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Influence of Schottky drain contacts on the strained AlGaN barrier layer of AlGaN/AlN/GaN heterostructure field-effect transistors
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作者 曹芝芳 林兆军 +2 位作者 吕元杰 栾崇彪 王占国 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第4期394-398,共5页
Rectangular Schottky drain AlGaN/AlN/GaN heterostructure field-effect transistors (HFETs) with different gate contact areas and conventional AlGaN/AlN/GaN HFETs as control were both fabricated with same size. It was... Rectangular Schottky drain AlGaN/AlN/GaN heterostructure field-effect transistors (HFETs) with different gate contact areas and conventional AlGaN/AlN/GaN HFETs as control were both fabricated with same size. It was found there is a significant difference between Schottky drain AlGaN/AlN/GaN HFETs and the control group both in drain series resistance and in two-dimensional electron gas (2DEG) electron mobility in the gate–drain channel. We attribute this to the different influence of Ohmic drain contacts and Schottky drain contacts on the strained AlGaN barrier layer. For conventional AlGaN/AlN/GaN HFETs, annealing drain Ohmic contacts gives rise to a strain variation in the AlGaN barrier layer between the gate contacts and the drain contacts, and results in strong polarization Coulomb field scattering in this region. In Schottky drain AlGaN/AlN/GaN HFETs, the strain in the AlGaN barrier layer is distributed more regularly. 展开更多
关键词 Algan/aln/gan HFET Schottky drain contact Algan barrier layer strain polarization Coulomb field scattering
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Observation of a Current Plateau in the Transfer Characteristics of InGaN/AlGaN/AlN/GaN Heterojunction Field Effect Transistors
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作者 闫俊达 王权 +11 位作者 王晓亮 肖红领 姜丽娟 殷海波 冯春 王翠梅 渠慎奇 巩稼民 张博 李百泉 王占国 侯洵 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第12期113-116,共4页
Direct-current transfer characteristics of (InGaN)/A1GaN/A1N/GaN heterojunction field effect transistors (HFETs) are presented. A drain current plateau (IDs = 32.0 mA/mm) for Vcs swept from +0.7 V to -0. 6 V is... Direct-current transfer characteristics of (InGaN)/A1GaN/A1N/GaN heterojunction field effect transistors (HFETs) are presented. A drain current plateau (IDs = 32.0 mA/mm) for Vcs swept from +0.7 V to -0. 6 V is present in the transfer characteristics of InGaN/AIGaN/AIN/GaN HFETs. The theoretical calculation shows the coexistence of two-dimensional electron gas (2DEG) and two-dimensional hole gas (2DHG) in InGaN/AIGaN/A1N/GaN heterostructures, and the screening effect of 2DHG to the 2DEG in the conduction channel can explain this current plateau. Moreover, the current plateau shows the time-dependent behavior when IDs Vcs scans repeated are conducted. The obtained insight provides indication for the design in the fabrication of GaN-based super HFETs. 展开更多
关键词 Algan Observation of a Current Plateau in the Transfer Characteristics of Ingan/Algan/aln/gan heterojunction Field Effect Transistors INgan aln
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栅极几何结构对MIS栅结构常关p-GaN/AlGaN/GaN HEMTs性能的影响
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作者 都继瑶 《沈阳理工大学学报》 CAS 2025年第1期72-77,共6页
高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistors,HEMTs)具有高速开关和极高击穿电场等特性,在功率器件领域应用广泛。为提高HEMT器件性能,通过实验研究了栅极几何结构对具有金属/绝缘体/半导体(MIS)栅极结构的常关型p-GaN/AlGa... 高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistors,HEMTs)具有高速开关和极高击穿电场等特性,在功率器件领域应用广泛。为提高HEMT器件性能,通过实验研究了栅极几何结构对具有金属/绝缘体/半导体(MIS)栅极结构的常关型p-GaN/AlGaN/GaN HEMTs性能的影响。栅极介质层采用5 nm厚的原位生长AlN,AlN/p-GaN界面呈现出更明显的能带弯曲和更宽的耗尽区,有利于阈值电压向正向偏移,且其相对较宽的能带错位有助于抑制栅极电流。实验结果表明:与栅极非覆盖区长度为0μm和6μm的MIS栅极相比,非覆盖区长度为3μm的MIS栅极可提高器件综合性能,有效抑制正向栅极电流,将阈值电压提高至3 V,并较好地保持电流密度为46 mA/mm;栅极结构中两侧没有栅极覆盖的区域在导通过程和导通状态下均可引起较大的沟道电阻,且沟道电阻随着非覆盖区长度增加而上升。 展开更多
关键词 p-gan/Algan/gan异质结 aln介质层 常关型器件 金属/绝缘体/半导体 栅极非覆盖区
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静压下GaN/AlN应变超晶格的晶格动力学研究 被引量:3
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作者 郭子政 阎祖威 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期269-273,共5页
利用弹性理论计算出静压下应变超晶格两种组分材料的纵向晶格常数的改变,并用来修正应变存在时的面间力常数.在此基础上研究了应变对GaN/AlN超晶格的L-声子的色散关系和振动模式的影响.结果表明,应变可以在一定程度上破坏GaN和AlN中L-... 利用弹性理论计算出静压下应变超晶格两种组分材料的纵向晶格常数的改变,并用来修正应变存在时的面间力常数.在此基础上研究了应变对GaN/AlN超晶格的L-声子的色散关系和振动模式的影响.结果表明,应变可以在一定程度上破坏GaN和AlN中L-声子的准限制模式.另外静压对L-声子的色散关系影响显著,而对原子的振动模式影响较小. 展开更多
关键词 晶格动力学 gan/A1N超晶格 静压 应变
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Influence of optical phonons on the electronic mobility in a strained wurtzite AlN/GaN heterojunction under hydrostatic pressure 被引量:1
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作者 周晓娟 班士良 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期4-9,共6页
A variational method combined with solving the force balance equation is adopted to investigate the influence of strain and hydrostatic pressure on electronic mobility in a strained wurtzite AlN/GaN heterojunction by ... A variational method combined with solving the force balance equation is adopted to investigate the influence of strain and hydrostatic pressure on electronic mobility in a strained wurtzite AlN/GaN heterojunction by considering the scattering of optical-phonons in a temperature ranges from 250 to 600 K. The effects of conduction band bending and an interface barrier are also considered in our calculation. The results show that electronic mobility decreases with increasing hydrostatic pressure when the electronic density varies from 1.0 × 1012 to 6.5 × 1012 cm-2. The strain at the heterojunction interface also reduces the electronic mobility, whereas the pressure influence becomes weaker when strain is taken into account. The effect of strain and pressure becomes more obvious as temperature increases. The mobility first increases and then decreases significantly, whereas the strain and hydrostatic pressure reduce this trend as the electronic density increases at a given temperature (300 K). The results also indicate that scattering from half space phonon modes in the channel side plays a dominant role in mobility. 展开更多
关键词 hydrostatic pressure strained aln/gan heterojunction electronic mobility optical-phonon scattering
原文传递
(GaN)_n/(AlN)_n应变层超晶格的电子结构 被引量:1
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作者 王新华 王玲玲 +2 位作者 王怀玉 邓辉球 黄维清 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1934-1938,共5页
以FreeStanding条件生长的超晶格原胞为计算模型,运用LCAORecursion方法研究了(GaN)n/(AlN)n(001)应变层超晶格的电子结构.由计算结果分析了GaN/AlN应变层超晶格中Ga,Al和N之间的成键情况及其带隙Eg随超晶格层数n的变化趋势;当超晶格中... 以FreeStanding条件生长的超晶格原胞为计算模型,运用LCAORecursion方法研究了(GaN)n/(AlN)n(001)应变层超晶格的电子结构.由计算结果分析了GaN/AlN应变层超晶格中Ga,Al和N之间的成键情况及其带隙Eg随超晶格层数n的变化趋势;当超晶格中存在空位时,带隙中将形成缺陷能级.最后分析了在超晶格中引入Mg掺杂后对超晶格电子结构的影响. 展开更多
关键词 Recursion方法 (gan)n/(aln)n 应变层超晶格 电子结构 缺陷能级
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低温AlN插入层的生长温度对AlGaN/GaN量子阱应力弛豫作用的影响 被引量:1
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作者 刘子超 章海霞 +3 位作者 甄慧慧 李明山 尚林 许并社 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1926-1932,共7页
利用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)及原子力显微镜(AFM)研究了低温AlN插入层的生长温度对AlGaN/GaN量子阱应力弛豫作用的影响。结果表明,低温AlN插入层不同的生长温度会导致AlGaN/GaN量子阱不同的表面粗糙度及穿透位错密度,并且当生长温度达... 利用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)及原子力显微镜(AFM)研究了低温AlN插入层的生长温度对AlGaN/GaN量子阱应力弛豫作用的影响。结果表明,低温AlN插入层不同的生长温度会导致AlGaN/GaN量子阱不同的表面粗糙度及穿透位错密度,并且当生长温度达到640℃时样品中表面粗糙度及穿透位错密度达到最低,同时具有最高的载流子迁移率及带边发光峰强度。在不同的生长温度,低温AlN表面具有不同的表面形貌。不同的表面形貌将直接影响界面处位错主滑移系的开动及位错阻挡机制。通过分析可以得知,低温AlN不同的表面形貌是由于Al原子在不同温度下的不同的迁移机制造成。 展开更多
关键词 aln插入层 生长温度 Algan/gan量子阱 应变弛豫
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X/g-C_(3)N_(4)(X=g-C_(3)N_(4)、AlN及GaN)异质结光催化活性的理论研究 被引量:2
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作者 刘晨曦 潘多桥 +5 位作者 庞国旺 史蕾倩 张丽丽 雷博程 赵旭才 黄以能 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第3期450-458,共9页
本文采用基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法,研究了单层g-C_(3)N_(4)以及X/g-C_(3)N_(4)(X=g-C_(3)N_(4)、AlN及GaN)异质结的稳定性、电子结构、功函数及光学性质。结果表明,X/g-C_(3)N_(4)异质结的晶格失配率和晶格失配... 本文采用基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法,研究了单层g-C_(3)N_(4)以及X/g-C_(3)N_(4)(X=g-C_(3)N_(4)、AlN及GaN)异质结的稳定性、电子结构、功函数及光学性质。结果表明,X/g-C_(3)N_(4)异质结的晶格失配率和晶格失配能极低,说明X/g-C_(3)N_(4)具有优异的稳定性。与单层g-C_(3)N_(4)相比,X/g-C_(3)N_(4)的带隙均减小,态密度的波峰和波谷均大幅提高且出现了红移现象,处于激发态的电子数量增加,使得电子跃迁变得更为容易,表明构建异质结有利于提高体系对可见光的响应能力。此外,X/g-C_(3)N_(4)的功函数均减小且在界面处形成了内建电场,有效抑制了光生电子-空穴对的复合,这对载流子的迁移以及光催化能力的提高大有裨益。其中,GaN/g-C_(3)N_(4)的功函数最小,在界面处存在电势差形成了内建电场且红移现象最明显,可推测GaN/g-C_(3)N_(4)的光催化性能最好。因此,本文提出的构建异质结是提高体系光催化活性的有效手段。 展开更多
关键词 异质结 第一性原理 电子结构 光学性质 光催化性能 gan/g-C_(3)N_(4)异质结 aln/g-C_(3)N_(4)异质结
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GaN/AlN半导体异质结带阶超原胞法计算
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作者 宋佳明 陈光德 +2 位作者 耶红刚 竹有章 伍叶龙 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3097-3099,共3页
为了对GaN/AlN异质结电子结构有更为深入的认识,采用超原胞模型,对其进行了基于密度泛函理论的第一性原理计算.结果发现GaN/AlN为突变同型异质结,价带顶带阶为0.62eV,与实验值很接近.通过使用常用的平均键能法、平均势法和芯态法三种近... 为了对GaN/AlN异质结电子结构有更为深入的认识,采用超原胞模型,对其进行了基于密度泛函理论的第一性原理计算.结果发现GaN/AlN为突变同型异质结,价带顶带阶为0.62eV,与实验值很接近.通过使用常用的平均键能法、平均势法和芯态法三种近似方法对GaN/AlN带阶的计算,比较得出,超原胞法虽然计算量较大,但能够给出异质结界面附近更为详细的信息,这一点其他三种近似方法无法得到,但他们也能够得出与实验值基本一致的带阶参量. 展开更多
关键词 第一性原理 gan/aln 超原胞法 异质结带阶
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SiC衬底AlN缓冲层的应变对GaN外延层质量的影响
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作者 王丽 房玉龙 +3 位作者 尹甲运 敦少博 刘波 冯志红 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期630-633,共4页
在3英寸(1英寸=2.54 cm)SiC衬底上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法生长GaN外延材料。研究了AlN缓冲层的应变状态对GaN外延层应变状态和质量的影响。使用原子力显微镜和高分辨率X射线双晶衍射仪观察样品表面形貌,表征外延材料质量... 在3英寸(1英寸=2.54 cm)SiC衬底上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法生长GaN外延材料。研究了AlN缓冲层的应变状态对GaN外延层应变状态和质量的影响。使用原子力显微镜和高分辨率X射线双晶衍射仪观察样品表面形貌,表征外延材料质量的变化,使用高分辨喇曼光谱仪观察外延材料应力的变化,提出了基于外延生长的应变变化模型。实验表明,GaN外延层的张应变随着AlN缓冲层应变状态的由压变张逐渐减小,随着GaN张应力的逐渐减小,GaN位错密度也大大减少,表面形貌也逐渐变好。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) gan外延层 aln缓冲层 失配 应变 应力
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在6H-SiC衬底上用低压MOVPE法生长AlN和GaN的过程中用(AlN/GaN)多层缓冲层来控制残余应力(英文)
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作者 Horie M Ishihara Y +1 位作者 Takano T Kawanishi H 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期5-9,共5页
人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件。GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料。 6H SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势 ,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近。然而 ,对于AlN外延... 人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件。GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料。 6H SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势 ,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近。然而 ,对于AlN外延层来说 ,需要控制其中的残余应力 ,因为在SiC衬底上直接生长的AlN外延层中存在着因晶格失配所产生的压缩应力。另一方面 ,在SiC衬底上直接生长的GaN外延层中存在着拉伸应力。这种拉伸应力起源于GaN比衬底有着更大的热膨胀系数。本文讨论了在 6H SiC衬底上生长的氮化物外延层中残余应力的类型、数量及控制。为此目的 ,提出了在 6H SiC衬底上 ,无论是生长AlN ,还是生长GaN ,都可以采用 (GaN/AlN)多层缓冲层的办法 ,作为控制残余应力的有效方法。我们还讨论了AlN和GaN外延层的结晶质量和残余应力间的关系。 展开更多
关键词 残余应力控制 alngan外延层 (aln/gan)多缓冲层 低压MOVPE
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Epitaxial Lift-Off of Flexible GaN‑Based HEMT Arrays with Performances Optimization by the Piezotronic Effect 被引量:1
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作者 Xin Chen Jianqi Dong +6 位作者 Chenguang He Longfei He Zhitao Chen Shuti Li Kang Zhang Xingfu Wang Zhong Lin Wang 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第4期221-233,共13页
High-electron-mobility transistors(HEMTs)are a promising device in the field of radio frequency and wireless communication.However,to unlock the full potential of HEMTs,the fabrication of large-size flexible HEMTs is ... High-electron-mobility transistors(HEMTs)are a promising device in the field of radio frequency and wireless communication.However,to unlock the full potential of HEMTs,the fabrication of large-size flexible HEMTs is required.Herein,a large-sized(>2 cm^(2))of AlGaN/AlN/GaN heterostructure-based HEMTs were successfully stripped from sapphire substrate to a flexible polyethylene terephthalate substrate by an electrochemical lift-off technique.The piezotronic effect was then induced to optimize the electron transport performance by modulating/tuning the physical properties of two-dimensional electron gas(2DEG)and phonons.The saturation current of the flexible HEMT is enhanced by 3.15%under the 0.547%tensile condition,and the thermal degradation of the HEMT was also obviously suppressed under compressive straining.The corresponding electrical performance changes and energy diagrams systematically illustrate the intrinsic mechanism.This work not only provides in-depth understanding of the piezotronic effect in tuning 2DEG and phonon properties in GaN HEMTs,but also demonstrates a low-cost method to optimize its electronic and thermal properties. 展开更多
关键词 Algan/aln/gan heterojunction Epitaxial lift-off Flexible membrane Two-dimensional electron gas Piezotronic effect
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AlN/InN和AlN/GaN超晶格能带结构研究
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作者 芦伟 徐明 +1 位作者 魏屹 何林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期693-702,共10页
利用Krnig-Penney模型和形变势理论,从理论上探讨了纤锌矿型AlN/InN和AlN/GaN超晶格系统的能带结构及不同应变模式对能带结构的影响,计算得到了能带结构随各亚层参量变化的一般性规律、超晶格的能量色散关系、应变造成的影响以及不同... 利用Krnig-Penney模型和形变势理论,从理论上探讨了纤锌矿型AlN/InN和AlN/GaN超晶格系统的能带结构及不同应变模式对能带结构的影响,计算得到了能带结构随各亚层参量变化的一般性规律、超晶格的能量色散关系、应变造成的影响以及不同亚层厚度的系统禁带宽度和导带第一子禁带宽度.研究发现,通过改变亚层厚度可以从不同形式设计能带结构,应变会改变系统禁带宽度,使带阶和子能带明显窄化,价带结构趋于复杂甚至生成准能带结构.与实验结果对比后发现,该模型适于模拟窄势阱结构超晶格,而对于宽势阱则必须考虑内建电场的作用. 展开更多
关键词 aln/InN和aln/gan超晶格 Krnig-Penney模型 应变 子能带
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Studies on the nucleation of MBE grown Ⅲ-nitride nanowires on Si
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作者 Yanxiong E Zhibiao Hao +7 位作者 Jiadong Yu Chao Wu Lai Wang Bing Xiong Jian Wang Yanjun Han Changzheng Sun Yi Luo 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第1期344-347,共4页
GaN and AlN nanowires(NWs) have attracted great interests for the fabrication of novel nano-sized devices. In this paper, the nucleation processes of GaN and AlN NWs grown on Si substrates by molecular beam epitaxy... GaN and AlN nanowires(NWs) have attracted great interests for the fabrication of novel nano-sized devices. In this paper, the nucleation processes of GaN and AlN NWs grown on Si substrates by molecular beam epitaxy(MBE)are investigated. It is found that GaN NWs nucleated on in-situ formed Si3N4 fully release the stress upon the interface between GaN NW and amorphous Si3N4 layer, while AlN NWs nucleated by aluminization process gradually release the stress during growth. Depending on the strain status as well as the migration ability of Ⅲ group adatoms, the different growth kinetics of GaN and AlN NWs result in different NW morphologies, i.e., GaN NWs with uniform radii and AlN NWs with tapered bases. 展开更多
关键词 gan nanowires aln nanowires strain NUCLEATION
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