 宋小鹏 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期766-770,共5页
基于新型微机电系统(MEMS)仿生矢量水听器,首先利用计算机仿真对比分析了阵列空间谱估计4种相关算法(包括MUSIC算法、Capon最小方差法、空间平滑算法和MMUSIC算法)的优劣性。其次在对比分析的基础上,考虑实际操作的可行性和信号处理的... 基于新型微机电系统(MEMS)仿生矢量水听器,首先利用计算机仿真对比分析了阵列空间谱估计4种相关算法(包括MUSIC算法、Capon最小方差法、空间平滑算法和MMUSIC算法)的优劣性。其次在对比分析的基础上,考虑实际操作的可行性和信号处理的准确性,选取定向精度较高,分辨能力较强的MUSIC算法处理不相干信号源,选取MMUSIC算法处理相干信号源。通过仿真验证和实验分析,结果表明,该MEMS矢量水听器阵列定向精度均在5°以内,具有较好的定向能力。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)矢量水听器 信号处理 空间谱估计 矢量阵列 算法
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MEMS陀螺仪随机误差的动态辨识 被引量:12
10
作者 沈强 刘洁瑜 +1 位作者 王杰飞 赵晗 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第6期945-948,共4页
针对经典Allan方差在分析和定量描述微机电系统(MEMS)陀螺仪噪声项时存在的问题,提出将动态Allan方差用于MEMS陀螺仪输出信号分析并加以改进。根据Allan方差的原理,实现误差项系数的动态辨识,得到各类型误差随时间的变化规律。普通最小... 针对经典Allan方差在分析和定量描述微机电系统(MEMS)陀螺仪噪声项时存在的问题,提出将动态Allan方差用于MEMS陀螺仪输出信号分析并加以改进。根据Allan方差的原理,实现误差项系数的动态辨识,得到各类型误差随时间的变化规律。普通最小二乘法求解误差系数时存在个别为负的问题,因此,将非线性最优化的单纯形法用于方差曲线的拟合。实验结果表明,改进后的方法不仅能准确描述数据的噪声量值,还能反映信号的频率稳定性和误差项的变化特征。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)陀螺仪 动态Allan方差 随机误差 信号处理 单纯形法
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运用于MEMS磁传感器的数字锁相放大器 被引量:1
11
作者 梅晓东 梁亨茂 +2 位作者 王文杰 陆仲明 熊斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第4期57-61,111,共6页
文中研究了用于静电驱动-电磁感应敏感的MEMS磁传感器的数字锁相放大器电路。为了对该种传感器输出自调制的信号进行解调,基于ARM微控制器设计了一种无需相位调整的双路数字锁相放大器。在参考通道的设计中,将驱动传感器处于谐振状态的... 文中研究了用于静电驱动-电磁感应敏感的MEMS磁传感器的数字锁相放大器电路。为了对该种传感器输出自调制的信号进行解调,基于ARM微控制器设计了一种无需相位调整的双路数字锁相放大器。在参考通道的设计中,将驱动传感器处于谐振状态的正弦信号转为矩形波信号。应用电路测试结果表明:传感器输出信号的非线性度达0.23%,迟滞性误差和重复性误差分别为0.09%和0.29%。数字锁相放大器能够有效而稳定地解调MEMS磁传感器输出信号,为具有输出信号调制特点的传感器提供一种可行的数字信号处理方案。 展开更多
关键词 mems磁传感器 正交解调 STMF4处理器 数字锁相放大器 微弱信号检测 数字信号处理
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基于DSP和MEMS的人体动作识别系统
12
作者 李懿 羊彦 《科学技术与工程》 2011年第2期257-260,273,共5页
为解决现有虚拟训练软件的人体动作输入设备沉浸感和训练效果不足的问题,采用DSP和微机电系统(MEMS)构建人体动作识别系统。该系统应用MEMS器件为核心构建微惯性测量单元(MIMU)模块,模块的DSP芯片完成传感器数据采集和人体姿态解算。实... 为解决现有虚拟训练软件的人体动作输入设备沉浸感和训练效果不足的问题,采用DSP和微机电系统(MEMS)构建人体动作识别系统。该系统应用MEMS器件为核心构建微惯性测量单元(MIMU)模块,模块的DSP芯片完成传感器数据采集和人体姿态解算。实验结果表明系统样机在动态活动测试中运行稳定可靠,动态解算精度在1°以内,可准确测量人体动作,满足虚拟训练要求。该研究提供了一种新型的虚拟训练软件的硬件输入设备,具有一定的市场价值。 展开更多
关键词 虚拟训练软件 动作识别 微机电子位(mems) 数字信号处理(Digital signal processing DSP)
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小波阈值去噪法在MEMS陀螺信号处理中的应用 被引量:3
13
作者 汪菁 邹瑜光 《宇航计测技术》 CSCD 2022年第3期68-74,共7页
近年来MEMS陀螺发展迅速,应用广泛,但性能参差不齐。为改善MEMS陀螺的输出信号性能,综述了近年来小波阈值去噪法在该领域内的研究进展情况。重点从阈值函数的不同改进形式、阈值选取方式的不同以及分解层数三方面对比分析各小波阈值去... 近年来MEMS陀螺发展迅速,应用广泛,但性能参差不齐。为改善MEMS陀螺的输出信号性能,综述了近年来小波阈值去噪法在该领域内的研究进展情况。重点从阈值函数的不同改进形式、阈值选取方式的不同以及分解层数三方面对比分析各小波阈值去噪法之间的优缺点。通过现阶段的去噪效果评判标准,结合MEMS陀螺信号的特点,对近年来小波阈值去噪的应用情况进行分析说明,总结小波阈值去噪法在不同使用条件下对MEMS陀螺信号处理上的优势与不足,为后续相关研究提供一定的参考价值。 展开更多
关键词 小波阈值去噪 阈值函数 mems陀螺 信号处理
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基于MEMS谐振器硬件储备池计算的类脑信号处理方法
14
作者 邹旭东 杨伍昊 +2 位作者 郭潇威 孙杰 郑天依 《信号处理》 CSCD 北大核心 2022年第11期2287-2298,共12页
近年来兴起的人工神经网络由于具有较强的自学习适应性和并行信息处理能力,从而在信号处理领域显示出巨大潜力。储备池计算是一种由递归神经网络衍生而来的类脑神经形态计算范式,对随时间变化的连续信号具有非常好的分类和时序预测能力... 近年来兴起的人工神经网络由于具有较强的自学习适应性和并行信息处理能力,从而在信号处理领域显示出巨大潜力。储备池计算是一种由递归神经网络衍生而来的类脑神经形态计算范式,对随时间变化的连续信号具有非常好的分类和时序预测能力。本论文提出利用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)梁谐振器的非线性响应特征,设计并搭建了两种储备池计算的拓扑架构。此外,面向雷达信号处理中信号预测、图像识别、雷达信号特征分类和提取等应用需求,针对性地选择了NARMA(Nonlinear Auto Regressive Moving Average Equation of Order)预测任务、MNIST(Mixed National Institute of Standards and Technology)-手写数字图像识别、LFM(Linear frequency modulated)脉冲波形识别与特征提取等测试任务对论文所提两种不同储备池计算架构进行试验验证。同时,实验结果也充分展示了基于非线性MEMS谐振器的储备池计算硬件系统在雷达信号预测、分类与特征提取等应用领域中的应用潜力。为复杂电磁环境下,雷达信号处理提供新的有力工具,也为MEMS传感技术与雷达信号处理技术的交叉融合进行积极探索。 展开更多
关键词 时序信号处理 微机电系统谐振器 储备池计算
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车载微加速度计信号的小波去噪技术研究 被引量:7
15
作者 徐超 沈晓蓉 +1 位作者 李建军 范耀祖 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2442-2444,共3页
车载环境下由于微机械加速度计自身特点和受到车辆振动、电磁干扰等原因,其真实加速度信号往往受到严重的干扰,给数据分析带来很大困难.针对此种情况,结合对车载加速度计输出信号的分析假设了一种加速度信号,同时用真实的加速度计输出... 车载环境下由于微机械加速度计自身特点和受到车辆振动、电磁干扰等原因,其真实加速度信号往往受到严重的干扰,给数据分析带来很大困难.针对此种情况,结合对车载加速度计输出信号的分析假设了一种加速度信号,同时用真实的加速度计输出噪声作为干扰叠加在假设信号上,以信号的统计指标作为去噪效果的评价标准选择了合适的小波基,并据此对实际信号进行去噪处理证明:小波去噪方法非常适合于此类受到严重干扰的测量信号的去噪处理,去噪效果良好,且计算分析简便. 展开更多
关键词 小波变换 去噪方法研究 信号处理 mems加速度计 小波基选择
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基于混合EMD方法的加速度计信号处理 被引量:5
16
作者 钱莉 徐国平 +1 位作者 陈文元 杨宁 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1605-1609,共5页
由于MEMS加速度计的特点及其广泛的应用,将加速度计运用到输入终端系统成为了一个新的发展方向。但是受加速度计自身和系统数据采集电路受环境干扰等因素的影响,采集到的信号往往叠加了大量的噪声信号,因此必须对实际采集的加速度信号... 由于MEMS加速度计的特点及其广泛的应用,将加速度计运用到输入终端系统成为了一个新的发展方向。但是受加速度计自身和系统数据采集电路受环境干扰等因素的影响,采集到的信号往往叠加了大量的噪声信号,因此必须对实际采集的加速度信号进行滤波去噪处理以确保输入系统的精度。提出了一种基于EMD方法的混合滤波处理策略:针对EMD方法的缺陷,引入了RBF径向基函数神经网络和小波包变换,并结合S-G滤波器对加速度计信号进行了滤波处理。同时采用Al-lan方差(白噪声、零偏不稳定性和量化误差)对滤波结果进行分析并验证了该混合EMD方法的有效性。 展开更多
关键词 信号处理 mems加速度计 EMD 径向基函数神经网络 小波包变换 S-G滤波器
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一种基于偏微分方程的车辆加速度信号自适应降噪方法 被引量:4
17
作者 徐叶雷 黄青华 方勇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1606-1611,共6页
提出一种针对MEMS加速度计信号的基于偏微分方程的自适应降噪方法,该方法不仅能有效克服由于传感器本身原因及车载环境振动噪声带来的影响,获得准确的加速度信号,而且实现容易、实时性好。通过对车辆加速度信号进行建模并叠加真实加速... 提出一种针对MEMS加速度计信号的基于偏微分方程的自适应降噪方法,该方法不仅能有效克服由于传感器本身原因及车载环境振动噪声带来的影响,获得准确的加速度信号,而且实现容易、实时性好。通过对车辆加速度信号进行建模并叠加真实加速度噪声作为仿真信号,将该方法与选用db6小波基、heursure自适应阈值、4层分解的最佳小波进行降噪性能对比,证明在车辆正常行驶的加速度幅值下,该方法不仅能够取得和小波近似的降噪性能,而且很大程度上减少了运算时间。最后通过对实际车载加速度信号的降噪处理和倾角测量中的应用,再次证明该方法在滤除噪声的同时能够较好体现细节信息,很适合应用在对实时性和准确性要求高的实际工程中。 展开更多
关键词 信号处理 车辆加速度信号降噪 偏微分方程 自适应降噪 mems加速度计 小波
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电子鼻的研究和开发现状 被引量:3
18
作者 徐毓龙 徐玉成 《传感器世界》 1999年第8期1-5,27,共6页
本文简要介绍电子鼻的研究和开发现状及应用。
关键词 电子鼻 VOC mems 模式识别 信号处理
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微纳卫星陀螺阵列系统信息融合 被引量:2
19
作者 陈雯雯 刘洋 +3 位作者 高海云 孙国文 李昭 康宝鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期172-180,共9页
为了实现微纳卫星MEMS陀螺动态在线滤波,对MEMS陀螺阵列建模,设计可应用于动态过程的最优在线数据融合算法,建立陀螺阵列测试系统,并对融合滤波的陀螺系统的性能对比分析。首先,建立多个陀螺的量测模型。接着基于信息融合模型,使用Kalma... 为了实现微纳卫星MEMS陀螺动态在线滤波,对MEMS陀螺阵列建模,设计可应用于动态过程的最优在线数据融合算法,建立陀螺阵列测试系统,并对融合滤波的陀螺系统的性能对比分析。首先,建立多个陀螺的量测模型。接着基于信息融合模型,使用Kalman滤波算法,对预测的协方差矩阵进无求逆运算迭代;然后,基于误差估计,对动态时变信号滤波模型建模,并给出了融合滤波方法;最后,搭建6个MEMS陀螺在线滤波系统,验证该算法的有效性。实验结果表明:滤波误差可降低为单陀螺采样误差的1/15,精度提高一个数量级;运算量相比层序式滤波减少为1/4,计算时间减少为1/3。本文所提算法在提高精度的基础上,显著提高了MEMS陀螺系统的性能指标,拓展了MEMS陀螺在微纳卫星的应用范围。 展开更多
关键词 微机电系统陀螺 数据融合 实时处理 时变信号
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一种采用嵌套斩波技术的Σ-Δ调制器的设计 被引量:1
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作者 胡斌 徐德辉 熊斌 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期845-850,共6页
针对MEMS传感器输出电压小并且频率低的特点,设计了一种低噪声嵌套斩波Σ-Δ调制器。该调制器采用单环积分器级联前馈(CIFF)结构与嵌套斩波技术结合,降低了传感器接口电路的低频噪声,并减小了CMOS电路中斩波开关引入的残余失调电压。仿... 针对MEMS传感器输出电压小并且频率低的特点,设计了一种低噪声嵌套斩波Σ-Δ调制器。该调制器采用单环积分器级联前馈(CIFF)结构与嵌套斩波技术结合,降低了传感器接口电路的低频噪声,并减小了CMOS电路中斩波开关引入的残余失调电压。仿真结果表明,提出的嵌套调制器可以有效抑制低频噪声。采用嵌套斩波Σ-Δ调制设计,在100 Hz信号带宽内,调制器最高信噪比达到109 dB,即17.8 bits的有效位数,满足了MEMS传感器低频微弱信号检测的要求。 展开更多
关键词 mems传感器 信号处理 嵌套斩波 Σ-Δ调制器 微弱信号
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