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Effect of growth interruption and strain buffer layer on PL performance of AlGaAs/GaAs/InGaAs quantum well for 1065 nm wavelength lasers
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作者 PANJiaoqing HUANGBaibiao +3 位作者 ZHANGXiaoyang YUEJinshun YUYongqin WEIJiyong 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第1期64-67,共4页
Strained InGaAs/GaAs quantum well (QW) was grown by low-pressuremetallorganic chemical vapor deposition (MOCVD). Growth interruption and strain buffer layer wereintroduced to improve the photoluminescence (PL) perform... Strained InGaAs/GaAs quantum well (QW) was grown by low-pressuremetallorganic chemical vapor deposition (MOCVD). Growth interruption and strain buffer layer wereintroduced to improve the photoluminescence (PL) performance of the InGaAs/GaAs quantum well. GoodPL results were obtained under condition of growth an interruption of 10 s combined with a moderatestrain buffer layer. Wavelength lasers of 1064 nm using the QW were grown and processed intodevices. Broad area lasers (100 μm x 500 μm) show very low threshold current densities (43 A/cm^2)and high slop efficiency (0.34 W/A, per facet). 展开更多
关键词 AlGaAs/GaAs/InGaAs strained quantum well MOCVD strain buffer layer growthinterruption laser diodes
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大应变In_(0.3)Ga_(0.7)As/GaAs量子阱激光器的生长和研究 被引量:1
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作者 潘教青 黄柏标 +4 位作者 张晓阳 任忠祥 秦晓燕 朱宝富 李先林 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期707-710,共4页
金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长应变InGaAs/GaAs量子阱,应变缓冲层结合生长中断改善量子阱的PL谱特性.用该量子阱制备的激光器有很低的阈值电流密度(43 A/cm^2)和较高的斜率效率(0.34W/A,per facet)。
关键词 金属有机物化学气相沉积 生长中断 应变缓冲层 应变量子阱激光器 INGAAS/GAAS量子阱
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In_(0.2)Ga_(0.8)As-GaAs复合应力缓冲层上的1.3μm InAs/GaAs自组织量子点
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作者 方志丹 龚政 +2 位作者 苗振华 牛智川 沈光地 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期324-327,共4页
用光荧光谱和原子力显微镜测试技术系统研究了在2 nm In0.2Ga0.8As和xML GaAs的复合应力缓冲层上生长的InAs/GaAs自组织量子点的发光特性和表面形貌.采用In0.2Ga0.8As与薄层GaAs复合的应力缓冲层,由于减少了晶格失配度致使量子点密度从... 用光荧光谱和原子力显微镜测试技术系统研究了在2 nm In0.2Ga0.8As和xML GaAs的复合应力缓冲层上生长的InAs/GaAs自组织量子点的发光特性和表面形貌.采用In0.2Ga0.8As与薄层GaAs复合的应力缓冲层,由于减少了晶格失配度致使量子点密度从约1.7×109cm-2显著增加到约3.8×109cm-2.同时,复合层也有利于提高量子点中In的组份,使量子点的高宽比增加,促进量子点发光峰红移.对于x=10 ML的样品室温下基态发光峰达到1350 nm. 展开更多
关键词 INAS/GAAS量子点 复合应力缓冲层 光荧光 原子力显微镜
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GaAs衬底上InP的直接外延生长及性能表征
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作者 熊德平 周守利 《光电子技术》 CAS 北大核心 2009年第2期122-124,共3页
用低压金属有机物气相外延(LP-MOCVD)技术,采用低温缓冲层生长法,在GaAs(100)衬底上直接生长了高质量的InP外延层。1.2μm InP(004)面X射线衍射(XRD)ω-2θ和ω扫描半高全宽(FWHM)分别为373 arcsec和455 arcsec,在外延层中插入10周期Ga0... 用低压金属有机物气相外延(LP-MOCVD)技术,采用低温缓冲层生长法,在GaAs(100)衬底上直接生长了高质量的InP外延层。1.2μm InP(004)面X射线衍射(XRD)ω-2θ和ω扫描半高全宽(FWHM)分别为373 arcsec和455 arcsec,在外延层中插入10周期Ga0.1In0.9P/InP应变超晶格后,其半高全宽分别下降为338 arcsec和391 arcsec。透射电子显微镜(TEM)测试显示,应变超晶格有效地抑制了失配位错穿进外延层,表明晶体质量得到了较大提高。 展开更多
关键词 异质外延 低温缓冲层 应变超晶格 金属有机物气相外延
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SiC衬底AlN缓冲层的应变对GaN外延层质量的影响
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作者 王丽 房玉龙 +3 位作者 尹甲运 敦少博 刘波 冯志红 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期630-633,共4页
在3英寸(1英寸=2.54 cm)SiC衬底上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法生长GaN外延材料。研究了AlN缓冲层的应变状态对GaN外延层应变状态和质量的影响。使用原子力显微镜和高分辨率X射线双晶衍射仪观察样品表面形貌,表征外延材料质量... 在3英寸(1英寸=2.54 cm)SiC衬底上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法生长GaN外延材料。研究了AlN缓冲层的应变状态对GaN外延层应变状态和质量的影响。使用原子力显微镜和高分辨率X射线双晶衍射仪观察样品表面形貌,表征外延材料质量的变化,使用高分辨喇曼光谱仪观察外延材料应力的变化,提出了基于外延生长的应变变化模型。实验表明,GaN外延层的张应变随着AlN缓冲层应变状态的由压变张逐渐减小,随着GaN张应力的逐渐减小,GaN位错密度也大大减少,表面形貌也逐渐变好。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) GAN外延层 ALN缓冲层 失配 应变 应力
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Effects of BaTiO3 and SrTiO3 as the buffer layers of epitaxial BiFeO3 thin films
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作者 Yu Feng Can Wang +6 位作者 ShiLu Tian Yong Zhou Chen Ge HaiZhong Guo Meng He KuiJuan Jin GuoZhen Yang 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第6期69-73,共5页
BiFeO_3 (BFO) thin films with BaTiO_3 (BTO) or SrTiO_3 (STO) as buffer layer were epitaxially grown on SrRuO_3-covered SrTiO_3 substrates. X-ray diffraction measurements show that the BTO buffer causes tensile strain ... BiFeO_3 (BFO) thin films with BaTiO_3 (BTO) or SrTiO_3 (STO) as buffer layer were epitaxially grown on SrRuO_3-covered SrTiO_3 substrates. X-ray diffraction measurements show that the BTO buffer causes tensile strain in the BFO films, whereas the STO buffer causes compressive strain. Different ferroelectric domain structures caused by these two strain statuses are revealed by piezoelectric force microscopy. Electrical and magnetical measurements show that the tensile-strained BFO/BTO samples have reduced leakage current and large ferroelectric polarization and magnetization, compared with compressively strained BFO/STO. These results demonstrate that the electrical and magnetical properties of BFO thin films can be artificially modified by using a buffer layer. 展开更多
关键词 BIFEO3薄膜 SRTIO3 缓冲层 BATIO3 X射线衍射测量 铁电畴结构 拉伸应变 钛酸钡薄膜
原文传递
MBE Growth of Highly Relaxed Si0.45 Ge0.55 Films with Very Low Misfit Dislocation Density on Si (001) Substrates
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作者 路向党 张翔九 +3 位作者 杨鸿斌 樊永良 黄维宁 孙燕清 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第1期220-222,共3页
We investigate the molecular-beam-epitaxy growth of highly relaxed Si0.45 Ge0.55 films with very low dislocation densities. By using the Si3N4 film as the mask material, the Si0.45Ge0.55 film can be grown on a composi... We investigate the molecular-beam-epitaxy growth of highly relaxed Si0.45 Ge0.55 films with very low dislocation densities. By using the Si3N4 film as the mask material, the Si0.45Ge0.55 film can be grown on a compositionally stepwise graded SiGe buffer layer in 3 μm× 3 μm windows on a Si (001) substrate. Raman scattering spectroscopy measurement shows that more than 90% strain of the Si0.45Ge0.55 film is relaxed, and almost neither misfit dislocation lines nor etch pits of thread dislocations could be observed when the sample is etched by the modified Schimmel etchant. We suggest that the results can be explained by influence of the edge-induced strain relaxation of the epitaxial film and the edge-induced stress of the mask material. 展开更多
关键词 strain SI1-XGEX SILICON bufferS layerS SIGE
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在6H-SiC衬底上用低压MOVPE法生长AlN和GaN的过程中用(AlN/GaN)多层缓冲层来控制残余应力(英文)
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作者 Horie M Ishihara Y +1 位作者 Takano T Kawanishi H 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期5-9,共5页
人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件。GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料。 6H SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势 ,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近。然而 ,对于AlN外延... 人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件。GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料。 6H SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势 ,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近。然而 ,对于AlN外延层来说 ,需要控制其中的残余应力 ,因为在SiC衬底上直接生长的AlN外延层中存在着因晶格失配所产生的压缩应力。另一方面 ,在SiC衬底上直接生长的GaN外延层中存在着拉伸应力。这种拉伸应力起源于GaN比衬底有着更大的热膨胀系数。本文讨论了在 6H SiC衬底上生长的氮化物外延层中残余应力的类型、数量及控制。为此目的 ,提出了在 6H SiC衬底上 ,无论是生长AlN ,还是生长GaN ,都可以采用 (GaN/AlN)多层缓冲层的办法 ,作为控制残余应力的有效方法。我们还讨论了AlN和GaN外延层的结晶质量和残余应力间的关系。 展开更多
关键词 残余应力控制 AlN和GaN外延层 (AlN/GaN)多缓冲层 低压MOVPE
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InP/GaAs异质外延及异变InGaAs光探测器制备 被引量:5
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作者 王琦 任晓敏 +5 位作者 熊德平 周静 吕吉贺 黄辉 黄永清 蔡世伟 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1143-1145,1149,共4页
借助超薄低温InP缓冲层,在GaAs衬底上生长出了高质量的InP外延层,在InP外延层中插入了15周期In0.93Ga0.07P/InP应变层超晶格(SLS),进一步阻断了失配位错穿透到晶体表面,提高了外延层的晶体质量,这样2.5μm厚InP外延层的双晶X射线衍射(DC... 借助超薄低温InP缓冲层,在GaAs衬底上生长出了高质量的InP外延层,在InP外延层中插入了15周期In0.93Ga0.07P/InP应变层超晶格(SLS),进一步阻断了失配位错穿透到晶体表面,提高了外延层的晶体质量,这样2.5μm厚InP外延层的双晶X射线衍射(DCXRD)ω扫描半高全宽(FWHM)值降低至219 arcsec,该InP外延层的室温光荧光(PL)谱线宽度仅为42 meV。在此基础上,只利用超薄低温InP缓冲层技术就在半绝缘GaAs衬底上成功地制备出了长波长异变In0.53Ga0.47As PIN光电探测器,器件的台面面积为50μm×50μm,In0.53Ga0.47As吸收层厚度为300 nm,在3 V反偏压下器件的3 dB带宽达到了6 GHz,在1550 nm波长处器件的响应度达到了0.12 A/W,对应的外量子效率为9.6%。 展开更多
关键词 异质外延 低温InP缓冲层 应变层超晶格(SLS) 光探测器
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InGaAs/GaAs应变量子阱激光器MOCVD生长研究 被引量:8
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作者 刘安平 段利华 周勇 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期163-165,共3页
采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法生长了InGaAs/GaAs应变量子阱(QW),通过降低生长温度、提高生长速度以及采用应变缓冲层(SBL)结构,改善了应变QW生长表面质量和器件荧光(PL)谱特性,实验表明,通过优化工艺条件和采用SBL等手段提高... 采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法生长了InGaAs/GaAs应变量子阱(QW),通过降低生长温度、提高生长速度以及采用应变缓冲层(SBL)结构,改善了应变QW生长表面质量和器件荧光(PL)谱特性,实验表明,通过优化工艺条件和采用SBL等手段提高了应变QW质量。生长的QW结构用于1054 nm激光器的制作,经测试,器件具有较低的阈值电流和较高的单面斜率效率,性能较好。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相淀积(MOCVD) InGaAs/GaAs量子阱(QW) 应变缓冲层(SBL)
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