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Step-scan DSC研究PET/纳米CaCO_3复合材料的结晶和熔融行为 被引量:3
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作者 孙莉莉 王群玥 +3 位作者 王磊 顾振 郑康 田兴友 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期108-112,共5页
采用纳米碳酸钙(CaCO3)浆料直接分散于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的单体乙二醇中,原位聚合制备出分散均匀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)/CaCO3纳米复合材料。分别利用传统的差示扫描量热仪(DSC)和步进扫描DSC(Step-scan DSC)技术研究了Ca... 采用纳米碳酸钙(CaCO3)浆料直接分散于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的单体乙二醇中,原位聚合制备出分散均匀的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)/CaCO3纳米复合材料。分别利用传统的差示扫描量热仪(DSC)和步进扫描DSC(Step-scan DSC)技术研究了CaCO3含量变化对PET结晶和熔融行为的影响及非等温结晶动力学过程。结果表明,纳米粒子与PET的相互作用较弱,对PET结晶主要起促进作用,使结晶更加完善,碳酸钙的含量达到3%时,相对结晶速率达到最大。结晶初期,纳米粒子异相成核作用占优势,这种优势随着纳米粒子含量的增加而有所减弱;结晶后期,纳米粒子对高分子运动的牵制作用比较明显。 展开更多
关键词 聚对苯二甲酸乙二醇酯 纳米碳酸钙 非等温结晶 熔融 步进扫描差热分析
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基于自适应步长的电力系统谐波谐振快速分析方法
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作者 胡智敏 胡海涛 +3 位作者 李朝阳 艾磊 游奕弘 张华赢 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2024年第16期165-173,共9页
随着电力系统的快速发展,其规模越来越大、节点数量越来越多,频率扫描法和模态分析法作为目前应用最为广泛的两种谐波谐振分析方法,计算效率亟须提升。在传统方法的基础上,文中分别提出基于自适应步长的频率扫描法和基于自适应步长的模... 随着电力系统的快速发展,其规模越来越大、节点数量越来越多,频率扫描法和模态分析法作为目前应用最为广泛的两种谐波谐振分析方法,计算效率亟须提升。在传统方法的基础上,文中分别提出基于自适应步长的频率扫描法和基于自适应步长的模态分析法。首先,通过设置相应判据自适应改变扫描步长,使扫描区间能够快速到达谐振频率点附近,大幅减少了计算量;然后,在谐振频率点附近使用二次插值法确定谐振频率,保证了谐振频率计算精度;最后,以IEEE 14节点、IEEE 39节点和IEEE 118节点系统为例进行分析。结果表明,与传统方法相比,所提两种方法在保证谐振频率精度的同时可大幅提高运算速度,验证了所提方法的准确性和高效性。 展开更多
关键词 谐波谐振 频率扫描 模态分析 自适应步长 二次插值
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Depth profiling of SBS/PET layered materials using step-scan phase modulation Fourier transform infrared photoacoustic spectroscopy and two-dimensional correlation analysis
3
作者 LI BoBin & ZHANG PuDun State Key Laboratory of Chemical Resource Engineering Beijing University of Chemical Technology,Beijing 100029,China 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2010年第5期1189-1193,共5页
This paper demonstrates the application of step-scan phase modulation Fourier transform infrared photoacoustic spectroscopy(FTIR-PAS) in non-destructively depth profiling of styrene-butadiene-styrene block copolymer/p... This paper demonstrates the application of step-scan phase modulation Fourier transform infrared photoacoustic spectroscopy(FTIR-PAS) in non-destructively depth profiling of styrene-butadiene-styrene block copolymer/polyethylene terephthalate(SBS/PET) layered materials.The surface thicknesses of three layered samples were determined to be 1.2,4.3 and 9.4μm by using phase difference analysis,overcoming the spatial detection limits of FTIR.Combined with generalized two-dimensional(G2D) FTIR correlation analysis,the spatial origins of peaks in the SBS/PET spectrum are identified with those having overlapping peaks between different layers are resolved. 展开更多
关键词 DEPTH PROFILING FTIR PHOTOACOUSTIC step-scan two-dimensional correlation analysis LAYERED materials
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弱分界面下物流AGV障碍物识别系统设计
4
作者 胡跃明 《机械设计与制造工程》 2024年第10期57-61,共5页
针对当前AGV无法对障碍物做出前瞻性预判的问题,设计一种优化智能物流AGV障碍物激光扫描识别系统。将采集的数据生成图片并进行去噪处理,利用背景减除等方法检测障碍物,并传输信号到AGV系统中;基于多步前瞻算法及TOF测距方法,完成障碍... 针对当前AGV无法对障碍物做出前瞻性预判的问题,设计一种优化智能物流AGV障碍物激光扫描识别系统。将采集的数据生成图片并进行去噪处理,利用背景减除等方法检测障碍物,并传输信号到AGV系统中;基于多步前瞻算法及TOF测距方法,完成障碍物的弱分界面区分迭代识别及测距。实验结果表明:设计的系统应用到AGV中,障碍物平均正检率高于90%,且障碍物面积检测计算的误差率最大仅为3.94%,设计的系统具有一定的实用价值。 展开更多
关键词 自动导引小车 弱分界面 障碍物 激光扫描 多步前瞻算法
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国外凝视型舰载红外搜索与跟踪系统综述
5
作者 朱耘 《舰船电子工程》 2023年第5期19-25,共7页
为一种被动式告警系统,舰载红外搜索与跟踪系统(IRST)能够可探测和跟踪掠海反舰导弹和低空威胁目标,为舰船作战管理系统和指挥控制系统提供目标指示信息,在提高舰船的态势告警能力和自防御能力方面具有不可替代的优势。与传统的360°... 为一种被动式告警系统,舰载红外搜索与跟踪系统(IRST)能够可探测和跟踪掠海反舰导弹和低空威胁目标,为舰船作战管理系统和指挥控制系统提供目标指示信息,在提高舰船的态势告警能力和自防御能力方面具有不可替代的优势。与传统的360°机械扫描的IRST系统相比较,新型的凝视型IRST系统使用多个基于FPA阵列凝视非转动传感器组件,增大俯仰角覆盖,具有的高数据更新率确保快速反应时间,增强了对高速低探测性目标以及非对称威胁目标的自动探测和跟踪性能。论文介绍国外新型凝视型舰载红外搜索与跟踪系统的发展现状、技术特点和应用,对重点技术进行了分析。 展开更多
关键词 红外搜索与跟踪(IRST) 舰载 扫描 全凝视 步进凝视 焦平面阵列(FPA)
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红外搜索系统步进扫描模式下搜索能力研究
6
作者 张启鹏 夏斌 冯亮 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1405-1409,共5页
步进扫描是红外搜索系统实现大俯仰空间搜索的一种方式,用于探测较大高度范围内来袭目标。由于步进过程中俯仰基线需要不断调整,致使俯仰搜索范围与目标高度的重合存在一定偶然性,其搜索能力很难通过外场试验的方式进行评估。针对采用... 步进扫描是红外搜索系统实现大俯仰空间搜索的一种方式,用于探测较大高度范围内来袭目标。由于步进过程中俯仰基线需要不断调整,致使俯仰搜索范围与目标高度的重合存在一定偶然性,其搜索能力很难通过外场试验的方式进行评估。针对采用步进扫描方式的红外搜索系统,分析了目标与搜索系统瞬时视场相遇的规律,以目标与固定基线下红外搜索系统瞬时视场的相遇概率模型为基础,进一步给出了红外搜索系统步进扫描模式下的相遇概率模型,以某红外搜索系统为例,利用该模型对比了两种步进扫描模式的搜索效果,分析了步进扫描模式下不同搜索空域范围对作用距离及相应相遇概率的影响,为评估该类型红外搜索系统的搜索能力和最大程度发挥其能力提供了可以参考的方法。 展开更多
关键词 红外搜索 步进扫描 相遇概率 作用距离
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不同形态纳米粒子对PET纳米复合物熔融结晶行为的影响 被引量:3
7
作者 刘晨 李鹏 +1 位作者 路向辉 薛祺 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第10期115-117,共3页
通过step-scan DSC(SDSC)来研究PET纳米复合物等温结晶的熔融重结晶行为,研究了结晶时间,纳米粒子含量以及纳米粒子形态对PET纳米复合物熔融重结晶行为的影响。PET纳米复合物在熔融过程中出现双峰,这主要是由于熔融重结晶引起的。随着... 通过step-scan DSC(SDSC)来研究PET纳米复合物等温结晶的熔融重结晶行为,研究了结晶时间,纳米粒子含量以及纳米粒子形态对PET纳米复合物熔融重结晶行为的影响。PET纳米复合物在熔融过程中出现双峰,这主要是由于熔融重结晶引起的。随着结晶时间的增加PET复合物低温峰强度逐渐增大而高温峰则逐渐减小;而纳米粒子含量增加,低温峰强度减小,高温峰强度增大;当纳米粒子含量相同时,PET/Attapulgite(PET/At)双峰的强度以及峰位都要高于PET/SiO2,SiO2含量从0.5%增加到2%,PET/SiO2双峰强度有一个突变。 展开更多
关键词 step-scan DSC PET纳米复合物 重结晶 缠结网络
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窄禁带碲镉汞调制光谱的近期进展和前景(英文) 被引量:8
8
作者 邵军 马丽丽 +6 位作者 吕翔 吴俊 李志峰 郭少令 何力 陆卫 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期1-6,20,共7页
简要介绍了红外光调制反射谱和调制光致发光谱的最新进展,并重点比较了相对于传统实验方法在信噪比,谱分辨率和实验耗时等方面所取得的显著进展.给出了在MBE生长HgCdTe薄膜样品研究中的应用实例,显示了该技术在光谱研究窄禁带半导体带... 简要介绍了红外光调制反射谱和调制光致发光谱的最新进展,并重点比较了相对于传统实验方法在信噪比,谱分辨率和实验耗时等方面所取得的显著进展.给出了在MBE生长HgCdTe薄膜样品研究中的应用实例,显示了该技术在光谱研究窄禁带半导体带间和低维结构带内跃迁方面的应用前景. 展开更多
关键词 步进扫描傅立叶变换红外光谱仪 红外光调制反射 调制光致发光 信噪比 谱分辨率
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步进扫描光刻机硅片台连续扫描时间优化算法 被引量:5
9
作者 潘海鸿 李小清 +2 位作者 严思杰 陈琳 周云飞 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期154-161,共8页
为减少步进扫描光刻机连续曝光扫描运动的扫描过渡时间(扫描时间和步进时间),将硅片台扫描方向曝光扫描运动分解为逻辑步进运动和逻辑扫描运动,提出扫描和步进运动时间重叠的轨迹规划算法(时间重叠算法)处理连续曝光扫描运动。在不破坏... 为减少步进扫描光刻机连续曝光扫描运动的扫描过渡时间(扫描时间和步进时间),将硅片台扫描方向曝光扫描运动分解为逻辑步进运动和逻辑扫描运动,提出扫描和步进运动时间重叠的轨迹规划算法(时间重叠算法)处理连续曝光扫描运动。在不破坏运动约束条件下(恒速运动要求以及速度、加速度边界限制),根据时间重叠算法重新计算并推导不同扫描运动路径下连续扫描运动过程的步进和扫描运动转折点。经理论分析和硅片曝光场连续曝光实例计算表明:基于时间重叠算法的轨迹规划可获得时间优化的硅片台连续曝光扫描,比传统扫描方法减少曝光扫描运动过程中的无效率时间,提高步进扫描光刻机生产率,为步进扫描光刻机工程实践提供理论基础。 展开更多
关键词 步进扫描光刻机 硅片台 连续曝光扫描 时间重叠规划 多项式运动轨迹
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星载CO_2探测频率步进扫描IPDA激光雷达回波信号反演及误差分析 被引量:4
10
作者 陈思颖 马泱 +2 位作者 郭磐 张寅超 陈和 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期848-852,共5页
设计了星载CO_2探测频率步进扫描积分路径差分吸收(IPDA)激光雷达,弥补了欧洲航天局ASCOPE项目单波长CO_2探测IPDA激光雷达对波长依赖性较强等不足.仿真计算了一个扫描周期内的激光雷达回波信号和系统的相对随机误差、大气压强不确定性... 设计了星载CO_2探测频率步进扫描积分路径差分吸收(IPDA)激光雷达,弥补了欧洲航天局ASCOPE项目单波长CO_2探测IPDA激光雷达对波长依赖性较强等不足.仿真计算了一个扫描周期内的激光雷达回波信号和系统的相对随机误差、大气压强不确定性误差以及频率不稳定性误差.当频率步进扫描到on-line波长为6 361.235 0cm-1时,在海面反射率为0.035sr-1、大气压强不确定性为0.001以及激光频率不稳定性为0.3MHz条件下,系统综合相对误差为0.084 2%.结果表明,采用频率步进扫描方法结合IPDA激光雷达技术探测大气CO_2浓度不仅可以观察到相对误差随on-line波长变化的关系,而且可以有效地减小测量误差,使其小于0.5×10^(-6). 展开更多
关键词 CO2 IPDA激光雷达 星载系统 步进扫描 反演 误差分析
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两种新的时间分辨光谱技术 被引量:3
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作者 锁志勇 魏先文 +4 位作者 徐正 刘德军 余智 张昀 李重德 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2000年第3期404-410,共7页
时间分辨光谱(Time Resolved Spectrometry, TRS)是研究物质光物理、光化学性质的基本手段。本文简要介绍了这一领域中较新的两种光谱技术:相调制法测定荧光寿命(Phase-shift and  D... 时间分辨光谱(Time Resolved Spectrometry, TRS)是研究物质光物理、光化学性质的基本手段。本文简要介绍了这一领域中较新的两种光谱技术:相调制法测定荧光寿命(Phase-shift and  Demodulation Measurement ofFluorescence Lifetime)和利用步进扫描(Step-Scan)技术测量瞬态红外吸收光谱。 展开更多
关键词 时间分辨光谱 相调制法 步进扫描 荧光寿命
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电化学原位步进扫描时间分辨显微镜FTIR反射光谱 被引量:2
12
作者 周志有 孙世刚 +2 位作者 陈声培 司迪 贡辉 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第11期989-993,共5页
结合步进扫描傅立叶变换红外光谱仪和红外显微镜,建立了电化学原位步进扫描时间分辨显微镜FTIR反射光谱.采用微电极和利用纳米结构表面的异常红外效应,显著提高表面吸附物种的红外检测灵敏度和红外电极表面对极化电位的响应速度,使广泛... 结合步进扫描傅立叶变换红外光谱仪和红外显微镜,建立了电化学原位步进扫描时间分辨显微镜FTIR反射光谱.采用微电极和利用纳米结构表面的异常红外效应,显著提高表面吸附物种的红外检测灵敏度和红外电极表面对极化电位的响应速度,使广泛应用的外反射型薄层红外电解池的时间常数(τ=R1Cd)从使用常规盘电极的约40ms降低到0.65ms.研究了酸性介质中CO在Pt电极上的吸附过程,谱图的时间分辨率达50μs. 展开更多
关键词 电化学原位步进扫描时间分辨显微镜 FTIR 反射光谱 时间分辨红外光谱 红外显微镜 铂微电极 CO 吸附 一氧化碳 酸性介质
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一种简易结构步进分幅式航空相机摆扫控制系统 被引量:4
13
作者 周黎 杨世洪 高晓东 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期128-133,共6页
步进分幅式成像是提高传统面阵CCD航空相机工作覆盖范围的重要方法。本文介绍了一种简易结构的步进分幅式航空相机。相机采用步进电机开环控制实现摆扫过程,适用于对体积和重量要求严格的场合。文中着重介绍了一种基于正矢函数的高阶平... 步进分幅式成像是提高传统面阵CCD航空相机工作覆盖范围的重要方法。本文介绍了一种简易结构的步进分幅式航空相机。相机采用步进电机开环控制实现摆扫过程,适用于对体积和重量要求严格的场合。文中着重介绍了一种基于正矢函数的高阶平滑步进电机运动曲线的设计及其在DSP平台上的实现方法。实验表明,该运动控制方式有效地抑制了冲击和振动,避免了步进电机的丢步,重复性定位精度优于10″。系统结构简单,成本低,满足分幅式航空相机的要求。 展开更多
关键词 步进分幅成像 航空相机 步进摆扫 步进电机
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固/液界面原位红外显微镜和步进扫描时间分辨FTIR反射光谱及其在纳米材料科学中的应用 被引量:2
14
作者 孙世刚 贡辉 +4 位作者 周志有 陈声培 陈友江 司迪 李君涛 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期431-433,共3页
结合红外显微镜和步进扫描FTIR光谱仪 ,发展了固 /液界面电化学原位显微镜红外反射光谱和步进扫描快速时间分辨FTIR反射光谱 ,并应用于纳米材料特殊性能和电化学反应动力学的研究。研制纳米结构Pt微电极 ,获得CO吸附的红外特征随纳米结... 结合红外显微镜和步进扫描FTIR光谱仪 ,发展了固 /液界面电化学原位显微镜红外反射光谱和步进扫描快速时间分辨FTIR反射光谱 ,并应用于纳米材料特殊性能和电化学反应动力学的研究。研制纳米结构Pt微电极 ,获得CO吸附的红外特征随纳米结构和纳米尺度变化的原位显微镜红外谱图。利用纳米结构Pt微电极的异常红外效应 ,显著提高电化学原位红外反射光谱的灵敏度 ,获得分辨率达 5 0 μs的步进扫描时间分辨光谱。不仅发展了固 /液界面显微镜原位红外反射光谱新方法 ,并且拓展了电化学原位红外反射光谱在纳米材料科学研究中的应用。 展开更多
关键词 纳米材料 原位红外反射光谱 异常红外效应 步进扫描 分辨率
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碳基针孔组合微电极的性能测试与理论验证 被引量:4
15
作者 赵凯元 王敔清 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第2期183-187,共5页
在涂敷绝缘漆的碳电极上,用针尖刺穿绝缘膜,形成组合微盘电极.在铁氰化钾与亚铁氰化钾溶液体系测得电极的循环伏安曲线与理论计算曲线十分吻合.阶梯扫描伏安法测得的极限扩散电流,与亚铁氰化钾浓度和扫描速率平方根都成良好的线性关系.... 在涂敷绝缘漆的碳电极上,用针尖刺穿绝缘膜,形成组合微盘电极.在铁氰化钾与亚铁氰化钾溶液体系测得电极的循环伏安曲线与理论计算曲线十分吻合.阶梯扫描伏安法测得的极限扩散电流,与亚铁氰化钾浓度和扫描速率平方根都成良好的线性关系.在氯化钾支持电解质溶液中,测得Cd(Ⅱ)的循环伏安曲线是不可逆的,Cd(Ⅱ)的还原波峰电位在-0.98V(相对于饱和甘汞电极)附近;800mV·s-1阶梯扫描速率下,在2.55×10-5~1.28×10-4mol·dm-3浓度范围内,Cd(Ⅱ)的浓度与还原波峰电流成良好的线性关系. 展开更多
关键词 组合微盘电极 循环伏安特征 阶梯扫描伏安法 微针孔 氯化钾 电解质溶液
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步进频率圆锥扫描雷达信号处理 被引量:6
16
作者 吴琼之 龙腾 王飞 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期188-192,共5页
本文首先给出了圆锥扫描步进频率雷达信号的形式 ,并利用归一化的表达式对圆锥扫描和步进频率之间的互相影响进行了详细分析。论证了该信号可以在距离高分辨率的基础上针对单个散射中心进行有效测角。同时在此基础上提出并实现了一种紧... 本文首先给出了圆锥扫描步进频率雷达信号的形式 ,并利用归一化的表达式对圆锥扫描和步进频率之间的互相影响进行了详细分析。论证了该信号可以在距离高分辨率的基础上针对单个散射中心进行有效测角。同时在此基础上提出并实现了一种紧耦合角度处理方案 ,给出了计算机仿真结果 ,并讨论了噪声和运动等非理想因素对该方案的影响。紧耦合角度处理方案已经在某实时信号处理系统中得到了实现。计算机仿真结果和外场实验结果都证明了该方案有效性。 展开更多
关键词 步进频率 圆锥扫描 雷达 信号处理 信号形式 噪声 径向运动目标
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双调制步进扫描红外光谱技术用于聚氨酯薄膜动态拉伸实验 被引量:1
17
作者 吴强 鹿秀山 +1 位作者 杨淑珍 张邦华 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期25-28,共4页
将步进扫描多调制傅里叶红外光谱技术用于聚氨酯薄膜动态拉伸的流变光谱性质研究。讨论了步进扫描干涉仪的工作原理、包括相调制在内的多调制频率与数字采集实验设置及数字信号处理方法。得到聚氨酯薄膜在 10 0Hz频率、1 0λ振幅的相调... 将步进扫描多调制傅里叶红外光谱技术用于聚氨酯薄膜动态拉伸的流变光谱性质研究。讨论了步进扫描干涉仪的工作原理、包括相调制在内的多调制频率与数字采集实验设置及数字信号处理方法。得到聚氨酯薄膜在 10 0Hz频率、1 0λ振幅的相调制作用下 ,相对于 5Hz拉伸频率的同相位 (In phase)和正交相位(Quadrature) 展开更多
关键词 动态红外光谱 动态拉伸 步进扫描红外技术 数字信号处理 聚氨酯 流变光谱
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一种用于水下距离选通成像的变步长扫描方法 被引量:2
18
作者 韩宏伟 张晓晖 葛卫龙 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期226-229,259,共5页
为了扫描时既减少"切片"数目又保证图像质量,采用一种用于距离选通水下激光成像的变步长的延迟递增方法,首先通过辐射探测理论和景深原理确定接收镜头的焦距和对焦位置以及系统需要扫描的范围,再依据水下激光脉冲时域展宽理... 为了扫描时既减少"切片"数目又保证图像质量,采用一种用于距离选通水下激光成像的变步长的延迟递增方法,首先通过辐射探测理论和景深原理确定接收镜头的焦距和对焦位置以及系统需要扫描的范围,再依据水下激光脉冲时域展宽理论确定延迟递进的步长和相应的选通门宽,最后进行了仿真计算和实验。结果表明,在保证图像质量的同时,基于该方法的距离选通成像系统可在7个脉冲成像内完成对15m到48.6m范围的扫描。实验结果证明了该方法的有效性,从而为距离选通技术的实用化发展提供了有益的尝试。 展开更多
关键词 成像系统 变步长扫描 时域展宽 距离选通
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光刻机模拟工件台掩模台同步运动误差分析 被引量:4
19
作者 王春洪 段广洪 朱煜 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第9期42-43,47,共3页
步进扫描光刻机是半导体制造行业的关键设备,在这种光刻机系统中,硅片台和掩模台要按照1∶4的速度比进行同步扫描运动,同步运动性能指标以移动平均差(MA)和移动标准差(MSD)来度量。扫描过程中的同步性能对光刻机最终能生产出的芯片特征... 步进扫描光刻机是半导体制造行业的关键设备,在这种光刻机系统中,硅片台和掩模台要按照1∶4的速度比进行同步扫描运动,同步运动性能指标以移动平均差(MA)和移动标准差(MSD)来度量。扫描过程中的同步性能对光刻机最终能生产出的芯片特征尺寸有着很大的影响。文章对模拟硅片-掩模台同步运动的同步误差进行了分析,给出在一定的扫描速度下,不同频率范围的误差成分对MA和MSD的影响的规律,分析结果对于有针对性地提高同步性能指标具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 光刻机 同步扫描 误差分析
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精密硅片台步进扫描运动的5阶S曲线规划 被引量:5
20
作者 武志鹏 陈兴林 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期99-104,共6页
为降低硅片台在曝光扫描过程中的加减速时间以及提高扫描速度的平稳性,设计了5阶对称S曲线。设定加速度三阶导数为恒定值,通过向上积分的方法确定了5阶S曲线的位置和速度表达式。以时间最优和冲击最小设计优化指标,对步进过程的5阶轨迹... 为降低硅片台在曝光扫描过程中的加减速时间以及提高扫描速度的平稳性,设计了5阶对称S曲线。设定加速度三阶导数为恒定值,通过向上积分的方法确定了5阶S曲线的位置和速度表达式。以时间最优和冲击最小设计优化指标,对步进过程的5阶轨迹进行优化,设计了改进5阶S曲线。仿真结果表明,5阶S曲线可以使硅片台在短时间内加速到扫描速度,并且可以快速稳定。改进5阶S曲线大幅度缩短步进时间,硅片台步进曲线平滑无突变。 展开更多
关键词 步进扫描 S曲线 时间最优 硅片台
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