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Multi-relaxation-time lattice Boltzmann simulation of slide damping in micro-scale shear-driven rarefied gas flow
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作者 Song Xucheng Li Pu Zhu Rui 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2019年第1期30-35,共6页
To investigate the slide film damping in the micro-scale shear-driven rarefied gas flows, an effective multi-relaxation-time lattice Boltzmann method(MRT-LBM) is proposed. Through the Knudsen boundary layer model, the... To investigate the slide film damping in the micro-scale shear-driven rarefied gas flows, an effective multi-relaxation-time lattice Boltzmann method(MRT-LBM) is proposed. Through the Knudsen boundary layer model, the effects of wall and rarefaction are considered in the correction of relaxation time. The results of gas velocity distributions are compared among the MRT, Monte Carlo model(DSMC) and high-order LBM, and the effects of the tangential momentum accommodation coefficient on the gas velocity distributions are also compared between the MRT and the high-order LBM. It is indicated that the amendatory MRT-LBM can unlock the dilemma of simulation of micro-scale non-equilibrium. Finally, the effects of the Knudsen number, the Stokes number, and the gap between the plates on the damping are researched. The results show that by decreasing the Knudsen number or increasing the Stokes number, the slide film damping increases in the transition regime;however, as the size of the gap increases, the slide film damping decreases substantially. 展开更多
关键词 lattice Boltzmann method multi-relaxation-time slide film damping shear-driven oscillating flow
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Design and simulation of a tuning fork micromachined gyroscope with slide film damping
2
作者 CHE Lu-feng XIONG Bin +1 位作者 JIAO Ji-wei WANG Yue-lin 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期519-524,共6页
A novel tuning fork micromachined gyroscope, based on slide-film damping, is presented. The electrostatic driving gyroscope consists of two driving masses each of which supports one sensitive mass. The angular rate is... A novel tuning fork micromachined gyroscope, based on slide-film damping, is presented. The electrostatic driving gyroscope consists of two driving masses each of which supports one sensitive mass. The angular rate is sensed by the differential capacitances consisted of movable bar electrodes and fixed bar electrodes located on the glass wafer. The gyroscope can operate at atmospheric pressure with slide film damping in the driving and sensing directions, eliminate vacuum packaging and restrain cross-axis acceleration signal. The results of design and simulation show that the driving and sensing mode frequencies are 3 106 Hz and 3 175 Hz,respectively, and the Q-values in driving and sensitive modes are 1 721 and 1 450 respectively. The design resolution is 0.025°/s. 展开更多
关键词 等效电路模拟 角度传感器 微电子力学系统 电路等效方程
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电动静液作动器的非线性变阻尼积分滑模控制
3
作者 杨荣荣 张玲 +2 位作者 赵家黎 付永领 张朋 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期163-172,共10页
对于电动静液作动器(EHA),传统滑模控制器存在加速度信息难以获取,参数不易整定和控制信号抖振等问题,从而造成控制器很难应用于实际。针对以上问题,利用奇异摄动理论对EHA数学模型进行合理的降阶,从而使控制器设计避免了使用加速度信... 对于电动静液作动器(EHA),传统滑模控制器存在加速度信息难以获取,参数不易整定和控制信号抖振等问题,从而造成控制器很难应用于实际。针对以上问题,利用奇异摄动理论对EHA数学模型进行合理的降阶,从而使控制器设计避免了使用加速度信息。在此基础上,利用降阶模型设计了一种新型非线性变阻尼积分滑模控制器(NSMC),该控制器可根据位置控制误差实现系统阻尼比由欠阻尼到过阻尼的自适应调节,能有效提高位置阶跃调节性能。设计了一种基于滤波器的不确定项估计器对EHA中存在的参数不确定性和外部扰动进行实时估计并补偿。滑模面积分项的引入和不确定项估计器的使用,一方面使控制器中无需使用切换函数,实现了EHA的无抖振滑模控制,另一方面使系统整个动态过程完全表现为滑动模态,从而可根据EHA控制指标直接整定滑模面参数,大大简化了参数整定过程。同时利用Lyapunov稳定性理论对整个闭环系统和滑模面的稳定性进行了详细分析。分别与PI控制器、传统滑模控制器(SMC)和传统变阻尼滑模控制器(DVSMC)进行了详细的仿真分析比较,仿真结果表明NSMC能有效提高EHA位置跟踪性能和增强对参数不确定性和外部扰动的鲁棒性。 展开更多
关键词 电动静液作动器 奇异摄动 变阻尼 积分滑模控制 不确定项估计器
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试验台约束对滑动轴承动特性识别精度的影响
4
作者 陈润霖 唐杰 +3 位作者 徐帆 杜辰 崔亚辉 刘凯 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期189-195,共7页
在滑动轴承的动特性测试中,试验台参数对动特性测试精度有重要的影响。以某倒置式轴承动特性试验台为研究对象,基于轴承动力学正反问题,提出滑动轴承动特性系数识别精度的仿真评估方法,分析不同激振频率时试验台约束参数对轴承动特性系... 在滑动轴承的动特性测试中,试验台参数对动特性测试精度有重要的影响。以某倒置式轴承动特性试验台为研究对象,基于轴承动力学正反问题,提出滑动轴承动特性系数识别精度的仿真评估方法,分析不同激振频率时试验台约束参数对轴承动特性系数识别精度的影响规律,并对激振频率和约束参数的取值范围进行优选。结果表明:在较低激振频率的条件下,当约束刚度和约束阻尼取值较小时,动特性系数的识别精度受测试误差的影响不大,随着约束刚度和约束阻尼取值增大到一定值,动特性系数的识别精度受测试误差的影响迅速增大。针对研究的试验台,选择激振频率在30~300 Hz之间,选择试验台约束刚度小于试验轴承刚度的0.3%,试验台约束阻尼小于试验轴承阻尼的7%时,能够保证较好的轴承动特性系数的测试精度。 展开更多
关键词 滑动轴承试验台 约束刚度和阻尼 轴承动特性系数 识别精度
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电流源型PWM整流器改进预测滑模控制
5
作者 黄勇军 李山 郭强 《电气工程学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期100-109,共10页
针对三相电流源型整流器(Current source rectifier,CSR)拓扑提出了一种改进预测控制策略。首先,在CSR交流侧,对传统有限集模型预测控制进行了优化预测算法,减小了程序计算负担;其次,在CSR直流侧,采用滑模控制得到网侧有功功率参考值,... 针对三相电流源型整流器(Current source rectifier,CSR)拓扑提出了一种改进预测控制策略。首先,在CSR交流侧,对传统有限集模型预测控制进行了优化预测算法,减小了程序计算负担;其次,在CSR直流侧,采用滑模控制得到网侧有功功率参考值,提高了系统的动态性能。针对CSR交流侧LC滤波器容易产生谐振的问题,所提控制策略的代价函数增加了有源阻尼约束项;采用龙伯格状态观测器观测CSR交流侧电容电压,减少了传感器的使用。基于功率流的定量分析生成网侧电流参考,使得整流器能够在不平衡电网电压的情况下能实现恒定输出电流、网侧电流正弦化和高输入功率因数。最后,通过Matlab/Simulink仿真与样机试验验证了所提控制策略的正确性。 展开更多
关键词 模型预测 状态观测器 电网电压不平衡 有源阻尼 滑模控制 谐波分析
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基于ESMO-DPLL的混合式步进电机主动式阻尼控制
6
作者 施雨 武志涛 佟文明 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第18期5657-5667,共11页
针对混合式步进电机阻尼系数较小引起的振荡以及失步问题,提出一种主动式阻尼闭环控制方法提高步进电机的控制品质。首先,该方法基于同步旋转dq坐标系下的电机模型,将电流id控制恒为额定电流,利用转速误差调节电流iq生成瞬时转矩,改善... 针对混合式步进电机阻尼系数较小引起的振荡以及失步问题,提出一种主动式阻尼闭环控制方法提高步进电机的控制品质。首先,该方法基于同步旋转dq坐标系下的电机模型,将电流id控制恒为额定电流,利用转速误差调节电流iq生成瞬时转矩,改善电机运行时存在的振荡现象。其次,为实现转速闭环,提出一种扩展滑模反电动势观测器(ESMO)与双锁相环(DPLL)相结合的无传感器控制方法,ESMO改善了传统滑模观测器的抖振问题,DPLL能消除加减速过程中的稳态误差。最后,通过实验验证了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 混合式步进电机 闭环控制 主动式阻尼控制 锁相环 滑模观测器
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无座力炮动不平衡冲量测试方法研究
7
作者 贾琪 邱奖利 +3 位作者 支凯艳 杨江 郭浩 董长宏 《兵工自动化》 北大核心 2024年第6期36-39,共4页
针对无座力炮动不平衡冲量的测试存在操作过程繁琐且不易满足测量精度要求的问题,设计一种新的测试装置。通过低阻尼滑轨和高精度传感器测试出无座力炮发射时的速度、位移,根据动量原理算出无座力炮的动不平衡冲量。试验验证结果表明:... 针对无座力炮动不平衡冲量的测试存在操作过程繁琐且不易满足测量精度要求的问题,设计一种新的测试装置。通过低阻尼滑轨和高精度传感器测试出无座力炮发射时的速度、位移,根据动量原理算出无座力炮的动不平衡冲量。试验验证结果表明:该测试系统平均测试误差为0.48%,可成功应用于无座力炮动不平衡冲量测试。 展开更多
关键词 无座力炮 动不平衡冲量 低阻尼滑轨 高精度传感器
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钢板阻尼连接的装配式边柱减震节点滞回性能试验研究
8
作者 刘如月 吴俭滨 +2 位作者 吴应雄 颜桂云 王昊 《工程科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期113-123,共11页
为研究不同耗能机制的钢板阻尼连接对装配式钢框架梁柱节点力学性能的影响,本文对两个钢板阻尼连接的装配式边柱减震节点试件进行拟静力试验研究,获得试件的破坏模态、滞回曲线、骨架曲线、滑移曲线和应变发展情况,分析试件的承载力、... 为研究不同耗能机制的钢板阻尼连接对装配式钢框架梁柱节点力学性能的影响,本文对两个钢板阻尼连接的装配式边柱减震节点试件进行拟静力试验研究,获得试件的破坏模态、滞回曲线、骨架曲线、滑移曲线和应变发展情况,分析试件的承载力、延性、耗能能力、弯矩–转角等性能指标。研究结果表明:钢板阻尼连接的装配式边柱减震节点具有较好的承载性能和耗能性能,在试验过程中未发现梁、柱主体构件及节点核心区破坏现象,可将损伤集中控制于钢板阻尼连接处。耗能钢板圆形开孔的承压型钢板阻尼连接的装配式边柱减震节点(试件BSDC)主要为耗能钢板发生受拉破坏,长圆形开孔的摩擦型钢板阻尼连接的装配式边柱减震节点(试件FSDC)出现明显的滑移行为,在钢板阻尼连接处产生明显的弯曲残余变形。试件FSDC的承载力略低于试件BSDC,且由于往复荷载下的摩擦系数和预紧力损伤,加载后期试件FSDC承载力出现轻微下降,但其滞回曲线较为饱满,滞回行为稳定,而试件BSDC由于耗能钢板断裂导致承载力急剧下降。试件FSDC的耗能能力和延性均优于试件BSDC,摩擦型钢板阻尼连接耗能占比为88%,承压型钢板阻尼连接为67%,实现了集中耗能,钢板阻尼连接处的滑移行为可改善试件的耗能性能和变形能力。 展开更多
关键词 装配式边柱减震节点 钢板阻尼连接 滑移行为 损伤控制 耗能集中
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考虑瓦块子结构的可倾瓦轴承广义完整动特性系数研究
9
作者 闫岗 刘洋洋 +2 位作者 齐洪柱 佟晓敏 袁小阳 《轴承》 北大核心 2024年第3期9-20,共12页
针对因忽略瓦块子结构动力学特性而导致常规8系数无法分析瓦块摆振特性及其稳定性的问题,提出考虑瓦块子结构的可倾瓦轴承广义完整动特性系数表征方法。以瓦间承载的四瓦可倾瓦轴承为研究对象,采用差分概念法计算了其广义完整动特性系数... 针对因忽略瓦块子结构动力学特性而导致常规8系数无法分析瓦块摆振特性及其稳定性的问题,提出考虑瓦块子结构的可倾瓦轴承广义完整动特性系数表征方法。以瓦间承载的四瓦可倾瓦轴承为研究对象,采用差分概念法计算了其广义完整动特性系数,利用线性和非线性方法计算得到的小扰动响应对比验证了计算模型的正确性,研究了轴承结构参数和运行工况对可倾瓦轴承动特性系数的影响规律。研究结果表明:承载瓦的稳定性高于非承载瓦;重载工况下非承载瓦易发生失稳故障;转速过高会降低转子轴承系统的减振能力;存在一个最佳支点系数可以使各瓦块的角刚度最大;增大长径比、预载荷系数和瓦包角,减小轴承间隙比可以提高轴承的刚度系数、阻尼系数以及各瓦块的角刚度系数、角阻尼系数,轴承间隙对动特性系数的影响最显著。 展开更多
关键词 滑动轴承 可倾瓦轴承 动稳定性 承载能力 刚度系数 阻尼系数
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Sliding Mode Control of Vibration in Single-Degree-of-Freedom Exponentially Damped Oscillator 被引量:1
10
作者 XIU Guozhong SHI Bao +1 位作者 HE Yingzheng ZHAO Wenfei 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2019年第4期385-389,共5页
The purpose is to design the control method for a single-degree-of-freedom(SDOF)exponentially damped oscillator.Based on the Lyapunov stability theory,sliding mode control and adaptive sliding mode control have been p... The purpose is to design the control method for a single-degree-of-freedom(SDOF)exponentially damped oscillator.Based on the Lyapunov stability theory,sliding mode control and adaptive sliding mode control have been proposed.Sliding control laws and adaptive sliding laws are designed for exponentially damped oscillator respectively in cases that the bound of the external exciting force is known or unknown.The viability and effectiveness of the above control designs have been validated by numerical simulations. 展开更多
关键词 nonviscously dampED model exponentiallly dampED OSCILLATOR SLIDING CONTROL adaptive CONTROL
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CALCULATION OF THE DAMPING OF THE Zn-27Al ALLOY BASED ON THE MICRO INTERFACE SLIDING MODEL 被引量:2
11
作者 Y.Z. Zhao Q. Gao Y.C. Liu 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期228-234,共7页
The microstructures of the Zn-27Al alloy after modification, solid-solution treatment, and natural aging were studied. It was clarified why the damping properties of Zn-27Al alloys, after treatment, had advanced most ... The microstructures of the Zn-27Al alloy after modification, solid-solution treatment, and natural aging were studied. It was clarified why the damping properties of Zn-27Al alloys, after treatment, had advanced most on the basis of analyzing the microstructures. Approximate expressions have been educed, which can be used to quantificationally work out the damping of the Zn-27Al alloy on the basis of the micro interface sliding model. By comparing the testing damping properties of the foundry Zn-27Al alloys and the Zn-27Al alloys after modification, solid solution, and natural aging, it was shown that the expressions were rational. 展开更多
关键词 MODIFICATION solid solution and aging damping micromechanism micro interface sliding model
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雄安体育中心体育场结构设计 被引量:1
12
作者 徐晓明 高峰 +5 位作者 叶伟 张士昌 史炜洲 潘钦 周露 万瑜 《建筑结构》 北大核心 2023年第1期54-58,114,共6页
雄安体育中心体育场主体结构采用钢框架-支撑体系,屋盖钢结构由外圈屋盖钢结构和屋顶中央网壳组成,看台区域均采用组合型肋梁预制看台板。详细介绍了该体育场结构方案,包括看台钢结构设计、拱脚滑动释放、网壳结构体系、典型节点设计等... 雄安体育中心体育场主体结构采用钢框架-支撑体系,屋盖钢结构由外圈屋盖钢结构和屋顶中央网壳组成,看台区域均采用组合型肋梁预制看台板。详细介绍了该体育场结构方案,包括看台钢结构设计、拱脚滑动释放、网壳结构体系、典型节点设计等。通过方案比选,屋顶中央网壳采用分索式索承铝合金网壳的结构体系,提高了索承结构对不规则建筑平面的适应能力。设计中对南侧拱脚进行了施工工序优化,拱脚处采用滑动释放措施,降低了看台钢结构南侧拱桁架的水平推力。本项目位于高烈度区,采用了速度型黏滞阻尼墙作为结构的减震措施,在多遇地震下黏滞阻尼墙作为结构的安全余量储备,在罕遇地震作用下,阻尼墙耗能占比5%。在部分应力较大的铝合金网壳节点中设置腹板加强板,提高了结构的安全性。 展开更多
关键词 雄安体育中心 体育场 大跨空间结构 钢框架-支撑体系 分索式索承结构 拱脚滑动释放 减震措施 节点设计
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变工况下半主动悬置系统滑模控制特性分析 被引量:2
13
作者 张明亮 李祥 +1 位作者 李岚 潘道远 《重庆理工大学学报(自然科学)》 北大核心 2023年第6期58-65,共8页
为提高变工况下发动机半主动悬置系统的隔振性能,提出一种基于天棚阻尼参考模型的滑模控制方法。根据牛顿第二定律建立1/4半主动悬置系统力学模型,以理想天棚阻尼控制系统作为参考模型,引入误差动力学模型进行滑模控制器设计;考虑车辆... 为提高变工况下发动机半主动悬置系统的隔振性能,提出一种基于天棚阻尼参考模型的滑模控制方法。根据牛顿第二定律建立1/4半主动悬置系统力学模型,以理想天棚阻尼控制系统作为参考模型,引入误差动力学模型进行滑模控制器设计;考虑车辆在行驶过程中切换挡位以及加减速等变工况的影响,建立半主动悬系统仿真模型验证滑模控制的有效性。分析结果表明:半主动悬置系统采用滑模控制后的隔振性能得到明显改善,趋于稳定的时间更短;在相同的挡位切换工况下,随着车速上升,滑模控制改善半主动悬置系统隔振性能随之下降;在相同的车速切换工况下,随着挡位上升,滑模控制改善半主动悬置系统隔振性能随之提高。 展开更多
关键词 发动机 半主动悬置系统 天棚阻尼 滑模控制 隔振性能
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直升机尾桨永磁同步电机无传感复合控制 被引量:1
14
作者 江浩 周瑾 姚润晖 《电力电子技术》 北大核心 2023年第6期13-17,共5页
直升机涵道尾桨永磁同步电机采用无转速传感器控制能够避免由转速传感器故障引起的电机失稳,考虑到永磁同步电机低速恒流频比(I/F)无传感控制转速易波动、中高速滑模无传感控制高频抖振明显等问题,提出了一种阻尼转矩补偿I/F与自适应滑... 直升机涵道尾桨永磁同步电机采用无转速传感器控制能够避免由转速传感器故障引起的电机失稳,考虑到永磁同步电机低速恒流频比(I/F)无传感控制转速易波动、中高速滑模无传感控制高频抖振明显等问题,提出了一种阻尼转矩补偿I/F与自适应滑模相结合的全速范围复合控制策略。首先,在低速I/F无传感控制的基础上根据电机瞬时有功功率调节电流矢量转速以产生阻尼转矩,补偿电磁转矩中的不平衡分量,提升电机低速的稳定性;其次,基于中高速滑模无传感控制构建了反电势自适应律以削弱反电势抖振,在省略了反电势低通滤波器的同时,进一步降低了锁相环输出的估计转速波动幅度,提升了电机转子位置的估计精度。仿真与试验结果均验证了该复合无传感控制策略在电机全速范围内运行具有良好的稳定性与可靠性。 展开更多
关键词 永磁同步电机 阻尼转矩 自适应滑模
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基于数据驱动的交直流混联电网阻尼调制策略
15
作者 邱家威 杨德友 +2 位作者 蔡国伟 王丽馨 段方维 《电力系统及其自动化学报》 CSCD 北大核心 2023年第1期59-67,共9页
为改善交、直流混联电网因联络线上功率失衡引起的弱阻尼区间模式,提出一种基于定点滑窗摄动法筛选灵敏发电机组的有功再调度阻尼调制策略。首先,研究联络线断面交、直流功率配比和单极闭锁故障对区间振荡的影响;然后,基于随机响应数据... 为改善交、直流混联电网因联络线上功率失衡引起的弱阻尼区间模式,提出一种基于定点滑窗摄动法筛选灵敏发电机组的有功再调度阻尼调制策略。首先,研究联络线断面交、直流功率配比和单极闭锁故障对区间振荡的影响;然后,基于随机响应数据运用随机子空间辨识法辨识系统模态,并根据发电机有功自然摄动提出定点滑窗摄动法计算发电机阻尼比-有功灵敏度,选出送、受端灵敏度最大的发电机组合进行有功再调度,定向提高区间振荡阻尼比以满足系统安全稳定运行的要求;最后,在改进的IEEE 16机5区系统进行仿真与计算,其结果验证了辨识方法的有效性和所提策略的可行性。 展开更多
关键词 交直流混联电网 定点滑窗摄动法 阻尼比灵敏度 直流单极闭锁 有功再调度
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弱电网下基于改进的混合阻尼滑模控制策略
16
作者 岳运盛 《世界有色金属》 2023年第12期147-149,共3页
分布式能源并网系统中,因为变压器的连接以及线路长距离传输的影响,电网会表现出弱电网特性。本文提出一种弱电网下的混合阻尼滑模控制的LCL并网逆变器控制策略,使得系统具有较强的鲁棒性,较小的跟踪误差和总谐波失真。所提的控制策略... 分布式能源并网系统中,因为变压器的连接以及线路长距离传输的影响,电网会表现出弱电网特性。本文提出一种弱电网下的混合阻尼滑模控制的LCL并网逆变器控制策略,使得系统具有较强的鲁棒性,较小的跟踪误差和总谐波失真。所提的控制策略在混合阻尼方式下,能够更好的抑制LCL滤波器的谐波影响。在传统滑模控制策略的基础上引入了多重共振项,提高了并网电流对其参考值的跟踪能力,MatlabSimulink仿真平台验证了所提策略的有效性。 展开更多
关键词 弱电网 并网逆变器 混合阻尼 滑模控制
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基于ISFD的滑动轴承转子系统不平衡振动抑制研究 被引量:2
17
作者 路凯华 耿斌斌 +3 位作者 何立东 陈钊 王五四 张嘉洋 《机电工程》 CAS 北大核心 2023年第11期1768-1775,共8页
由于高转速和大功率的需要,现有很多转子设备往往是基于滑动轴承设计的,因而由不平衡故障引起的振动成为影响这些设备安全运行的关键因素。为了探究整体式挤压油膜阻尼器(ISFD)对滑动轴承转子系统因不平衡故障产生振动的抑制效果,对安装... 由于高转速和大功率的需要,现有很多转子设备往往是基于滑动轴承设计的,因而由不平衡故障引起的振动成为影响这些设备安全运行的关键因素。为了探究整体式挤压油膜阻尼器(ISFD)对滑动轴承转子系统因不平衡故障产生振动的抑制效果,对安装有ISFD阻尼支承后的转子系统的不平衡振动响应进行了研究。首先,以实验室现有的转子试验台为基础,设计了安装有滑动轴承的ISFD阻尼支承结构,对ISFD的减振机理进行了介绍;然后,运用有限元方法,研究了ISFD弹性体的径向刚度特性;最后,搭建了单跨对称转子试验台,采用试验的方式,研究了该ISFD阻尼支承结构对转子不平衡振动的抑制效果。研究结果表明:在较宽的载荷范围内,ISFD弹性体的位移值与静载荷呈线性关系,具有优良的线性刚度特性;ISFD具有优良的阻尼特性,可以较好地抑制不同转速工况下滑动轴承转子系统的不平衡振动,在1 800 r/min的工况下,转子在x和y方向的振动降幅分别为38.4%和49.4%;ISFD阻尼支承可以有效抑制滑动轴承转子系统不平衡故障导致的工频振动,在1 600 r/min的工况下,转子在x和y方向的工频振动降幅分别为19.5%和29.4%,其减振效果良好。该研究成果可以为ISFD在滑动轴承转子系统中的实际工程应用提供借鉴,具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 滑动轴承转子系统 整体式挤压油膜阻尼器 ISFD阻尼支承结构 不平衡故障 振动响应 弹性体径向刚度特性 振动抑制效果
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一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺 被引量:13
18
作者 陈永 焦继伟 +3 位作者 熊斌 车录锋 李昕欣 王跃林 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期103-105,149,共4页
介绍了一种基于滑膜阻尼效应的新型音叉式微机械陀螺。该陀螺包括两个驱动质量块和由各自驱动质量块支撑的检测质量块 ,通过检测质量块上的栅形电极与玻璃衬底上的固定检测电极之间的电容变化实现角速度信号的检测。对陀螺进行了结构设... 介绍了一种基于滑膜阻尼效应的新型音叉式微机械陀螺。该陀螺包括两个驱动质量块和由各自驱动质量块支撑的检测质量块 ,通过检测质量块上的栅形电极与玻璃衬底上的固定检测电极之间的电容变化实现角速度信号的检测。对陀螺进行了结构设计和分析。在陀螺芯片的制作过程中 ,解决了深反应离子刻蚀过程中的根部效应和滞后效应等问题。初步测试结果表明 ,该陀螺灵敏度和非线性度比较理想。 展开更多
关键词 微机械陀螺 体微机械加工 栅形电极 滑膜阻尼
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大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性 被引量:6
19
作者 陈永 焦继伟 +5 位作者 王惠泉 金仲和 张颖 熊斌 李昕欣 王跃林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期148-152,共5页
设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低... 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低的热噪声 .制作了陀螺芯片 ,并测试了其机械性能和噪声特性 .结果表明 ,该陀螺的噪声谱密度不超过 6 0 μV/Hz,灵敏度为 10mV/(°·s-1) . 展开更多
关键词 陀螺 微机械加工 噪声 滑膜阻尼
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一种电容式微机械加速度计的设计 被引量:10
20
作者 郑旭东 曹学成 +3 位作者 郑阳明 罗斯建 王跃林 金仲和 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期226-229,共4页
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决... 介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合。 展开更多
关键词 电容式加速度计 微机电系统 深反应离子刻蚀 滑膜阻尼
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