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高功率脉冲磁控溅射轮辐特征等离子体研究综述 被引量:1
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作者 李玉阁 刘伟阳 雷明凯 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期1-9,共9页
高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)是最新一代磁控溅射技术,高度离化的脉冲等离子体是HiPIMS技术的核心特征。针对HiPIMS放电轮辐特征,评述特征放电下HiPIMS等离子体测量、模拟及对薄膜生长作用的最新研究进展。较之常规磁控溅射技术,HiP... 高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)是最新一代磁控溅射技术,高度离化的脉冲等离子体是HiPIMS技术的核心特征。针对HiPIMS放电轮辐特征,评述特征放电下HiPIMS等离子体测量、模拟及对薄膜生长作用的最新研究进展。较之常规磁控溅射技术,HiPIMS溅射靶材粒子高度离化,等离子体阻抗显著降低。等离子体在靶材表面形成以千米每秒速度旋转漂移的致密等离子体结构,存在局域化和自组织特征,可显著影响沉积粒子输运行为,为沉积薄膜生长提供一个新的控制维度。HiPIMS放电轮辐一般呈现扩散形和三角形两种形态,通过介绍轮辐变化规律、形成机制的进展,明确靶材溅射产额也对其形态有影响。另一方面,HiPIMS轮辐结构结合其脉冲放电特点,可控制薄膜沉积通量输运特征,进而影响沉积薄膜的微结构、表面粗糙度等表面完整性参数。具有微秒到毫秒跨尺度多级脉冲调节能力的高功率调制脉冲磁控溅射(MPPMS)和高功率深振荡脉冲磁控溅射(DOMS),脉冲控制跨时间尺度特性带来的轮辐特征可剪裁性,为在更大时间和空间维度上薄膜生长控制提供了可能性。 展开更多
关键词 高功率脉冲磁控溅射 放电电流 轮辐 等离子体阻抗 粒子输运
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L波段端面发射高效率磁绝缘线振荡器
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作者 何琥 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期883-888,共6页
建立了磁绝缘线振荡器自磁绝缘的理论模型,给出了磁绝缘电流计算公式。然后给出了非线性稳态的最大轮辐电流计算公式,并据此分析了负载限制型磁绝缘线振荡器的最大效率。提出一种新型的端面发射型磁绝缘线振荡器,在二极管电压590kV,二... 建立了磁绝缘线振荡器自磁绝缘的理论模型,给出了磁绝缘电流计算公式。然后给出了非线性稳态的最大轮辐电流计算公式,并据此分析了负载限制型磁绝缘线振荡器的最大效率。提出一种新型的端面发射型磁绝缘线振荡器,在二极管电压590kV,二极管电流为55.47kA情况下,粒子模拟得到周期平均功率6.1GW左右,工作主频为1.24GHz,束波转换效率18.64%左右。端面发射型磁绝缘线振荡器的效率比负载限制型磁绝缘线振荡器的最大效率提高6%左右。端面发射的电流不参与束波互作用,由于端面发射的电流比较小,在总电流不变的情况下参与束波互作用的电流增多,从而提高了效率。最后分析了角向磁场的分布以及自磁绝缘的情况。 展开更多
关键词 端面发射型磁绝缘线振荡器 高效率 自磁绝缘 轮辐电流 束波互作用
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Updating the CSNS injector linac to 250 MeV with superconducting double-spoke cavities
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作者 李智慧 傅世年 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2015年第3期71-76,共6页
In order to update the beam power from 100 kW to 500 kW in the China Spallation neutron source (CSNS) Phase II, one of the important measures is to replace the 80 m long beam transport line between the present 80 Me... In order to update the beam power from 100 kW to 500 kW in the China Spallation neutron source (CSNS) Phase II, one of the important measures is to replace the 80 m long beam transport line between the present 80 MeV linac injector and the rapid cycling synchrotron (RCS) to another kind of acceleration structure. In this paper, we proposed a scheme based on 324 MHz double-spoke superconducting cavities. Unlike the superconducting elliptical cavity and normal conducting coupled cavity linac (CCL) structure, the double-spoke cavity belongs to the TE mode structure and has a smaller transverse dimension compared with that of the TH mode one. It can work at base frequency as the drift tube Linac (DTL) section, so that the cost and complexity of the RF system will be much decreased, and the behaviors of the beam dynamics are also improved significantly because of the low charge density and larger longitudinal acceptance. Furthermore, because of the relatively longer interactive length between the charged particle and the electromagnetic field per cell, it needs relatively less cell numbers and it has larger velocity acceptance compared with the double frequency TH structures. The superconducting section consists of 14 periods, each of which includes 3 superconducting cavities encapsulated in one cryomodule and a doublet in room temperate. The general considerations on cavity and beam dynamics design are discussed and the main results are presented. 展开更多
关键词 CSNS double-spoke cavity high current proton linac dynamic stability
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