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题名蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤双片式角度抛光法检测
被引量:6
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作者
徐晓明
刘道标
周海
卓志国
臧跃
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机构
常州大学
盐城工学院
江苏大学
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出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2014年第5期118-122,36,共6页
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基金
江苏省自然科学基金项目(BK2008197)
江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048)
+2 种基金
江苏省新型环保重点实验室开放课题基金项目(AE201120)
江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助项目(EML2012013)
国际科技合作聘专重点资助项目
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文摘
针对传统角度抛光法检测的不足,提出将双片式角度抛光法用于蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度的检测。双片式角度抛光法采用双晶片重合黏结的实验晶片组测量抛光斜面腐蚀裂纹,避免了传统角度抛光法因抛光斜面和原晶片平面分界边缘难以辨别而造成的测量误差;使用数显测长仪对实验晶片组抛光斜面加工轮廓进行测量,测量结果代入相应计算公式得出准确的斜面倾角,消除角度取值不准确带来的方法误差,提高了测量精度。经检测得到,单晶面抛光斜面平均裂纹宽度约为175μm、平均斜面倾角为4.91°,双面研磨单晶面亚表面损伤层深度约为15μm,双晶面亚表面损伤层深度约为30μm。双面研磨工艺参数:研磨液采用320#碳化硼磨粒煤油溶液,研磨初始压力为30g/cm2,研磨终止压力为110g/cm2,研磨盘转速为13r/min。
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关键词
角度抛光
蓝宝石
衬底基片
双面研磨
亚表面损伤
裂纹
斜面倾角
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Keywords
angle polishing
sapphire
substrate body
double-sided grinding
subsurface damage
crack
slant angle
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分类号
TH161.14
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名斜等距曲面及其在异形曲面加工中的应用
- 2
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作者
宋作忠
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机构
黑龙江科技学院数力系
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出处
《黑龙江科技学院学报》
CAS
2004年第3期174-176,共3页
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文摘
针对异型曲面的加工问题,引入了斜等距曲面的概念,并对其性质进行了分析,建立了锥状刀具磨削异型曲面的数学模型。根据被加工的曲面特征,通过计算机模拟其加工过程,来寻求最优的刀轴运动轨迹和刀具几何特征参数。
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关键词
斜等距曲面
数学模型
磨削
参数优化
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Keywords
slant equidistant surface
mathematics model
grinding
parameter optimizing
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分类号
O29
[理学—应用数学]
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题名H187凸轮轴斜头架磨床的数控改造
- 3
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作者
任爱华
周宏
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机构
湖北汽车工业学院
东风有限商用车公司发动机厂
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出处
《煤矿机械》
北大核心
2012年第5期187-188,共2页
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文摘
从方案拟定、硬件设计及典型功能实现等方面介绍了H187凸轮轴斜头架磨床的改造方法和过程。为满足加工精度及加工节拍的要求,采用了交流变频调速技术以实现恒线速磨削。生产实践表明,改造后的磨床大大提高了磨削质量和生产效率,达到了预期效果。
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关键词
FANUC
0i-TC
凸轮轴斜头架磨床
数控改造
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Keywords
FANUC 0i-TC
slanting headstock camshaft grinding machine
NC improvement
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分类号
TG51
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名汽车前轮偏磨问题分析与解决
被引量:3
- 4
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作者
伍刚
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机构
柳州五菱汽车工业有限公司技术中心
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出处
《装备制造技术》
2009年第8期139-141,共3页
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文摘
针对五菱V1旅游观光车前轮偏磨问题,通过运用UG_motion运动分析和数学计算方法相结合,对前轮前束和外倾角的匹配进行仿真技术分析和数学计算,找出轮胎偏磨的原因,提出了一种解决前轮独立悬架前轮胎偏磨的解决措施实施方案;并结合检测线侧滑量检测和实车试验,最终解决了五菱V1车前轮偏磨问题。
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关键词
轮胎
偏磨
前束与外倾角
匹配
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Keywords
tire
slant grind
toe & camber
matching
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分类号
U463.341
[机械工程—车辆工程]
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题名铸态球墨铸铁磨盘的生产
被引量:1
- 5
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作者
何良荣
柯志敏
张红林
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机构
广东中天创展球铁有限公司
广东省高性能大型铸件制造及模拟工程技术研究中心
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出处
《铸造设备与工艺》
2019年第3期19-21,27,共4页
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文摘
本文介绍了铸态铁素体球墨铸铁磨盘的生产过程,磨盘要求铸态硬度值偏差小、探伤无铸造缺陷。详细阐述了其铸造工艺、浇注系统、冷铁方案和平做斜浇的浇注方案,并给出了铸件的化学成分控制范围及球化孕育处理方法。批量生产检验结果表明,磨盘整体硬度偏差小,超声探伤符合要求,加工后无铸造缺陷,质量全面达到客户的要求。
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关键词
铁素体球墨铸铁磨盘
硬度偏差
浇注系统
冷铁方案
平做斜浇
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Keywords
Ferritic ductile iron grinding disc
hardness deviation
pouring system
chill scheme
flat slant casting
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分类号
TG255
[金属学及工艺—铸造]
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