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一种新的高成品率InP基T型纳米栅制作方法
被引量:
7
1
作者
石华芬
张海英
+3 位作者
刘训春
陈宝钦
刘明
王云翔
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期411-415,共5页
提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10...
提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10 m S/ mm,夹断电压为 - 1.0~ - 1.2 V,器件的栅长分布均匀 .这种新的结构工艺步骤少 ,工艺宽容度大 ,重复性好 。
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关键词
InP
制作方法
三层胶复合结构
PH
e
M
t
电子束曝光
t
型纳米栅
磷化铟
电子迁移率晶体管
下载PDF
职称材料
凤尾兰营养器官解剖结构研究
被引量:
4
2
作者
徐小林
郑兴峰
金彪
《徐州师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2006年第3期64-66,共3页
利用石蜡切片,在光学显微镜下,观察了凤尾兰根、茎、叶的形态结构.结果表明:凤尾兰的叶是等面叶,上下表皮细胞都有较厚的角质层以及加厚的外壁,分布着结构特殊的气孔,有较多纤维束和维管束,在个别叶肉组织细胞中分布有针晶簇;根内皮层...
利用石蜡切片,在光学显微镜下,观察了凤尾兰根、茎、叶的形态结构.结果表明:凤尾兰的叶是等面叶,上下表皮细胞都有较厚的角质层以及加厚的外壁,分布着结构特殊的气孔,有较多纤维束和维管束,在个别叶肉组织细胞中分布有针晶簇;根内皮层细胞五面强烈加厚,内皮层外侧为连续的石细胞带,中柱在整个横切面上占的比例较大;茎具有明显的次生结构.凤尾兰营养器官某些特征与抗旱性有关.
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关键词
凤尾兰
营养器官
结构
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职称材料
题名
一种新的高成品率InP基T型纳米栅制作方法
被引量:
7
1
作者
石华芬
张海英
刘训春
陈宝钦
刘明
王云翔
机构
中国科学院微电子中心
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期411-415,共5页
基金
国家重点基础研究发展规划资助项目 (编号 :G2 0 0 0 0 683 0 40 4)~~
文摘
提出了一种新的 PMMA/ PMGI/ PMMA三层胶复合结构 ,通过一次对准和电子束曝光、多次显影在 In PPHEMT材料上制作出高成品率的 T型纳米栅 .在曝光显影条件变化 2 0 %的情况下 ,In P HEMT成品率达到 80 %以上 ;跨导变化范围在 5 90~ 6 10 m S/ mm,夹断电压为 - 1.0~ - 1.2 V,器件的栅长分布均匀 .这种新的结构工艺步骤少 ,工艺宽容度大 ,重复性好 。
关键词
InP
制作方法
三层胶复合结构
PH
e
M
t
电子束曝光
t
型纳米栅
磷化铟
电子迁移率晶体管
Keywords
PMMA/PMGI/PMMA
t
ri r
e
sis
t
structure
InP PH
e
M
t
e
b
e
am
e
xposur
e
t
shap
e
d nano ga
t
e
分类号
TN431 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
凤尾兰营养器官解剖结构研究
被引量:
4
2
作者
徐小林
郑兴峰
金彪
机构
徐州师范大学生命科学学院
出处
《徐州师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2006年第3期64-66,共3页
基金
徐州师范大学自然科学基金资助项目(05XLB14)
文摘
利用石蜡切片,在光学显微镜下,观察了凤尾兰根、茎、叶的形态结构.结果表明:凤尾兰的叶是等面叶,上下表皮细胞都有较厚的角质层以及加厚的外壁,分布着结构特殊的气孔,有较多纤维束和维管束,在个别叶肉组织细胞中分布有针晶簇;根内皮层细胞五面强烈加厚,内皮层外侧为连续的石细胞带,中柱在整个横切面上占的比例较大;茎具有明显的次生结构.凤尾兰营养器官某些特征与抗旱性有关.
关键词
凤尾兰
营养器官
结构
Keywords
Yucca gloriosa
v
e
g
e
t
a
t
iv
e
organ
structure e stem are obvious. t resistance.
分类号
Q944.5 [生物学—植物学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新的高成品率InP基T型纳米栅制作方法
石华芬
张海英
刘训春
陈宝钦
刘明
王云翔
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
7
下载PDF
职称材料
2
凤尾兰营养器官解剖结构研究
徐小林
郑兴峰
金彪
《徐州师范大学学报(自然科学版)》
CAS
2006
4
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职称材料
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