CO_2激光打标机变焦f-theta透镜的设计

为CO2激光打标机设计了变焦距f-theta扫描聚焦系统,以使它适用于不同打标面积而不必更换镜头,该系统由三片透镜组成,材料为GaAs,工作波长为10.6μm,系统总长度为41.45mm。利用f-theta镜的负畸变效应和机械变焦原理,将三片透镜设计组合为具有三个可变档系统,该系统有效焦距分别为f-theta镜的三个常用焦距:305mm、360mm和410mm,相应扫描范围分别为:210×210mm2、250×250mm2和280×280mm2,扫描角均为±20°。像面上系统在零视场、0.7视场和全视场的光斑都落在相应的爱里斑以内,三种情况下,系统的MTF曲线分别接近相应的衍射极限曲线,系统的最大场曲和最大f-theta相对畸变都能满足国内激光打标机的精度要求。