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Fabrication of Nanoscale Step Height Structure Using Atomic Layer Deposition Combined with Wet Etching 被引量:3
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作者 WANG Chenying YANG Shuming +4 位作者 JING Weixuan REN Wei LIN Qijing ZHANG Yijun JIANG Zhuangde 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期91-97,共7页
The current techniques used for the fabrication of nanosteps are normally done by layer growth and then ion beam thinning. There are also extra films grown on the step surfaces in order to reduce the roughness. So the... The current techniques used for the fabrication of nanosteps are normally done by layer growth and then ion beam thinning. There are also extra films grown on the step surfaces in order to reduce the roughness. So the whole process is time consuming. In this paper, a nanoscale step height structure is fabricated by atomic layer deposition (ALD) and wet etching techniques. According to the traceable of the step height value, the fabrication process is controllable. Because ALD technology can grow a variety of materials, aluminum oxide (Al2O3) is used to fabricate the nanostep. There are three steps of Al2O3 in this structure including 8 nm, 18 nm and 44 inn. The thickness of Al2O3 film and the height of the step are measured by anellipsometer. The experimental results show that the thickness of Al2O3 film is consistent with the height of the step. The height of the step is measured by AFM. The measurement results show that the height is related to the number of cycles of ALD and the wet etching time. The bottom and the sidewall surface roughness are related to the wet etching time. The step height is calibrated by Physikaliseh-Technische Bundesanstalt (PTB) and the results were 7.5±1.5 nm, 15.5±2.0 nm and 41.8±2.1 nm, respectively. This research provides a method for the fabrication of step height at nanoscale and the nanostep fabricated is potential used for standard references. 展开更多
关键词 atomic layer deposition (ALD) wet etching step height
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RELATIONSHIP OF FIRST STEP HEIGHT,STEP SLOPE AND CAVITY IN X-SHAPED FLARING GATE PIERS 被引量:6
2
作者 WANG Bo WU Chao HU Yao-hua MO Zheng-yu 《Journal of Hydrodynamics》 SCIE EI CSCD 2007年第3期349-355,共7页
The energy dissipation of X-shaped flaring gate piers ahead of a stepped spillway was adopted in the Suofengying Hydroplant. Under the circumstance that the first step is higher than others, at the step surface an aer... The energy dissipation of X-shaped flaring gate piers ahead of a stepped spillway was adopted in the Suofengying Hydroplant. Under the circumstance that the first step is higher than others, at the step surface an aerated cavity occured behind piers. The interaction of the weir head, the elevation difference between crest and chamber outlet, the first step height, the slopes of weir end and step, and the size of cavity, was investigated, the expression was derived to characterize their relationship, and the corresponding curves were plotted. The comparison of the calculated and simulated results with the measured data was performed. When the slopes of step and weir end are equivalent, the relative height difference between the first and second steps becomes the main factor influencing the aerated cavity. These findings may be useful in practical applications. 展开更多
关键词 X-shaped flaring gate pier first step height slope of weir end step slope size of cavity
原文传递
2~10μm台阶高度标准物质候选物的研制和质量评价
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作者 柳迪 王琛英 +6 位作者 张雅馨 王云祥 王松 陈伦涛 王永录 朱楠 蒋庄德 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第3期305-310,共6页
微米台阶高度标准物质用于校准仪器z轴性能,传递准确的微米高度量值。利用光刻结合干法刻蚀工艺实现公称高度为2,5,10μm台阶高度标准物质候选物的制备,并对台阶高度、粗糙度和上下表面平行度进行表征。使用激光共聚焦显微镜和非球面测... 微米台阶高度标准物质用于校准仪器z轴性能,传递准确的微米高度量值。利用光刻结合干法刻蚀工艺实现公称高度为2,5,10μm台阶高度标准物质候选物的制备,并对台阶高度、粗糙度和上下表面平行度进行表征。使用激光共聚焦显微镜和非球面测量仪进行测量,基于双边算法、直方图法、ISO算法和光学显微解耦合准则(LEL)法对台阶高度进行评定,对于同一标准物质候选物各评定方法间的标准差均不超过0.024μm,台阶高度评定值的相对偏差均在5%以内,表明不同算法的评定结果一致性水平较高且量值可靠;不同仪器的评定结果对比,说明了评定方法之间也具有良好的一致性;同时,粗糙度不超过0.04μm,上下表面平行度不超过0.03°,验证了标准物质候选物制备效果良好。 展开更多
关键词 微米计量 台阶高度标准物质 干法刻蚀 粗糙度 平行度
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采用PSG牺牲层的空腔结构平坦化工艺
4
作者 冯志博 刘启迪 +4 位作者 倪烨 董晟园 张智欣 于海洋 孟腾飞 《微纳电子技术》 CAS 2024年第5期141-148,共8页
对基于微机电系统(MEMS)采用磷硅玻璃(PSG)牺牲层的空腔结构平坦化工艺进行了研究。探讨了抛光液体积流量、抛光压力、抛光液种类对牺牲层抛光速率、均匀性和硅槽台阶高度的影响,并对膜层表面质量进行分析和表征。结果表明:二氧化硅类... 对基于微机电系统(MEMS)采用磷硅玻璃(PSG)牺牲层的空腔结构平坦化工艺进行了研究。探讨了抛光液体积流量、抛光压力、抛光液种类对牺牲层抛光速率、均匀性和硅槽台阶高度的影响,并对膜层表面质量进行分析和表征。结果表明:二氧化硅类抛光液体积流量控制在120 mL/min,此时抛光速率最高且有利于节约成本;优化了抛光压力工艺参数,当晶圆背压和保持环压力之比为0.76,即当晶圆背压为320 g/cm^(3),保持环压力为420 g/cm^(3)时,可有效地改善牺牲层薄膜的均匀性;引入二氧化铈类抛光液,采用两步抛光工艺,即粗抛时采用二氧化硅类抛光液,精抛时采用二氧化铈类抛光液,可以得到较为理想的台阶高度差;最后将化学机械抛光(CMP)后牺牲层表面形貌进行表征,得到较为优异的牺牲层薄膜质量。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 空腔结构 牺牲层 平坦化 台阶高度差 表面粗糙度
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高噪声状态下潮汐信号提取
5
作者 姜英明 高屹 +3 位作者 黄令勇 侯晓伟 刘继州 杨磊 《全球定位系统》 CSCD 2024年第2期82-87,共6页
GNSS浮标由于特殊的观测环境,数据质量普遍较差,这导致其坐标时间序列存在较高的噪声,并且存在某些阶跃(或称跳变).针对该问题,本文提出了一种基于滑动窗的双边累积和(cumulative sum,CUSUM)的阶跃探测和修复方法,该方法在非侵入式负荷... GNSS浮标由于特殊的观测环境,数据质量普遍较差,这导致其坐标时间序列存在较高的噪声,并且存在某些阶跃(或称跳变).针对该问题,本文提出了一种基于滑动窗的双边累积和(cumulative sum,CUSUM)的阶跃探测和修复方法,该方法在非侵入式负荷监测领域已有广泛应用.对于GNSS精密单点定位(precise point positioning,PPP)计算所得海面高程(sea surface height,SSH),用该算法探测阶跃并修复后与验潮站参考数据对比,其均方根误差(root mean square error,RMSE)提升了75.5%,相关性提升了7.46%;对于从修复前后的高程时间序列提取的有效波高(significant wave height,SWH),以海洋浮标(wavebuoy,WB)测量结果作为参考,其RMSE提升了65.22%,相关性提升了208.28%.研究结果表明:该方法可以有效提高GNSS技术反演海浪参数的精确度和可靠性,为GNSS技术在潮汐信号提取提供有价值的参考,对于提高海洋工程安全性和经济效益具有积极意义. 展开更多
关键词 全球卫星导航系统(GNSS)浮标 双边累计和(CUSUM) 精密单点定位(PPP) 有效波高 阶跃探测
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单原子台阶高度样品制备技术研究
6
作者 李静 《计量与测试技术》 2024年第10期83-84,88,共3页
超大规模集成电路的台阶高度是集成芯片设计、研发和生产中的一个重要参数。其高度参数的快速精确测量是确保芯片质量、提高生产效率的重要手段。原子力显微镜(AFM)是一种具有原子级分辨率的常用新型显微测量工具,被广泛应用于纳米技术... 超大规模集成电路的台阶高度是集成芯片设计、研发和生产中的一个重要参数。其高度参数的快速精确测量是确保芯片质量、提高生产效率的重要手段。原子力显微镜(AFM)是一种具有原子级分辨率的常用新型显微测量工具,被广泛应用于纳米技术领域。由于原子台阶高度标准物质的研制可将其量值溯源至国际单位制单位,因此,研制单原子台阶高度样品,对确保该类测量仪器的量值的准确性和可靠性具有重要的意义。 展开更多
关键词 原子台阶 高度样品 制备方法 研究
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工作面综放开采工艺研究
7
作者 张保军 《山西化工》 CAS 2024年第9期189-190,212,共3页
为进一步提升综采工作面的生产能力和生产效率,以21051综采工作面为例在对其基本条件及地质条件综合分析的基础上,确定采用放顶煤采煤工艺对其进行开采;然后,基于PFC2D软件对走向长壁放顶煤和倾斜长壁放顶煤两种开采工艺参数对应的采出... 为进一步提升综采工作面的生产能力和生产效率,以21051综采工作面为例在对其基本条件及地质条件综合分析的基础上,确定采用放顶煤采煤工艺对其进行开采;然后,基于PFC2D软件对走向长壁放顶煤和倾斜长壁放顶煤两种开采工艺参数对应的采出率和含矸率等指标进行对比,得出对应开采方式下的最佳放煤工艺参数,研究成果可指导该工作面的实际生产。 展开更多
关键词 倾斜长壁放顶煤 走向长壁放顶煤 放煤步距 采高 含矸率 采出率
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大倾角厚煤层开采不同采高与放煤步距的影响分析
8
作者 奚源远 《山西化工》 CAS 2024年第3期171-173,共3页
大倾角厚煤层是我国面临的重要的煤层开采形态,由于煤层的倾角较大,造成开采难度的增加。采用放顶煤综采过程中,不同的采高及放煤步距对顶煤的放出具有重要的影响作用。针对大倾角厚煤层开采过程中,不同采高及放煤步距对顶煤采出率的影... 大倾角厚煤层是我国面临的重要的煤层开采形态,由于煤层的倾角较大,造成开采难度的增加。采用放顶煤综采过程中,不同的采高及放煤步距对顶煤的放出具有重要的影响作用。针对大倾角厚煤层开采过程中,不同采高及放煤步距对顶煤采出率的影响采用PFC仿真模拟的方式进行分析。建立了不同参数的开采模型,对开采过程进行仿真模拟,得到采高为4 m放煤步距为1.6 m(两采一放)的开采工艺为最佳的开采参数,此时顶煤的采出率最高,且具有较好的操作性。 展开更多
关键词 大倾角厚煤层 放顶煤综采 采高 放煤步距 采出率 仿真分析
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双目视觉感知下的公路限高实时预警算法
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作者 李宝军 薛炯 +2 位作者 刘泽阳 王小超 肖志鹏 《重庆理工大学学报(自然科学)》 北大核心 2023年第11期73-81,共9页
针对车辆运动工况下对种类繁杂的公路限高设施测高难的问题,提出一种双目相机限高目标实时监测算法。通过分析限高场景及设施,采集并构建大规模多场景的公路限高数据集;采用基于深度学习的检测和跟踪算法获取目标区域;利用多步多尺度的... 针对车辆运动工况下对种类繁杂的公路限高设施测高难的问题,提出一种双目相机限高目标实时监测算法。通过分析限高场景及设施,采集并构建大规模多场景的公路限高数据集;采用基于深度学习的检测和跟踪算法获取目标区域;利用多步多尺度的滤波算法对双目视差数据进行处理,得到高置信度的限高设施视差数据,进而计算距离及高度信息;最后采用鲁棒性输出策略对计算得到的测距和测高数据进行输出预警。通过多场景限高测试,目标检测精度为98.77%、漏检率为0.87%、误检率为0.36%,在60 m内的平均测高误差小于4%。实验结果表明该算法可以实现公路限高目标的自动检测,能够实时鲁棒地输出测距、测高和预警信息。 展开更多
关键词 公路限高 多步多尺度滤波 鲁棒性输出 自动检测
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无人机影像匹配点云的露天矿台阶高度计算方法 被引量:3
10
作者 吕欣阳 樊冬丽 +1 位作者 张广运 檀丁 《测绘通报》 CSCD 北大核心 2023年第5期135-139,共5页
计算露天矿台阶高度是矿山测量验收工作的重要部分,对加强矿山生产监控和成本管理具有重要意义。针对传统台阶高度量测方法工作量大、效率差,难以保障测绘人员安全等问题,本文基于无人机倾斜摄影获取的露天矿点云提出了一种顾及边坡分... 计算露天矿台阶高度是矿山测量验收工作的重要部分,对加强矿山生产监控和成本管理具有重要意义。针对传统台阶高度量测方法工作量大、效率差,难以保障测绘人员安全等问题,本文基于无人机倾斜摄影获取的露天矿点云提出了一种顾及边坡分层结构的台阶高度计算方法。该方法通过面元划分剔除平坦区域,再利用密度聚类处理坡面点云,最后通过随机抽样一致性获取台阶坡顶线和坡底线,计算台阶高度。试验结果表明,该方法可以高效、精确地量测露天矿台阶高度,对于矿区的开采作业和安全防范具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 坡线提取 露天矿区 台阶高度 点云处理
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采高、放煤步距等参数的优化
11
作者 王强 《山西化工》 CAS 2023年第12期165-166,169,共3页
为进一步提升综合机械化放顶采煤方法开采的安全性和顶煤的回收率,以16#煤层工作面为例,在对其地质、煤层等条件分析的基础上,基于FLAC3D软件构建数值模拟仿真模型,并对模型的岩体参数进行设置,重点对不同采高和放煤步距对煤体的破坏情... 为进一步提升综合机械化放顶采煤方法开采的安全性和顶煤的回收率,以16#煤层工作面为例,在对其地质、煤层等条件分析的基础上,基于FLAC3D软件构建数值模拟仿真模型,并对模型的岩体参数进行设置,重点对不同采高和放煤步距对煤体的破坏情况进行对比,最终确定得出最佳采高范围控制在2.0~2.5 m之间,放煤步距为0.6 m。 展开更多
关键词 采高 放煤步距 顶煤回收率 片帮 煤体破坏
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断阶构型对超高速气动增升船减阻效果的影响
12
作者 刘洋 纪世君 +1 位作者 蒋一 倪其军 《船舶工程》 CSCD 北大核心 2023年第5期29-34,共6页
为充分了解超高速气动增升船的断阶构型参数对其减阻作用的影响,基于计算流体动力学(CFD)软件分析不同断阶纵向位置和断阶高度下的船体阻力、纵倾和升沉。计算结果表明:在一定范围内将断阶后置,可减小船舶的航行阻力,但船体纵倾会增大;... 为充分了解超高速气动增升船的断阶构型参数对其减阻作用的影响,基于计算流体动力学(CFD)软件分析不同断阶纵向位置和断阶高度下的船体阻力、纵倾和升沉。计算结果表明:在一定范围内将断阶后置,可减小船舶的航行阻力,但船体纵倾会增大;断阶高度对船体运动阻力的影响,在低速段与高速段表现出截然相反的相关性关系,系列阻力曲线约在船宽弗汝德数Fr_(B)=4.0的航速下交会,在此之后,阻力随着断阶高度的增大而迅速减小,而低速阻力随断阶高度的增大而增大。 展开更多
关键词 气动增升船 断阶纵向位置 断阶高度 减阻效果
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露天矿台阶并段带来的经济效益分析 被引量:1
13
作者 梁嘉伟 《露天采矿技术》 CAS 2023年第4期111-113,共3页
针对抚顺东露天矿现场生产局部采用并段方式,由此增加台阶高度的实际情况;分析了并段后剥岩量的变化、对下部富矿采区露出的影响、台阶高度变化后对露天矿剥岩费用的影响关系。结果表明:采用台阶并段的方法来增加台阶高度可以减少剥岩量... 针对抚顺东露天矿现场生产局部采用并段方式,由此增加台阶高度的实际情况;分析了并段后剥岩量的变化、对下部富矿采区露出的影响、台阶高度变化后对露天矿剥岩费用的影响关系。结果表明:采用台阶并段的方法来增加台阶高度可以减少剥岩量,并加快下部采区露出,增加经济效益。 展开更多
关键词 单斗铁道工艺 台阶高度 并段 剥岩量 经济效益
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综采工作面采煤方式的优选及设备选型配套 被引量:1
14
作者 刘宏 《机械管理开发》 2023年第9期167-168,176,共3页
为进一步提升煤矿采煤工作面的生产效率和安全性,以某矿31051综采工作面为研究对象,在对其地质、煤层、瓦斯等情况综合分析的基础上,从成本、技术以及安全层面对比了炮采和综采的放顶煤开采方式的优劣性,并基于PFC2D仿真软件对综采放顶... 为进一步提升煤矿采煤工作面的生产效率和安全性,以某矿31051综采工作面为研究对象,在对其地质、煤层、瓦斯等情况综合分析的基础上,从成本、技术以及安全层面对比了炮采和综采的放顶煤开采方式的优劣性,并基于PFC2D仿真软件对综采放顶煤开采的最佳开采方式和采高、放煤步距等工艺参数进行优选。 展开更多
关键词 放顶煤 采高 放煤步距 采出率 含矸率
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基于变质心高度策略仿人机器人变步长步态规划 被引量:1
15
作者 何翔 《重庆理工大学学报(自然科学)》 北大核心 2023年第6期146-152,共7页
针对仿人机器人步态切换越障需求,提出一种基于变质心高度策略的变步长步态规划方法。首先,分析质心(CoM)高度变化对机器人步态的影响,将1个步行周期分为3个阶段,包括质心下降、上升和定高度过程,规划质心高度轨迹。然后,规划零力矩点(Z... 针对仿人机器人步态切换越障需求,提出一种基于变质心高度策略的变步长步态规划方法。首先,分析质心(CoM)高度变化对机器人步态的影响,将1个步行周期分为3个阶段,包括质心下降、上升和定高度过程,规划质心高度轨迹。然后,规划零力矩点(ZMP)参考轨迹,基于变高度倒立摆模型,通过托马斯算法解算质心轨迹。为了增强鲁棒性,考虑到机器人越障时步行参数变化的步态切换需求,提出一个具有等式约束的二次规划问题,求解质心优化轨迹。最后,以NAO机器人为实验平台,进行变步长步行对比实验。结果表明:所提出的基于变质心高度策略的步态规划方法,能够实现机器人大步幅变步长稳定步行,实现步态平滑切换,相比于恒定质心高度方法,所提方法的步行平均能耗降低约10%。 展开更多
关键词 变质心高度 变步长 能量效率 二次规划 双足步行
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基于记忆切割法的滚筒式采煤机调高系统自动化性能研究 被引量:2
16
作者 周梓健 《中国煤炭》 2023年第S02期326-329,共4页
以基于记忆切割法的滚筒采煤机的调高系统为研究对象,建立了调高系统的数学模型,并通过AMESim软件对滚筒重载时上升和下降的时间及不同行走速度时调高系统目标追踪的阶跃响应进行了研究,结果发现调高系统的自动化性能受滚筒升降的时间... 以基于记忆切割法的滚筒采煤机的调高系统为研究对象,建立了调高系统的数学模型,并通过AMESim软件对滚筒重载时上升和下降的时间及不同行走速度时调高系统目标追踪的阶跃响应进行了研究,结果发现调高系统的自动化性能受滚筒升降的时间影响较小,但随着采煤机速度的增加,目标追踪精度下降,得出自动化性能最优区间为10~13 m/s。 展开更多
关键词 滚筒采煤机 记忆切割法 调高系统 阶跃响应
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大采高超前液压支架结构设计及应用 被引量:1
17
作者 芦丽婧 《山东煤炭科技》 2023年第7期155-157,共3页
针对煤峪口矿超前支护移动速度慢、支护作用不足等问题,根据煤层赋存条件采用“一主两副”迈步式超前液压支架作为巷道支护,并对大采高超前液压支架及其构件进行总体设计。通过在4302、4306工作面上进行监测,结果表明:在距煤壁40 m处,... 针对煤峪口矿超前支护移动速度慢、支护作用不足等问题,根据煤层赋存条件采用“一主两副”迈步式超前液压支架作为巷道支护,并对大采高超前液压支架及其构件进行总体设计。通过在4302、4306工作面上进行监测,结果表明:在距煤壁40 m处,巷道断面移动速度显著增加,而顶底板的移动速度基本不变,两侧移动速度由小到大依次增加,说明迈步式超前液压支架可以满足两顺槽的支护需求。 展开更多
关键词 大采高 迈步式 液压支架 结构设计
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伊敏露天矿采掘台阶高度优化研究
18
作者 胡鹏飞 李月强 《露天采矿技术》 CAS 2023年第6期5-7,共3页
随着伊敏露天矿产能提高至35.00 Mt/a,采掘设备再次进行大型化升级。为了未来能够有效减少剥离台阶数量,降低开采强度以及采场空间,进而减少年剥离量,伊敏露天矿对台阶高度进行了研究。通过在电铲可采高度范围内对不同台阶高度的对比分... 随着伊敏露天矿产能提高至35.00 Mt/a,采掘设备再次进行大型化升级。为了未来能够有效减少剥离台阶数量,降低开采强度以及采场空间,进而减少年剥离量,伊敏露天矿对台阶高度进行了研究。通过在电铲可采高度范围内对不同台阶高度的对比分析,最终确定将台阶高度调整至14 m。 展开更多
关键词 台阶高度 开采深度 推进度 剥离量 台阶数量
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改扩建路基差异沉降特性研究
19
作者 吴继鹏 《工程技术研究》 2023年第12期27-29,共3页
文章结合具体工程实例,以某省道改扩建工程为研究对象,采用ANSYS有限元分析软件对拓宽后的路基沉降变化情况进行模拟分析,分别研究了新旧路基衔接方式、台阶尺寸、填料特性等影响因素对新旧路基不均匀沉降的影响。研究结果表明:当开挖... 文章结合具体工程实例,以某省道改扩建工程为研究对象,采用ANSYS有限元分析软件对拓宽后的路基沉降变化情况进行模拟分析,分别研究了新旧路基衔接方式、台阶尺寸、填料特性等影响因素对新旧路基不均匀沉降的影响。研究结果表明:当开挖台阶时,降低台阶高度、增大台阶宽度可以降低路基沉降;轻质、高弹性模量的填料对改扩建后的路基沉降有显著改善作用。 展开更多
关键词 改扩建路基 差异沉降 台阶尺寸 填料特性 台阶高度
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影响阶梯溢流坝消能率的因素 被引量:60
20
作者 陈群 戴光清 +1 位作者 朱分清 杨庆 《水力发电学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期95-104,共10页
为了探求提高阶梯溢流坝消能率的措施 ,本文首次采用紊流数值模拟方法 ,对影响阶梯溢流坝消能率的一些主要因素 ,如单宽流量、坝坡、阶梯高度等进行研究。结果表明 ,消能率随单宽流量的增大而显著降低。坝坡越缓 ,消能率越高。阶梯高度... 为了探求提高阶梯溢流坝消能率的措施 ,本文首次采用紊流数值模拟方法 ,对影响阶梯溢流坝消能率的一些主要因素 ,如单宽流量、坝坡、阶梯高度等进行研究。结果表明 ,消能率随单宽流量的增大而显著降低。坝坡越缓 ,消能率越高。阶梯高度对消能率的影响与单宽流量有关 ,当单宽流量较小时 ,消能率随阶梯高度变化较大 ;当单宽流量较大时 ,阶梯高度对消能率的影响很小。根据紊流数值模拟得到的坝面流场的紊动动能和紊动耗散率分布 ,对单宽流量增大时消能率降低的根本原因进行了探讨 ,提出了一些提高消能率的具体措施。 展开更多
关键词 水力学 阶梯溢流坝 数值模拟 单宽流量 坝坡 阶梯高度
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