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题名回转锥型罩旋压加工工艺的研究
被引量：1
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作者
余承辉
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机构
合肥工业大学机械与汽车工程学院
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出处
《安徽水利水电职业技术学院学报》
2005年第3期75-78,共4页
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文摘
回转锥型罩是一种被广泛应用的结构件,文章研究旋压加工工艺和方法,指出旋压工艺对回转锥型罩性能的影响。
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关键词
回转锥型罩
毛坯设计
旋压加工
旋压工艺
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Keywords
rotary awl cover
materal design
spinning
processing
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分类号
TH11
[机械工程—机械设计及理论]
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题名AOTF器件制作中光刻工艺的研究
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作者
池晓金
乐孜纯
张明
魏坚洲
童骏
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机构
浙江工业大学浙江省光纤通信重点实验室
浙江工业大学理学院
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出处
《光电技术应用》
2007年第4期77-80,共4页
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基金
浙江省科技计划重点项目资助(2005C21010)
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文摘
对在LiN_bO_3晶体基片上制作声光可调谐滤波器(AOTF)光刻工艺参数的确定进行了研究.着重研究了匀胶机转速、曝光时间和显影时间对光刻效果的影响.通过大量的实验得到了较好的光刻工艺参数,即在低速2850/8(rpm/s)和高速6000/ 25(rpm/s)的转速下取得较均匀的光刻胶后,在90℃下前烘30 min,再经过10 s曝光和10 s显影,最后再经过30 min的100℃后烘,可得到较好的光刻图样.经过显微镜观察,光刻好的图形表面洁净,侧壁陡直光滑,图形质量较好.
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关键词
AOTF
光刻工艺
匀胶
曝光
显影
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Keywords
AOTF
photolithography
spin mater
exposure
develop
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分类号
TN205
[电子电信—物理电子学]
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