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题名不同宽长比的柔性LTPS TFT的电应力可靠性
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作者
张之壤
朱慧
刘行
张轶群
徐朝
郑文轩
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机构
北京工业大学信息学部新型半导体器件与可靠性实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2024年第6期589-595,共7页
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基金
国家自然科学基金(62374012)。
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文摘
为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱,并对其产生的新陷阱进行定位,分析了产生陷阱的内在机理。结果表明,在相同的强电场直流应力下宽长比为3/2.5的器件,其电学参数变化最大,自热效应以及热载流子效应带来的影响也最大。自热效应导致器件性能退化的主要原因是较大的栅源电压导致Si/SiO2界面处和栅氧化层中的陷阱增多,而热载流子效应导致器件性能退化的主要原因则是由于较大的漏源电压使得漏极晶界陷阱态密度急剧升高。
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关键词
柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS
TFT)
自热效应
热载流子效应
瞬态电流
强电场直流应力
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Keywords
flexible low-temperature polysilicon thin film transistor(LTPS TFT)
self-heating effect
hot carrier effect
transient current
strong electric field DC stress
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分类号
TN321.5
[电子电信—物理电子学]
TN306
[电子电信—物理电子学]
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题名不同层显式格式及在微尺度热传导中的应用
被引量:1
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作者
唐晨
张桂敏
闫海青
李文润
张皞
刘铭
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机构
天津大学应用物理系
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出处
《计算物理》
CSCD
北大核心
2004年第4期335-340,共6页
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基金
国家自然科学基金(编号:19902002)
上海交通大学振动
+2 种基金
冲击
噪声国家重点实验室开放基金(编号:VSN 2003 03)
天津大学"985教育振兴计划"基金资助项目
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文摘
基于指数拟合和牛顿插值多项式构造了用于数值计算偏微分方程的不同层显式格式,应用不同层显式格式可获得不同精度的数值计算结果,并将该算法应用于微结构热传导方程和薄膜强瞬态热传导方程中.
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关键词
多层显式格式
指数拟合
微尺度热传导方程
薄膜强瞬态热传导方程
牛顿插值多项式
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Keywords
The various order explicit schemes
exponential fitting
heat transport equations at the microscale
strong transient heat transport in thin film
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分类号
O241
[理学—计算数学]
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