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Sensitivity investigation of 100-MeV proton irradiation to SiGe HBT single event effect
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作者 冯亚辉 郭红霞 +7 位作者 刘益维 欧阳晓平 张晋新 马武英 张凤祁 白如雪 马晓华 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第1期554-562,共9页
The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive positi... The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive position of the Si Ge HBT device is the emitter center, where the protons pass through the larger collector-substrate(CS) junction. Furthermore, in this work the experimental studies are also carried out by using 100-Me V proton. In order to consider the influence of temperature on SEE, both simulation and experiment are conducted at a temperature of 93 K. At a cryogenic temperature, the carrier mobility increases, which leads to higher transient current peaks, but the duration of the current decreases significantly.Notably, at the same proton flux, there is only one single event transient(SET) that occurs at 93 K. Thus, the radiation hard ability of the device increases at cryogenic temperatures. The simulation results are found to be qualitatively consistent with the experimental results of 100-Me V protons. To further evaluate the tolerance of the device, the influence of proton on Si Ge HBT after gamma-ray(^(60)Coγ) irradiation is investigated. As a result, as the cumulative dose increases, the introduction of traps results in a significant reduction in both the peak value and duration of the transient currents. 展开更多
关键词 silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(si Ge HBT) 100-Me V proton technology computer-aided design(TCAD) single event effect(SEE)
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Determination of Structure and Polarity of Si C Single Crystal by X-Ray Diffraction Technique 被引量:1
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作者 郑新和 渠波 +2 位作者 王玉田 杨辉 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期35-39,共5页
Structure and polarity of the Si C single crystal have been analyzed with the four- circle X- ray diffraction method by a double- crystal diffractom eter.The hexagonal{ 10 15 } pole figure shows that this Si C sam pl... Structure and polarity of the Si C single crystal have been analyzed with the four- circle X- ray diffraction method by a double- crystal diffractom eter.The hexagonal{ 10 15 } pole figure shows that this Si C sam ple has a6 H modification.The difference between the integrated intensities m easured byω scan in the triple- axis diffraction set- up finds some convincing evidence that the surface is either a Si- terminated face or C- terminated face.The experi- mental ratios of| F( 0 0 0 L) | 2 / | F( 0 0 0 L) | 2 are in good agreem entwith the calculated ones after the dispersion cor- rections to the atomic scattering factors( L=6 ,12 and18,respectively) .Thus,this m easurem ent technique is con- venient for the application of the materials with remarkable surface polarity. 展开更多
关键词 si C single crystal polarity hexagonal6 H scattering factor
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STUDIES OF OXYGEN ADSORPTION AND INITIAL OXIDATION ON SINGLE CRYSTAL Mn_5Si_3(111) SURFACE
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作者 Ma Maosheng, Ji Mingrong, Wu Jianxin, Liu Xianming Structure Research Lab, University of Science and Technology of China, Academia Sinica, Hefei, Anhui 230026, P. R. China Xu Zhengjia Institute of Semiconductor, Academia Sinica, Beijing 100081, China 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1992年第Z1期255-258,共4页
Kinetics of oxygen adsorption on single crystal Mn<sub>5</sub>Si<sub>3</sub> (111) surface and initial surface oxidation were investigated. Oxygen chemisorbs dissociatively at room temperatur... Kinetics of oxygen adsorption on single crystal Mn<sub>5</sub>Si<sub>3</sub> (111) surface and initial surface oxidation were investigated. Oxygen chemisorbs dissociatively at room temperature on Mn and Si atoms. A fast oxidation of Si atoms occurs followed by oxidation of Mn atoms at RT. The MnO<sub>2</sub> was reduced by Si atoms and the SiO was oxidized further to SiO<sub>2</sub> during the sample heating. 展开更多
关键词 MN LINE SURFACE STUDIES OF OXYGEN ADSORPTION AND INITIAL OXIDATION ON single crystal Mn5si3 si
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COLD-ROLLING AND RECRYSTALLIZATION OF (110)[110] IRON-SILICON SINGLE CRYSTALS
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作者 ZHO U Bangxin Southwest Centre for Reactor Engineering Research and Design,Chengdu,China Bangxin,Professor,P.O.Box 291-106,Chengdu 610005,China 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 1991年第2期103-107,共5页
After70-90% cold-rolling,strong{111}〈110〉and weak {111},〈112〉 cold-rolled tex- tures and perfect{111}〈112〉 recrystallization texture were obtained in Fe-Si single crys- tals.The cold-rolled textures with differe... After70-90% cold-rolling,strong{111}〈110〉and weak {111},〈112〉 cold-rolled tex- tures and perfect{111}〈112〉 recrystallization texture were obtained in Fe-Si single crys- tals.The cold-rolled textures with different orientations possesses different ability for recov- ery because of the difference of dislocation structure and store energy alter cold-rolling.The recovery taking place at{111}〈112〉orientation region was prior to that at{111}〈110〉 orientation region.hese subgrains with{111}〈112〉 orientation became recrvstallization nuclei during their growth at expending the surrounding matrix which was sluggish in recovery process.The development of recrystallization textures may be suggested as a process of “nucleation in-situ-selective growth”.The formation of(111)textures in low carbon steel sheets has been discussed in the light of this suggestion. 展开更多
关键词 Fe-si single crystal deformation REcrystalLIZATION texture
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Dislocation Behaviour near the Crack Tip in Bulk Fe-3% Si Single Crystal
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作者 徐永波 哈宽富 +2 位作者 王中光 杨春松 戴忠玲 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 1991年第1期35-39,共5页
An investigation has been made of the disloca- tion distribution and dislocation free zone near the crack tip in bulk Fe-3% Si single crystal during deformation in SEM.It has been found that a number of dislocations w... An investigation has been made of the disloca- tion distribution and dislocation free zone near the crack tip in bulk Fe-3% Si single crystal during deformation in SEM.It has been found that a number of dislocations were emitted from the crack tip during deformation.After that,the dislocations moved rapidly away from the crack tip,which indi- cated that they were strongly repelled by the stress field at the crack tip.Between the crack tip and the plastic zone there is a region of dislocation-free, which is referred to as dislocation-free zone (DFZ). The length of DFZs is roughly estimated 100 μm which is much longer than that found in thin foil specimen.The variation of dislocation density as a function of the distance from the crack tip was measured,which showed that the dislocations are inversely piled up in the plastic zone.The length of DFZs increased with both the length of pre-crack and the amplitude of applied stress. 展开更多
关键词 DISLOCATION crack tip DFZ Fe-3%si single crystal
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有机分子PTCDA在P型Si单晶(100)晶面的生长机理
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作者 张旭 张杰 张福甲 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期790-794,共5页
对PTCDA的分子结构及其化学键的形成进行了分析,并讨论了晶面指数(100)Si单晶的晶格结构。在此基础上,评述了PTCDA分子在P-Si单晶(100)晶面上生长的机理,并制备了样品PTCDA/P-Si(100)。利用XRD对样品测试得出,在P-Si(100)晶面上沉积的PT... 对PTCDA的分子结构及其化学键的形成进行了分析,并讨论了晶面指数(100)Si单晶的晶格结构。在此基础上,评述了PTCDA分子在P-Si单晶(100)晶面上生长的机理,并制备了样品PTCDA/P-Si(100)。利用XRD对样品测试得出,在P-Si(100)晶面上沉积的PTCDA薄膜中仅存在α物相。利用XPS对样品测试得出,在其界面层中PTCDA酸酐中的4个羟基O原子与C原子结合,其结合能为532.4 e V;苝核基团外围的8个C、H原子以共价键结合,其结合能为289.0 e V;在界面处,悬挂键上的Si原子与PTCDA酸酐中的C、O原子结合,形成C—Si—O键及C—Si键,构成了界面层的稳定结构。 展开更多
关键词 有机半导体材料PTCDA P-si(100)晶面 生长机理
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Fe-3%Si大尺寸合金单晶的制备及磁感系数的计算
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作者 游清雷 蒋奇武 +2 位作者 庞树芳 贾志伟 张海利 《鞍钢技术》 CAS 2024年第3期26-31,共6页
以取向Fe-3%Si合金热轧板为原材料,采用二次再结晶法制备了尺寸大于200 mm的合金单晶。随机选取3个单晶样品剪切成7个与轧向成不同角度、尺寸为50 mm×50 mm的样品,分别对所选样品进行单晶定向,并对每个样品的横、纵向磁性能进行了... 以取向Fe-3%Si合金热轧板为原材料,采用二次再结晶法制备了尺寸大于200 mm的合金单晶。随机选取3个单晶样品剪切成7个与轧向成不同角度、尺寸为50 mm×50 mm的样品,分别对所选样品进行单晶定向,并对每个样品的横、纵向磁性能进行了测量。以单晶定向结果为依据,计算每个单晶在晶体学坐标架下的极角和辐角,提出了一种单晶磁感系数的计算方法,并基于该方法以单晶磁性能实测值及其在晶体学坐标架下的极角和辐角为输入条件,测算了Fe-3%Si合金单晶磁感应强度系数并验证了其可靠性。采用该方法对{110}晶面平行于板面的任意方向单晶的磁感应强度进行了计算,为开展多晶材料磁性能计算提供了理论依据。 展开更多
关键词 Fe-3%si合金 大尺寸单晶 磁感系数 定量计算
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Effect of thermal shield and gas flow on thermal elastic stresses in 300mm silicon crystal 被引量:2
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作者 GAO Yu XIAO Qinghua ZHOU Qigang DAI Xiaolin TU Hailing 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第z2期45-50,共6页
The thermal elastic stresses induced in 300 mm Si crystal may be great troubles because it can incur the generation of dislocations and undesirable excessive residual stresses. A special thermal modeling tool, CrysVUn... The thermal elastic stresses induced in 300 mm Si crystal may be great troubles because it can incur the generation of dislocations and undesirable excessive residual stresses. A special thermal modeling tool, CrysVUn, was used for numerical analysis of thermal elastic stresses and stress distribution of 300 mm Si crystal under the consideration of different thermal shields and gas flow conditions. The adopted governing partial equations for stress calculation are Cauchy′s first and second laws of motion. It is demonstrated that the presence and shape of thermal shield, the gas pressure and velocity can strongly affect von Mises stress distribution in Si crystal. With steep-wall shield, however, the maximal stress and ratio of high stress area are relatively low. With slope-wall shield or without shield, both maximal stress and ratio of high stress area are increased in evidence. Whether thermal shields are used or not, the increase of gas flow velocity could raise the stress level. In contrast, the increase of gas pressure cannot result in so significant effect. The influence of thermal shield and gas flow should be attributed to the modification of heat conduction and heat radiation by them. 展开更多
关键词 thermal elastic stress siMULATION 300 mm si single crystal
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Ag在Si(100)表面化学吸附特性研究
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作者 高琳 《内蒙古民族大学学报(自然科学版)》 2007年第3期254-258,共5页
本文应用自洽TB-LMTO方法研究银原子在理想Si(100)表面的化学吸附,计算不同位置的吸附能量(Ead),发现相比Si(100)表面其他吸附位置而言被吸附的银原子更趋附于C位置(四重位),在Ag原子和表面Si原子之间形成极性共价健,在Ag-Si(100)界面... 本文应用自洽TB-LMTO方法研究银原子在理想Si(100)表面的化学吸附,计算不同位置的吸附能量(Ead),发现相比Si(100)表面其他吸附位置而言被吸附的银原子更趋附于C位置(四重位),在Ag原子和表面Si原子之间形成极性共价健,在Ag-Si(100)界面不存在Ag和Si的混合层而是形成突变界面,这与实验结果是一致,计算了层投影态密度并与清洁表面比较,对电子转移情况也进行了研究.相对Au/Si(100)而言,Ag和Si相互作用比Au和Si相互作用要弱. 展开更多
关键词 化学吸附 si AG 低指数单晶面 超级原胞
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固结磨料研磨SiC单晶基片(0001)C面研究 被引量:8
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作者 苏建修 张学铭 +1 位作者 万秀颖 付素芳 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第6期417-423,共7页
碳化硅(SiC)单晶基片已广泛应用于微电子、光电子等领域.本文针对传统游离磨料研磨加工的缺点,提出了固结磨料研磨SiC单晶基片技术,以前期研究的SiC单晶基片研磨膏配方,试制了一系列固结磨料研磨盘,研究了固结磨料研磨SiC单晶基片(0001)... 碳化硅(SiC)单晶基片已广泛应用于微电子、光电子等领域.本文针对传统游离磨料研磨加工的缺点,提出了固结磨料研磨SiC单晶基片技术,以前期研究的SiC单晶基片研磨膏配方,试制了一系列固结磨料研磨盘,研究了固结磨料研磨SiC单晶基片(0001)C面时的材料去除率、表面粗糙度及平面度,并与游离磨料研磨进行了对比.结果表明,固结磨料研磨后样品表面有深度较浅的划痕,游离磨料研磨后表面没有划痕,但表面呈凹坑状;游离磨料研磨后工件表面粗糙度轮廓最大高度Rz远大于固结磨料研磨;固结磨料研磨的材料去除率高于游离磨料,固结磨料研磨后的表面粗糙度Ra远低于游离磨料研磨,固结磨料研磨可提高平面度;研究结果可为进一步研究固结磨料化学机械研磨盘、固结磨料研磨工艺参数及机理提供参考依据. 展开更多
关键词 固结磨料研磨 siC单晶基片 材料去除率 表面粗糙度 平面度
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强流脉冲电子束轰击对单晶Si表面形貌的影响 被引量:3
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作者 朱健 储金宇 +2 位作者 王雪涛 关庆丰 梁亮 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第8期601-605,共5页
用强流脉冲电子束技术对两种取向的单晶Si片进行了表面轰击,对电子束诱发的表面形貌进行了分析。实验结果表明,当能量密度~3J/cm2时,轰击表面开始形成大量的熔坑。能量密度~4J/cm2时,表面开始出现微裂纹,微裂纹的形态与单晶Si的晶体... 用强流脉冲电子束技术对两种取向的单晶Si片进行了表面轰击,对电子束诱发的表面形貌进行了分析。实验结果表明,当能量密度~3J/cm2时,轰击表面开始形成大量的熔坑。能量密度~4J/cm2时,表面开始出现微裂纹,微裂纹的形态与单晶Si的晶体取向密切相关;强流脉冲电子束轰击能够诱发表层强烈的塑性变形,[111]取向单晶Si表面出现剪切带结构,而[001]取向单晶Si表面变形结构则以微条带为主;此外,变形区域内还出现大量<100nm的微孔洞形貌,这些微孔洞的形成为制备表面多孔材料提供了可能。 展开更多
关键词 强流脉冲电子束 单晶硅 剪切带 微孔洞 熔坑
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真空高阻区熔Si单晶中的微缺陷及其少子寿命 被引量:6
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作者 闫萍 张殿朝 +1 位作者 庞丙远 索开南 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1003-1006,共4页
通过在Ar气氛及真空环境中进行的高阻区熔Si单晶生长实验,分析了晶体直径、晶体生长环境及晶体生长速率对晶体中微缺陷及少子寿命的影响及产生这种影响的原因。单晶生长实验表明,与在Ar气氛下的单晶生长相比,在真空环境下采用较低的晶... 通过在Ar气氛及真空环境中进行的高阻区熔Si单晶生长实验,分析了晶体直径、晶体生长环境及晶体生长速率对晶体中微缺陷及少子寿命的影响及产生这种影响的原因。单晶生长实验表明,与在Ar气氛下的单晶生长相比,在真空环境下采用较低的晶体生长速率即可生长出无漩涡缺陷的单晶,而当晶体生长速度较高时,尽管可以消除漩涡,但单晶的少子寿命却有明显的下降。 展开更多
关键词 高阻硅单晶 微缺陷 少子寿命
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β-Si_3N_4单晶体的制备 被引量:2
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作者 许兴利 周龙捷 +3 位作者 马利国 代建清 黄勇 谢志鹏 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期17-18,21,共3页
在自增韧 Si3N4陶瓷的烧结过程中 ,添加作为晶种的长柱状β- Si3N4单晶体对于改善陶瓷的强度和韧性是非常有效的。本研究旨在制备出长柱状 β- Si3N4单晶体 ,并对其尺寸和形貌进行有效的控制。通过对 87.3wt% α- Si3N4+8.3wt% Y2 O3+ 4... 在自增韧 Si3N4陶瓷的烧结过程中 ,添加作为晶种的长柱状β- Si3N4单晶体对于改善陶瓷的强度和韧性是非常有效的。本研究旨在制备出长柱状 β- Si3N4单晶体 ,并对其尺寸和形貌进行有效的控制。通过对 87.3wt% α- Si3N4+8.3wt% Y2 O3+ 4.4wt% Si O2 体系进行气压烧结 ,经去除掉玻璃相等漂洗工艺后 ,制得 β- Si3N4单晶体 ,其直径为 1~2μm、长度为 4~ 6μm。同时对不同烧结工艺下制得的β- 展开更多
关键词 长柱状 β-氮化硅单晶体 氮化硅陶瓷 形貌 晶粒尺寸
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铂单晶电极表面不可逆反应动力学──Ⅱ铂单晶(100)晶面电极上甲酸氧化反应动力学参数解析 被引量:5
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作者 孙世刚 杨毅芸 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1997年第8期673-679,共7页
运用程序电位阶跃方法,避免甲酸解离吸附的干扰,成功地研究了Pt(100)单晶电极上甲酸经活性中间体直接氧化至CO2的反应动力学.提出对电化学暂态实验数据进行积分变换求解动力学参数的方法,编制了相关的计算机软件,首次获得甲酸在P... 运用程序电位阶跃方法,避免甲酸解离吸附的干扰,成功地研究了Pt(100)单晶电极上甲酸经活性中间体直接氧化至CO2的反应动力学.提出对电化学暂态实验数据进行积分变换求解动力学参数的方法,编制了相关的计算机软件,首次获得甲酸在Pt(100)单晶电极上直接氧化的反应动力学参数。结果给出在0.02V至0.15V电位区间,速率常数kf的对数随电极电位线性增长,kf从9.51×10-4上升到1.38×10-2cm·s-1.获得传递系数β=0.309,5×10-3mol·L-1HCOOH+0.5mol·L-1H2SO4溶液中甲酸的扩散系数D=1.80×10-5cm2.s-1. 展开更多
关键词 不可逆反应 单晶 铂电极 甲酸 氧化 反应动力学
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热处理对(Mo_(0.85)Nb_(0.15))Si_2单晶显微结构的影响 被引量:1
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作者 杨海波 李伟 +1 位作者 单爱党 吴建生 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期100-104,共5页
电弧熔炼制备的(Mo0.85Nb0.15)Si2合金为MoSi2(C11b结构)和NbSi2(C40结构)两相组织.以电弧熔炼得到的合金为母合金,通过光学悬浮区域熔炼法,选择适当的生长速度4 mm/h制备了(Mo0.85Nb0.15)Si2单晶,单晶结构为C40结构.对单晶在1 200~1 ... 电弧熔炼制备的(Mo0.85Nb0.15)Si2合金为MoSi2(C11b结构)和NbSi2(C40结构)两相组织.以电弧熔炼得到的合金为母合金,通过光学悬浮区域熔炼法,选择适当的生长速度4 mm/h制备了(Mo0.85Nb0.15)Si2单晶,单晶结构为C40结构.对单晶在1 200~1 700℃进行不同时间的退火处理.研究了不同热处理制度对合金显微结构的影响规律.结果表明:经1 600℃,6 h退火处理后,在合金中形成了排列紧密、方向取向相同的全片层状结构,片层间距为200~300 nm.经EDS分析,这种片层结构由贫Nb的C11b相和富Nb的C40相组成. 展开更多
关键词 Mo-si 单晶 金属间化合物 退火 显微结构
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中子和电子辐照Si中的氧相关缺陷研究进展 被引量:6
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作者 孟祥提 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期247-,共1页
氧相关缺陷是中子和电子辐照Si中的重要缺陷。虽然对这些缺陷已经研究很多 ,如对空位 -氧 (V 0 )复合体即A中心已有大量研究报告发表 ,但是因为所用的材料、辐照通量、测量方法及测量仪器的精度不同 ,所报道的A中心的能级和退火行为特... 氧相关缺陷是中子和电子辐照Si中的重要缺陷。虽然对这些缺陷已经研究很多 ,如对空位 -氧 (V 0 )复合体即A中心已有大量研究报告发表 ,但是因为所用的材料、辐照通量、测量方法及测量仪器的精度不同 ,所报道的A中心的能级和退火行为特征包括退火温度不一致。由此 ,对氧相关缺陷的研究仍然是一个引人注目的课题。本文报告了这方面研究的一些新进展。中子辐照CZSi中有 82 8cm 1红外 (IR)峰 (A中心 ) ,2 0 0~ 30 0℃退火后强度增加 ,然后强度急剧下降 ,4 0 0℃后稳定 ,550℃退火消失。已将 2 0 0~ 30 0℃强度的增加归于X1中心的聚集 ,它与杂质 -缺陷团相关。 82 8cm 1IR峰在高于 4 0 0℃的稳定已归于无序区或大缺陷附近陷阱大量的A中心 ,这引起较大的结合能。我们的IR测量曾表明 ,在 6× 10 17中子 /cm2 (镉比为 12 .4 )辐照态CZSi中 ,82 9cm 1IR峰强度很大 ,~ 2 0 0℃退火后强度增加 ,350℃退火后强度急剧下降 ,~ 6 0 0℃退火消失。用正电子湮没技术测量了低温和室温不同电子通量辐照Si中的缺陷 ,发现一直存在着浅正电子陷阱 ,它在电子辐照CZSi中比在电子辐照FZSi中的浓度高 ,由此得出它含有 0 ,可能是辐照致A中心。辐照缺陷可以陷阱高浓度自由载流子 ,电阻率增加。已经用快中子辐照和IR技术测量确定? 展开更多
关键词 硅单晶 中子辐照 电子辐照 氧相关缺陷
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nc-Ge/Si岛基光子晶体单点缺陷腔的数值模拟与分析
17
作者 唐海侠 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2139-2143,共5页
阐述了利用光子晶体单点缺陷微腔来提高Ge/Si纳米岛发光效率的机理.通过3DFDTD方法计算出在平板厚度为300nm时,谐振波长随a和r/a变化的规律,即当给定r/a,h时,波长随晶格常数成次线性增加;当给定a,h时,波长随r/a的增加而减小.并从理论上... 阐述了利用光子晶体单点缺陷微腔来提高Ge/Si纳米岛发光效率的机理.通过3DFDTD方法计算出在平板厚度为300nm时,谐振波长随a和r/a变化的规律,即当给定r/a,h时,波长随晶格常数成次线性增加;当给定a,h时,波长随r/a的增加而减小.并从理论上给予分析. 展开更多
关键词 光子晶体 单缺陷腔 nc-Ge/si
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SiO_2层对金刚石膜初期生长影响的研究
18
作者 陈岩 陈启谨 +2 位作者 崔玉德 孙碧武 林彰达 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第6期396-400,共5页
用俄歇子能谱(AES)研究了热丝法生长金刚石膜中未经划痕处理的单晶硅衬底在不同沉积时间下的表面结构及Si,C,O元素浓度的深度分布。结果表明:在沉积过程中,随沉积时间增加时,基材表面C浓度增加,O浓度下降,但SiC过渡层的生长缓... 用俄歇子能谱(AES)研究了热丝法生长金刚石膜中未经划痕处理的单晶硅衬底在不同沉积时间下的表面结构及Si,C,O元素浓度的深度分布。结果表明:在沉积过程中,随沉积时间增加时,基材表面C浓度增加,O浓度下降,但SiC过渡层的生长缓慢。700℃沉积4h时仍无结构完整的SiC层生成,这是表面SiO2层阻碍了SiC的形成。分析了不经划痕处理的基材形核率低的原因。用高分辨电镜(HREM)观察了生长良好的金刚石膜的膜—基界面,发现没有SiO2层存在。 展开更多
关键词 表面结构 单晶硅衬底 生长速率 氧化硅
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p-Si单晶低表面复合速度的获得
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作者 颜永美 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期1045-1050,共6页
提出减低 p- Si单晶表面复合速度参数值的两个行而有效的方法 ,解释了其不同的作用机理 .实验表明 ,经 HF腐蚀处理过的 p- Si单晶 ,自然晾干的表面复合速度测算值比红外灯烘干的测算值低 1个量级以上 ;而对于同一 p- Si单晶 ,置于氮气... 提出减低 p- Si单晶表面复合速度参数值的两个行而有效的方法 ,解释了其不同的作用机理 .实验表明 ,经 HF腐蚀处理过的 p- Si单晶 ,自然晾干的表面复合速度测算值比红外灯烘干的测算值低 1个量级以上 ;而对于同一 p- Si单晶 ,置于氮气氛围之中的测算值要比大气之中的测算值低 展开更多
关键词 p-si单晶 低表面复合速度 半导体 表面性质 电学性能 氟化氢腐蚀
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p型Si单晶表面态真空效应的光伏测定
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作者 颜永美 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1992年第1期30-33,共4页
本文报导了采用变温光伏方法对不同真空度下的p型硅单晶的表面态参数进行非破坏性的测算。发现在不同真空度下,其表面能级E_S(或表面势垒高度ψ_BP)和单位能量间隔的表面态密度D_S等参数以及常温温区下的光伏值可有明显的差异。
关键词 真空效应 p型硅单晶 光伏方法 测定
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