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Formation of Uniform Oil-Soluble Fe_3O_4 Nanoparticles via Oil-Water Interface System 被引量:1
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作者 薛精诚 王会 +2 位作者 郑学双 吴瑛 周兴平 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2015年第2期175-179,共5页
Nowadays,the novel oil water interface method has attracted a considerable attention owing to the advantages of mild reaction conditions,simple operation,low cost,and high efficiency.In this paper,uniform oil-soluble ... Nowadays,the novel oil water interface method has attracted a considerable attention owing to the advantages of mild reaction conditions,simple operation,low cost,and high efficiency.In this paper,uniform oil-soluble Fe_3O_4 nanoparticles(NPs) were synthesized by oil-water interface method from mixing iron tristearate of 0.067mol/L in cyclohexane with ferrous sulfate in water.The as-prepared products were characterized by X-ray diffraction(XRD),transmission electron microscopy(TEM),vibrating sample magnetometer(VSM),Fourier transform infrared spectroscopy(FT-IR) and thermogravimetric analyzer(TGA).TEM images and XRD profiles showed that the size of the oil-soluble products ranged in 1.7-6.9 nm.VSM indicated that the Fe_3O_4 NPs were superparamagetic.FT-IR and TGA proved that oleic acid was combined to the surface of Fe_3O_4 NPs closely.TEM images and XRD profiles revealed that the most suitable reaction concentration of NH_3·H_2O,oleic acid/water in volume,reaction temperature and reaction time were 4.5 mol/L,50:1 000,80℃ and 6 h,respectively.The formation mechanism of the nearly monodispersed Fe_3O_4 NPs was that the preformed Fe_3O_4 nuclei were capped by oleic acid as early as the nucleation occurred in oil-water interface and subsequently entered into oil phase to stop growing. 展开更多
关键词 FE3O4 oil-water interface method dispersity formation mechanism
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A new structure and its analytical model for the vertical interface electric field of a partial-SOI high voltage device 被引量:2
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作者 胡盛东 张波 +1 位作者 李肇基 罗小蓉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第3期496-502,共7页
A new partial-SOI (PSOI) high voltage device structure called a CI PSOI (charge island PSOI) is proposed for the first time in this paper. The device is characterized by a charge island layer on the interface of t... A new partial-SOI (PSOI) high voltage device structure called a CI PSOI (charge island PSOI) is proposed for the first time in this paper. The device is characterized by a charge island layer on the interface of the top silicon layer and the dielectric buried layer in which a series of equidistant high concentration n+-regions is inserted. Inversion holes resulting from the vertical electric field are located in the spacing between two neighbouring n+-regions on the interface by the force with ionized donors in the undepleted n+-regions, and therefore effectively enhance the electric field of the dielectric buried layer (Ei) and increase the breakdown voltage (BV), thereby alleviating the self-heating effect (SHE) by the silicon window under the source. An analytical model of the vertical interface electric field for the CI PSOI is presented and the analytical results are in good agreement with the 2D simulation results. The BV and El of the CI PSOI LDMOS increase to 631 V and 584 V/μm from 246 V and 85.8 V/μm for the conventional PSOI with a lower SHE, respectively. The effects of the structure parameters on the device characteristics are analysed for the proposed device in detail. 展开更多
关键词 interface charges breakdown voltage partial-SOI self-heating effect
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FORWARD GATED-DIODE METHOD FOR DIRECTLY MEASURING STRESS-INDUCED INTERFACE TRAPS IN NMOSFET/SOI 被引量:1
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作者 HuangAihua YuShan 《Journal of Electronics(China)》 2002年第1期104-107,共4页
Forward gated-diode Recombination-Generation(R-G) current method is applied to an NMOSFET/SOI to measure the stress-induced interface traps in this letter. This easy but accurate experimental method can directly give ... Forward gated-diode Recombination-Generation(R-G) current method is applied to an NMOSFET/SOI to measure the stress-induced interface traps in this letter. This easy but accurate experimental method can directly give stress-induced average interface traps for characterizing the device's hot carrier characteristics. For the tested device, an expected power law relationship of ANit ~ t0.787 between pure stress-induced interface traps and accumulated stressing time is obtained. 展开更多
关键词 热载流子效应 界面阱 门二极管 R-G电流
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Numerical Analysis of Characterized Back Interface Trapsof SOI Devices by R-G Current
4
作者 何进 黄如 +3 位作者 张兴 黄爱华 孙飞 王阳元 《Journal of Semiconductors》 CSCD 北大核心 2000年第12期1145-1151,共7页
Characterized back interface traps of SOI devices by the Recombination\|Generation (R\|G) current has been analyzed numerically with an advanced semiconductor simulation tool,namely DESSIS\|ISE.The basis of the princi... Characterized back interface traps of SOI devices by the Recombination\|Generation (R\|G) current has been analyzed numerically with an advanced semiconductor simulation tool,namely DESSIS\|ISE.The basis of the principle for the R\|G current’s characterizing the back interface traps of SOI lateral p\++p\+-n\++ diode has been demonstrated.The dependence of R\|G current on interface trap characteristics has been examined,such as the state density,surface recombination velocity and the trap energy level.The R\|G current proves to be an effective tool for monitoring the back interface of SOI devices. 展开更多
关键词 recombination-generation current interface traps SOI
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Partial-SOI high voltage P-channel LDMOS with interface accumulation holes
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作者 吴丽娟 胡盛东 +2 位作者 罗小蓉 张波 李肇基 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第10期373-378,共6页
A new partial SOI (silion-on-insulator) (PSOI) high voltage P-channel LDMOS (lateral double-diffused metal-oxide semiconductor) with an interface hole islands (HI) layer is proposed and its breakdown character... A new partial SOI (silion-on-insulator) (PSOI) high voltage P-channel LDMOS (lateral double-diffused metal-oxide semiconductor) with an interface hole islands (HI) layer is proposed and its breakdown characteristics are investigated theoretically. A high concentration of charges accumulate on the interface, whose density changes with the negative drain voltage, which increase the electric field (Er) in the dielectric buried oxide layer (BOX) and modulate the electric field in drift region . This results in the enhancement of the breakdown voltage (BV). The values of E1 and BV of an HI PSOI with a 2-~m thick SOI layer over a 1-~tm thick buried layer are 580V/~m and -582 V, respectively, compared with 81.5 V/p.m and -123 V of a conventional PSOI. Furthermore, the Si window also alleviates the self-heating effect (SHE). Moreover, in comparison with the conventional device, the proposed device exhibits low on-resistance. 展开更多
关键词 interface charges breakdown voltage partial-SOI accumulation holes self-heating effect
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FORWARD GATED-DIODE METHOD FOR EXTRACTING HOT-CARRIER-STRESS-INDUCED BACK INTERFACE TRAPS IN SOI/NMOSFETs
6
作者 He Jin Zhang Xing Huang Ru Wang Yangyuan(institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871) 《Journal of Electronics(China)》 2002年第3期332-336,共5页
The forward gated-diode R-G current method for extracting the hot-carrier-stress-induced back interface traps in SOI/NMOSFET devices has been demonstrated in this letter. This easy and accurate experimental method dir... The forward gated-diode R-G current method for extracting the hot-carrier-stress-induced back interface traps in SOI/NMOSFET devices has been demonstrated in this letter. This easy and accurate experimental method directly gives the induced interface trap density from the measured R-G current peak of the gated-diode architecture. An expected power law relationship between the induced back interface trap density and the accumulated stress time has been obtained. 展开更多
关键词 热应力 接口中断 绝缘体硅 MOS场效应晶体管
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叠层SOI MOSFET不同背栅偏压下的热载流子效应
7
作者 汪子寒 常永伟 +3 位作者 高远 董晨华 魏星 薛忠营 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第8期665-669,675,共6页
叠层绝缘体上硅(SOI)器件通过调节背栅偏压来补偿辐照导致的阈值电压退化,对于长期工作在辐射环境中的叠层SOI器件,热载流子效应也是影响其可靠性的重要因素。因此,采用加速老化的方法研究了叠层SOI NMOSFET在不同背栅偏压下的热载流子... 叠层绝缘体上硅(SOI)器件通过调节背栅偏压来补偿辐照导致的阈值电压退化,对于长期工作在辐射环境中的叠层SOI器件,热载流子效应也是影响其可靠性的重要因素。因此,采用加速老化的方法研究了叠层SOI NMOSFET在不同背栅偏压下的热载流子效应。实验结果表明,在负背栅偏压下有更大的碰撞电离,而电应力后阈值电压的退化却随着背栅偏压的减小而减小。通过二维TCAD仿真进一步分析了不同背栅偏压下的热载流子退化机制,仿真结果表明,背栅偏压在改变碰撞电离率的同时也改变了热电子的注入位置,正背栅偏压下会有更多的热电子注入到离前栅中心近的区域,而在负背栅偏压下则是注入到离前栅中心远的区域,从而导致正背栅偏压下的阈值电压退化更严重。 展开更多
关键词 叠层绝缘体上硅(SOI) 热载流子效应 背栅偏压 TCAD仿真 界面陷阱电荷
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埋氧层固定界面电荷对RESURF SOI功率器件击穿特性的影响 被引量:3
8
作者 郭宇锋 李琦 +3 位作者 罗小蓉 杨寿国 李肇基 张波 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期181-184,共4页
 通过求解具有界面电荷边界条件的二维泊松方程,建立了埋氧层固定界面电荷Qf对RESURFSOI功率器件二维电场和电势分布影响的解析模型。解析结果与半导体器件模拟器MEDICI数值分析结果相吻合。在此基础上,分别研究了Qf对RESURFSOI功率器...  通过求解具有界面电荷边界条件的二维泊松方程,建立了埋氧层固定界面电荷Qf对RESURFSOI功率器件二维电场和电势分布影响的解析模型。解析结果与半导体器件模拟器MEDICI数值分析结果相吻合。在此基础上,分别研究了Qf对RESURFSOI功率器件横向和纵向击穿特性的影响规律。在横向,讨论了不同硅膜厚度、氧层厚度和漂移区长度情况下Qf对表面电场分布的影响;在纵向,通过分析硅膜内的场和势的分布,提出了临界埋氧层固定界面电荷密度的概念,这是导致器件发生失效的最低界面电荷密度。 展开更多
关键词 埋氧层 固定界面电荷 RESURF SOI 功率器件 击穿
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界面电荷耐压模型:SOI高压器件纵向耐压新理论 被引量:2
9
作者 郭宇锋 张波 +2 位作者 方健 杨舰 李肇基 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期11-15,共5页
基于求解二维Po isson方程,分析了具有埋氧层界面电荷的SO I结构纵向击穿特性,提出了界面电荷耐压模型。该模型通过埋氧层界面电荷来调制硅层和埋氧层电场,获得极高击穿电压。进一步提出临界界面电荷面密度概念,给出其工程化应用的近似... 基于求解二维Po isson方程,分析了具有埋氧层界面电荷的SO I结构纵向击穿特性,提出了界面电荷耐压模型。该模型通过埋氧层界面电荷来调制硅层和埋氧层电场,获得极高击穿电压。进一步提出临界界面电荷面密度概念,给出其工程化应用的近似公式。并对文献中的不同结构SO I器件的纵向耐压进行计算。解析结果和试验结果或M ED IC I仿真结果吻合良好。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 界面电荷 击穿电压
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热载流子诱生MOSFET/SOI界面陷阱的正向栅控二极管技术表征 被引量:2
10
作者 何进 张兴 +1 位作者 黄如 王阳元 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期252-254,共3页
本文完成了热载流子诱生MOSFET/SOI界面陷阱正向栅控二极管技术表征的实验研究 .正向栅控二极管技术简单、准确 ,可以直接测得热载流子诱生的平均界面陷阱密度 ,从而表征器件的抗热载流子特性 .实验结果表明 :通过体接触方式测得的MOSFE... 本文完成了热载流子诱生MOSFET/SOI界面陷阱正向栅控二极管技术表征的实验研究 .正向栅控二极管技术简单、准确 ,可以直接测得热载流子诱生的平均界面陷阱密度 ,从而表征器件的抗热载流子特性 .实验结果表明 :通过体接触方式测得的MOSFET/SOI栅控二极管R G电流峰可以直接给出诱生的界面陷阱密度 .抽取出来的热载流子诱生界面陷阱密度与累积应力时间呈幂指数关系 ,指数因子约为 0 展开更多
关键词 热载流子 应力效应 界面陷阱 正向栅控二级管 MOSFET/SOI
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一种具有双面界面电荷岛结构的SOI高压器件 被引量:1
11
作者 胡盛东 张波 李肇基 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期425-429,共5页
首次提出一种新的具有双面界面电荷岛结构的SOI高压器件(DCI SOI)。该结构在SOI器件介质层上下界面分别注入形成一系列等距的高浓度n+区及p+区。器件外加高压时,纵向电场所形成的反型电荷将被未耗尽n+区内高浓度的电离施主束缚在介质层... 首次提出一种新的具有双面界面电荷岛结构的SOI高压器件(DCI SOI)。该结构在SOI器件介质层上下界面分别注入形成一系列等距的高浓度n+区及p+区。器件外加高压时,纵向电场所形成的反型电荷将被未耗尽n+区内高浓度的电离施主束缚在介质层上界面,同时在下界面积累感应电子。引入的界面电荷对介质层电场(EI)产生附加增强场(ΔEI),使介质层承受更高耐压,同时对顶层硅电场(ES)产生附加削弱场(ΔES),避免在硅层提前击穿,从而有效提高器件的击穿电压(BV)。详细研究DCI SOI工作机理及相关结构参数对击穿电压的影响,在5μm介质层、1μm顶层硅上仿真获得750 V高耐压,较常规结构提高254.4%,其中,附加场ΔEI和ΔES分别达到642.5 V/μm和24 V/μm。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 高压器件 电荷岛 界面电荷
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SOI键合材料的TEM研究
12
作者 王敬 屠海令 +3 位作者 刘安生 周旗钢 朱悟新 张椿 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期274-276,共3页
用横断面透射电子显微术(TEM)研究了用键合方法获得的SOI材料的界面结构。绝缘层二氧化硅和硅膜的厚度非常均匀,Si膜/SiO2以及SiO2/Si基体的界面平直且结合紧密,在界面上没有观察到缺陷和孔洞。
关键词 硅片键合 SOI 界面 微结构 TEM
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复合栅控二极管新技术提取热载流子诱生的NMOS/SOI器件界面陷阱的横向分布
13
作者 何进 张兴 +1 位作者 黄如 王阳元 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期296-300,共5页
提出了用复合栅控二极管新技术提取 MOS/ SOI器件界面陷阱沿沟道横向分布的原理 ,给出了具体的测试步骤和方法 .在此基础上 ,对具有体接触的 NMOS/ SOI器件进行了具体的测试和分析 ,给出了不同的累积应力时间下的界面陷阱沿沟道方向的... 提出了用复合栅控二极管新技术提取 MOS/ SOI器件界面陷阱沿沟道横向分布的原理 ,给出了具体的测试步骤和方法 .在此基础上 ,对具有体接触的 NMOS/ SOI器件进行了具体的测试和分析 ,给出了不同的累积应力时间下的界面陷阱沿沟道方向的横向分布 .结果表明 :随累积应力时间的增加 ,不仅漏端边界的界面陷阱峰值上升 ,而且沿沟道方向 。 展开更多
关键词 SOI技术 MOS器件 界面陷阱分布 热载流子效应 复合栅控二极管技术 横向分布
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部分耗尽SOI晶体管电离辐射损伤的物理模型
14
作者 何宝平 刘敏波 +4 位作者 王祖军 姚志斌 黄绍艳 盛江坤 肖志刚 《计算物理》 CSCD 北大核心 2015年第2期240-246,共7页
从氧化层俘获空穴和质子诱导界面态形成的物理机制出发,建立部分耗尽SOI器件总剂量辐射诱导的氧化层陷阱电荷和界面态物理模型,模型可以很好地描述辐射诱导氧化层陷阱电荷和界面态与辐射剂量的关系,并从实验上对上述模型结果给予验证.... 从氧化层俘获空穴和质子诱导界面态形成的物理机制出发,建立部分耗尽SOI器件总剂量辐射诱导的氧化层陷阱电荷和界面态物理模型,模型可以很好地描述辐射诱导氧化层陷阱电荷和界面态与辐射剂量的关系,并从实验上对上述模型结果给予验证.结果表明,在实验采用的辐射剂量范围内,辐射诱导产生的氧化物陷阱电荷与辐射剂量满足负指数关系.模型中如果考虑空穴的退火效应,可以更好地反映高剂量辐照下的效应;辐射诱导产生的界面态与辐射剂量成正比例关系. 展开更多
关键词 部分耗尽SOI晶体管 总剂量 界面陷阱 氧化物陷阱电荷
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新的正向栅控二极管技术分离热载流子应力诱生SOI NMOSFET界面陷阱和界面电荷的研究(英文)
15
作者 何进 张兴 +1 位作者 黄如 王阳元 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期11-15,共5页
报道了用新的正向栅控二极管技术分离热载流子应力诱生的 SOI- MOSFET界面陷阱和界面电荷的理论和实验研究 .理论分析表明 :由于正向栅控二极管界面态 R- G电流峰的特征 ,该峰的幅度正比于热载流子应力诱生的界面陷阱的大小 ,而该峰的... 报道了用新的正向栅控二极管技术分离热载流子应力诱生的 SOI- MOSFET界面陷阱和界面电荷的理论和实验研究 .理论分析表明 :由于正向栅控二极管界面态 R- G电流峰的特征 ,该峰的幅度正比于热载流子应力诱生的界面陷阱的大小 ,而该峰的位置的移动正比于热载流子应力诱生的界面电荷密度 .实验结果表明 :前沟道的热载流子应力在前栅界面不仅诱生相当数量的界面陷阱 ,同样产生出很大的界面电荷 .对于逐渐上升的累积应力时间 ,抽取出来的诱生界面陷阱和界面电荷密度呈相近似的幂指数方式增加 ,指数分别为为 0 .7和 0 .85 . 展开更多
关键词 热载流子 NMOSFET 正向栅控二极管 界面陷阱 界面电荷
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栅控二极管R—G电流法表征SOI—MOS器件埋氧层界面陷阱的敏感性分析
16
作者 何进 Bich-Yen Nguyen 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1292-1297,共6页
通过数值模拟手段,用归一化的方法研究了界面陷阱、硅膜厚度和沟道掺杂浓度对R-G电流大小的影响规律。结果表明:无论在FD还是在PD SOI MOS器件中,界面陷阱密度是决定R-G电流峰值的主要因素,硅膜厚度和沟道掺杂浓度的影响却因器... 通过数值模拟手段,用归一化的方法研究了界面陷阱、硅膜厚度和沟道掺杂浓度对R-G电流大小的影响规律。结果表明:无论在FD还是在PD SOI MOS器件中,界面陷阱密度是决定R-G电流峰值的主要因素,硅膜厚度和沟道掺杂浓度的影响却因器件的类型而导。为了精确地用R-G电流峰值确定界面陷阱的大小,器件参数的影响也必须包括在模型之中。 展开更多
关键词 R-G电流 栅控二极管 界面陷阱 SOI MOSFET器件 敏感性 场效应晶体管
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DCIV技术提取SOI器件前栅界面与背界面态密度 被引量:1
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作者 赵洪利 高林春 +3 位作者 曾传滨 刘魁勇 罗家俊 韩郑生 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2015年第6期82-84,89,共4页
直流电流电压(DCIV)方法不仅可以提取SOI器件前栅沟道界面态密度,也可应用于背界面态密度的提取.给出了具体的测试步骤与方法,以0.13μm SOI工艺制造的NMOS器件为测试对象,对前栅界面与背界面分别进行了测试.基于DCIV理论,将实验得到的... 直流电流电压(DCIV)方法不仅可以提取SOI器件前栅沟道界面态密度,也可应用于背界面态密度的提取.给出了具体的测试步骤与方法,以0.13μm SOI工艺制造的NMOS器件为测试对象,对前栅界面与背界面分别进行了测试.基于DCIV理论,将实验得到的界面复合电流值与理论公式做最小二乘拟合,不仅获得了各界面态密度,也得到界面态密度所在的等效能级.结果表明,采用了智能剥离技术制备的SOI NMOS器件背界面态密度量级为1010cm-2,前栅界面的态密度小于背界面的,量级为109cm-2,并给出了两界面态面密度所在的等效能级. 展开更多
关键词 DCIV方法 SOI NMOS器件 前栅界面与背界面 界面态面密度 等效能级
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DCIV技术表征MOS/SOI界面陷阱能级密度分布 被引量:3
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作者 赵洪利 曾传滨 +3 位作者 刘魁勇 刘刚 罗家俊 韩郑生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期63-67,共5页
基于直流电流电压(DCIV)理论和界面陷阱能级U型对称分布模型,可以获取硅界面陷阱在禁带中的分布,即利用沟道界面陷阱引起的界面复合电流与不同源/漏-体正偏电压(Vpn)的函数关系,求出对应每个Vpn的有效界面陷阱面密度(Neff),通过Neff函... 基于直流电流电压(DCIV)理论和界面陷阱能级U型对称分布模型,可以获取硅界面陷阱在禁带中的分布,即利用沟道界面陷阱引起的界面复合电流与不同源/漏-体正偏电压(Vpn)的函数关系,求出对应每个Vpn的有效界面陷阱面密度(Neff),通过Neff函数与求出的每个Neff值作最小二乘拟合,将拟合参数代入界面陷阱能级密度(DIT)函数式,作出DIT的本征分布图。分别对部分耗尽的n MOS/SOI和p MOS/SOI器件进行测试,得到了预期的界面复合电流曲线,并给出了器件界面陷阱能级密度的U型分布图。结果表明,两种器件在禁带中央附近的陷阱能级密度量级均为109cm-2·e V-1,而远离禁带中央的陷阱能级密度量级为1011cm-2·e V-1。 展开更多
关键词 直流电流电压(DCIV) 金属氧化物半导体/绝缘体上硅(MOS/SOI) 有效界面陷阱面密度 最小二乘拟合 U型分布
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基于SOIS的在轨可更换模块接口设计 被引量:1
19
作者 郑晓霞 嵇景全 《飞行器测控学报》 2012年第S1期55-59,共5页
针对航天器对在轨维修、硬件更换、功能升级等在轨服务的需求迫切性问题,提出了在轨可更换模块的接口设计方法。将SOIS(航天器星载接口业务)协议运用于ORU(在轨可更换模块)接口设计中,借助SOIS对星载软硬件设备进行协同设计,降低ORU的... 针对航天器对在轨维修、硬件更换、功能升级等在轨服务的需求迫切性问题,提出了在轨可更换模块的接口设计方法。将SOIS(航天器星载接口业务)协议运用于ORU(在轨可更换模块)接口设计中,借助SOIS对星载软硬件设备进行协同设计,降低ORU的设计开发成本,提高ORU的适用范围,便于模块更换的实现。基于在轨更换的应用场景,分析了ORU接口的设计需求。在此基础上,给出了ORU体系结构,完成了ORU接口的机、电、热设计。 展开更多
关键词 SOIS(航天器星载标准接口) ORU(在轨可更换模块) 在轨可更换模块接口 体系结构
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SOI NLIGBT热载流子效应研究
20
作者 张炜 张世峰 +1 位作者 韩雁 吴焕挺 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期309-313,317,共6页
SOI NLIGBT中热载流子效应分别通过直流电压的应力测试、TCAD仿真和电荷泵测试三种方法进行了研究。其中,不同直流电压应力条件下测得的衬底电流Isub和导通电阻Ron用来评估因热载流子效应引起的器件退化程度。为了进行理论分析,对器件... SOI NLIGBT中热载流子效应分别通过直流电压的应力测试、TCAD仿真和电荷泵测试三种方法进行了研究。其中,不同直流电压应力条件下测得的衬底电流Isub和导通电阻Ron用来评估因热载流子效应引起的器件退化程度。为了进行理论分析,对器件内部的电场强度和碰撞离化率也进行了仿真。测试得到的电荷泵电流直接验证了器件表面的损伤程度。最后讨论了SOI LIGBT在不同栅压条件下的退化机制。 展开更多
关键词 绝缘体上硅的N型横向绝缘栅双极晶体管 热载流子效应 碰撞离化率 电荷泵 界面态 氧化层陷阱空穴
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