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一种新的高成品率InP基T型纳米栅制作方法 被引量:7
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作者 石华芬 张海英 +3 位作者 刘训春 陈宝钦 刘明 王云翔 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期411-415,共5页
提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10... 提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10 m S/ mm,夹断电压为 - 1.0~ - 1.2 V,器件的栅长分布均匀 .这种新的结构工艺步骤少 ,工艺宽容度大 ,重复性好 。 展开更多
关键词 InP 制作方法 三层胶复合结构 PHeMt 电子束曝光 t型纳米栅 磷化铟 电子迁移率晶体管
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凤尾兰营养器官解剖结构研究 被引量:4
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作者 徐小林 郑兴峰 金彪 《徐州师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第3期64-66,共3页
利用石蜡切片,在光学显微镜下,观察了凤尾兰根、茎、叶的形态结构.结果表明:凤尾兰的叶是等面叶,上下表皮细胞都有较厚的角质层以及加厚的外壁,分布着结构特殊的气孔,有较多纤维束和维管束,在个别叶肉组织细胞中分布有针晶簇;根内皮层... 利用石蜡切片,在光学显微镜下,观察了凤尾兰根、茎、叶的形态结构.结果表明:凤尾兰的叶是等面叶,上下表皮细胞都有较厚的角质层以及加厚的外壁,分布着结构特殊的气孔,有较多纤维束和维管束,在个别叶肉组织细胞中分布有针晶簇;根内皮层细胞五面强烈加厚,内皮层外侧为连续的石细胞带,中柱在整个横切面上占的比例较大;茎具有明显的次生结构.凤尾兰营养器官某些特征与抗旱性有关. 展开更多
关键词 凤尾兰 营养器官 结构
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