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IRMIRS:Inception-ResNet-Based Network for MRI Image Super-Resolution 被引量:1
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作者 Wazir Muhammad Zuhaibuddin Bhutto +3 位作者 Salman Masroor Murtaza Hussain Shaikh Jalal Shah Ayaz Hussain 《Computer Modeling in Engineering & Sciences》 SCIE EI 2023年第8期1121-1142,共22页
Medical image super-resolution is a fundamental challenge due to absorption and scattering in tissues.These challenges are increasing the interest in the quality of medical images.Recent research has proven that the r... Medical image super-resolution is a fundamental challenge due to absorption and scattering in tissues.These challenges are increasing the interest in the quality of medical images.Recent research has proven that the rapid progress in convolutional neural networks(CNNs)has achieved superior performance in the area of medical image super-resolution.However,the traditional CNN approaches use interpolation techniques as a preprocessing stage to enlarge low-resolution magnetic resonance(MR)images,adding extra noise in the models and more memory consumption.Furthermore,conventional deep CNN approaches used layers in series-wise connection to create the deeper mode,because this later end layer cannot receive complete information and work as a dead layer.In this paper,we propose Inception-ResNet-based Network for MRI Image Super-Resolution known as IRMRIS.In our proposed approach,a bicubic interpolation is replaced with a deconvolution layer to learn the upsampling filters.Furthermore,a residual skip connection with the Inception block is used to reconstruct a high-resolution output image from a low-quality input image.Quantitative and qualitative evaluations of the proposed method are supported through extensive experiments in reconstructing sharper and clean texture details as compared to the state-of-the-art methods. 展开更多
关键词 super-resolution magnetic resonance imaging ResNet block inception block convolutional neural network deconvolution layer
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Numerical Analysis and Comparison of Three Metal-Oxide-Type Super-Resolution Near Field Structures 被引量:2
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作者 瞿青玲 王阳 干福熹 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第12期3363-3365,共3页
Based on the Fresnel-Kirchhoff diffraction theory, we build up a Gaussian diffraction model of metal-oxide-type super-resolution near field structure (super-liENS), which can describe far field optical properties. T... Based on the Fresnel-Kirchhoff diffraction theory, we build up a Gaussian diffraction model of metal-oxide-type super-resolution near field structure (super-liENS), which can describe far field optical properties. The spectral contrast induced by refractive index and the structural changes in AgOg, PtOx and PdOz thin films, which are the key functional layers in super-RENS, are studied by using this model. Comparison results indicate that the spectral contrast depends intensively on the laser-induced distribution and change of the refractive index in the metal-oxide films. The readout mechanism of the metal-oxide-type super-RENS optical disc is further clarified. This Gaussian diffraction model can be used as a simple and effective method for choosing proper active materials in super-RENS. 展开更多
关键词 OPTICAL-PROPERTIES DATA-STORAGE mask layer FILMS
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Photoshop中的图层蒙版(Layermask)
3
作者 韩翠英 张丽莉 《安阳大学学报(综合版)》 2003年第1期62-64,共3页
图层蒙版(Layer mask)是Photoshop中一个最重要、应用性最强的概念。本文从图层蒙版的概念,对蒙版的编辑和修改,以及蒙版的建立和关闭等做了详细系统的阐述。
关键词 蒙版 图层 关闭 系统 修改 编辑 应用性 概念
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Optical Recording Properties of Metal-Azo Dye as Recording Medium with Super-Resolution Near-Field Structure
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作者 陈文忠 吴谊群 +1 位作者 王阳 干福熹 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第1期151-153,共3页
A novel metallized azo dye has been synthesized. The absorption spectra of the thin film and thermal characteristic are measured. Static optical recording properties with and without the Bi mask layer super-resolution... A novel metallized azo dye has been synthesized. The absorption spectra of the thin film and thermal characteristic are measured. Static optical recording properties with and without the Bi mask layer super-resolution near-field structure (Super-RENS) of the metal-azo dye are investigated. The results show that the metal-azo dye film has a broad absorbance band in the region of 450-650 nm and the maximum absorbance wavelength is located at 603 nm. It is also found that the new metallized azo dye occupies excellent thermal stability, initiatory decomposition temperature is at 270℃ and the mass loss is about 48% in a narrow temperature region (15℃). The complex refractive index N (N = n + iκ) is measured. High refractive index (n = 2.45) and low extinction coefficient (κ = 0.2) at the recording wavelength 65Ohm are attained. Static optical recording tests with and without Super-RENS are carried out using a 65Ohm semiconductor diode laser with recording power of 7mW and laser pulse duration of 200ns. The AFM images show that the diameter of recording mark on the dye film with the Bi mask layer is reduced about 42%, compared to that of recorded mark on the dye film without Super-RENS. It is indicated that Bi can well performed as a mask layer of the dye recording layer and the metallized azo dye can be a promising candidate for recording media with the super-resolution near-field structure. 展开更多
关键词 mask layer DISC
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基于泊松图像融合的自监督缺陷检测方法
5
作者 陈腾飞 戴元杰 +2 位作者 廖杜杰 朱志鹏 吴健辉 《湖南理工学院学报(自然科学版)》 CAS 2024年第1期27-33,共7页
提出一种基于泊松图像融合的自监督缺陷检测方法,采用泊松图像融合对无标注的正常样本进行数据增强,生成多样化的、更贴近实际的模拟缺陷样本,解决缺陷样本数量少且不易标注的问题.结合缺陷样本的特征提出一种CANet网络,引入卷积注意力... 提出一种基于泊松图像融合的自监督缺陷检测方法,采用泊松图像融合对无标注的正常样本进行数据增强,生成多样化的、更贴近实际的模拟缺陷样本,解决缺陷样本数量少且不易标注的问题.结合缺陷样本的特征提出一种CANet网络,引入卷积注意力模块对编码器—解码器结构进行优化,防止采样过程中的信息丢失,并在网络末端添加掩码卷积层以提高输入数据的重建精度.在MV Tec数据集上进行实验,总体检测AUROC达到96.1%;通过与三种典型检测方法的比较,证明所提方法的有效性且具备较好的泛化性,能满足工业生产中不同种类产品的表面缺陷检测要求. 展开更多
关键词 泊松图像融合 自监督学习 注意力机制 掩码卷积层
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基于Protel的Solder Masks与Paste Masks辨析
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作者 杨明 《淮海工学院学报(自然科学版)》 CAS 2010年第1期28-30,共3页
在不同的Protel 99 SE教材中,对于Solder Masks和Paste Masks的理解存在两种截然相反的意见,而且大多数教材对于Masks层没有给出详尽的解释,这些弊端都给初学者带来较大的困惑。通过对印制电路板掩膜层制造工艺的详细描述、单层显示演... 在不同的Protel 99 SE教材中,对于Solder Masks和Paste Masks的理解存在两种截然相反的意见,而且大多数教材对于Masks层没有给出详尽的解释,这些弊端都给初学者带来较大的困惑。通过对印制电路板掩膜层制造工艺的详细描述、单层显示演示以及Protel 99 SE帮助文件的诠注全面而充分地论证了Solder Masks和Paste Masks的实质含意。认为两者的实质是"阻焊膜与防锡膏膜",没有"互补关系"。 展开更多
关键词 PROTEL 99 SE 印制电路板设计 掩膜层 阻焊膜与防锡膏膜
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分层涂布冷冻干燥工艺改善面膜中的咖啡因经皮透过
7
作者 李和伟 魏国志 许飞飞 《香料香精化妆品》 CAS 2024年第2期77-82,共6页
为了改善面膜中咖啡因的经皮透过率,采用Hunter和星点设计-响应面法优化分层涂布冷冻干燥的关键工艺参数,并应用预测刻画器和设计空间确定工艺参数的可接受范围和最优值。确定涂布方式和涂布层数对咖啡因经皮透过有显著影响,涂布方式选... 为了改善面膜中咖啡因的经皮透过率,采用Hunter和星点设计-响应面法优化分层涂布冷冻干燥的关键工艺参数,并应用预测刻画器和设计空间确定工艺参数的可接受范围和最优值。确定涂布方式和涂布层数对咖啡因经皮透过有显著影响,涂布方式选择先涂布辅料基质,再涂布活性成分咖啡因。涂布层数、层厚和涂布速度的可接受范围:2~4层,0.5~1.2 mm和1~5 m/min,而3个参数的最优值分别为3层、0.5 mm和3 m/min。优化工艺后制备的3批面膜中咖啡因20 min透过率均超过10%。因此,优化后的分层涂布冷冻干燥工艺可大幅度提高面膜中咖啡因的经皮透过率。 展开更多
关键词 分层涂布冷冻干燥 咖啡因 面膜 经皮渗透 星点设计-响应面法
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Science Letters:Mask synthesis and verification based on geometric model for surface micro-machined MEMS 被引量:1
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作者 李建华 刘玉生 高曙明 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第9期1007-1010,共4页
Traditional MEMS (microelectromechanical system) design methodology is not a structured method and has become an obstacle for MEMS creative design. In this paper, a novel method of mask synthesis and verification fo... Traditional MEMS (microelectromechanical system) design methodology is not a structured method and has become an obstacle for MEMS creative design. In this paper, a novel method of mask synthesis and verification for surface micro-machined MEMS is proposed, which is based on the geometric model of a MEMS device. The emphasis is focused on synthesizing the masks at the basis of the layer model generated from the geometric model of the MEMS device. The method is comprised of several steps: the correction of the layer model, the generation of initial masks and final masks including multi-layer etch masks, and mask simulation. Finally some test resuhs are given. 展开更多
关键词 MEMS CAD Geometric model layer model mask synthesis Surface micromachining
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Fabrication of seeded substrates for layer transferrable silicon films
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作者 Ji-Zhou Li Wei Zhang +1 位作者 Jing-Yuan Yan Cong Wang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第8期450-454,共5页
The layer transfer process is one of the most promising methods for low-cost and highly-efficient solar cells, in which transferrable mono-crystalline silicon thin wafers or films can be produced directly from gaseous... The layer transfer process is one of the most promising methods for low-cost and highly-efficient solar cells, in which transferrable mono-crystalline silicon thin wafers or films can be produced directly from gaseous feed-stocks. In this work, we show an approach to preparing seeded substrates for layer-transferrable silicon films. The commercial silicon wafers are used as mother substrates, on which periodically patterned silicon rod arrays are fabricated, and all of the surfaces of the wafers and rods are sheathed by thermal silicon oxide. Thermal evaporated aluminum film is used to fill the gaps between the rods and as the stiff mask, while polymethyl methacrylate (PMMA) and photoresist are used as the soft mask to seal the gap between the filled aluminum and the rods. Under the joint resist of the stiff and soft masks, the oxide on the rod head is selectively removed by wet etching and the seed site is formed on the rod head. The seeded substrate is obtained after the removal of the masks. This joint mask technique will promote the endeavor of the exploration of mechanically stable, unlimitedly reusable substrates for the kerfless technology. 展开更多
关键词 seeded substrate layer transfer joint mask FILLER silicon film
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基于神经架构搜索的非结构化剪枝方法 被引量:1
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作者 王宪保 刘鹏飞 +1 位作者 项圣 王辛刚 《模式识别与人工智能》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期448-458,共11页
由于难以使用客观标准删除深度神经网络中的冗余单元,剪枝后的网络表现出性能的急剧退步.针对此问题,文中提出基于神经架构搜索的非结构化剪枝方法.首先,将掩码学习模块定义在搜索空间中,以便删除冗余的权重参数.然后,引入层级相关系数... 由于难以使用客观标准删除深度神经网络中的冗余单元,剪枝后的网络表现出性能的急剧退步.针对此问题,文中提出基于神经架构搜索的非结构化剪枝方法.首先,将掩码学习模块定义在搜索空间中,以便删除冗余的权重参数.然后,引入层级相关系数传播,在反向传播过程中为每个网络权重分配一个层级相关系数,以此衡量每个权重对网络输出的贡献度,并帮助二值掩码参数的更新.最后,对网络权重、架构参数和层级相关系数进行统一更新.在CIFAR-10、ImageNet分类数据集上的实验表明,文中方法能够在高剪枝率场景下保持网络的泛化能力,满足模型部署的要求. 展开更多
关键词 网络剪枝 神经架构搜索(NAS) 搜索空间 层级相关系数传播 掩码参数
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Space-time video super-resolution using long-term temporal feature aggregation
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作者 Kuanhao Chen Zijie Yue Miaojing Shi 《Autonomous Intelligent Systems》 EI 2023年第1期75-83,共9页
Space-time video super-resolution(STVSR)serves the purpose to reconstruct high-resolution high-frame-rate videos from their low-resolution low-frame-rate counterparts.Recent approaches utilize end-to-end deep learning... Space-time video super-resolution(STVSR)serves the purpose to reconstruct high-resolution high-frame-rate videos from their low-resolution low-frame-rate counterparts.Recent approaches utilize end-to-end deep learning models to achieve STVSR.They first interpolate intermediate frame features between given frames,then perform local and global refinement among the feature sequence,and finally increase the spatial resolutions of these features.However,in the most important feature interpolation phase,they only capture spatial-temporal information from the most adjacent frame features,ignoring modelling long-term spatial-temporal correlations between multiple neighbouring frames to restore variable-speed object movements and maintain long-term motion continuity.In this paper,we propose a novel long-term temporal feature aggregation network(LTFA-Net)for STVSR.Specifically,we design a long-term mixture of experts(LTMoE)module for feature interpolation.LTMoE contains multiple experts to extract mutual and complementary spatial-temporal information from multiple consecutive adjacent frame features,which are then combined with different weights to obtain interpolation results using several gating nets.Next,we perform local and global feature refinement using the Locally-temporal Feature Comparison(LFC)module and bidirectional deformable ConvLSTM layer,respectively.Experimental results on two standard benchmarks,Adobe240 and GoPro,indicate the effectiveness and superiority of our approach over state of the art. 展开更多
关键词 Space-time video super-resolution Mixture of experts Deformable convolutional layer Long-term temporal feature aggregation
原文传递
基于多层注意力机制的口罩佩戴检测算法改进
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作者 周蕾 陈冠宇 钟海莲 《电子器件》 CAS 北大核心 2023年第6期1652-1660,共9页
针对已有的对于口罩的目标检测算法中存在的问题,如对小目标检测精度低,复杂场景下出现漏检等问题,提出了一种基于多层注意力机制的口罩佩戴检测算法YOLOX-l-sd。通过在骨干网络中添加Swin Transformer的特征层来提升目标检测算法的性能... 针对已有的对于口罩的目标检测算法中存在的问题,如对小目标检测精度低,复杂场景下出现漏检等问题,提出了一种基于多层注意力机制的口罩佩戴检测算法YOLOX-l-sd。通过在骨干网络中添加Swin Transformer的特征层来提升目标检测算法的性能,加入多层注意力机制提高特征提取效果以及减少计算量,采用DIOU损失函数提升模型的精度,采用DW卷积以进一步减少计算量。实验结果表明,相比原YOLOX-l模型,改进后的模型在精度上提高了2.45%,达到了预期的效果。 展开更多
关键词 YOLOX Swin Transformer 口罩检测 多层注意力机制
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薄层罩面技术及其在沥青路面中的应用
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作者 刘子文 《科学技术创新》 2023年第21期145-148,共4页
薄层罩面是一种在原有路面上新铺设一层薄沥青混凝土的技术,主要用于路面修复补强等,和其他路面修复技术相比,该技术在抗滑能力、防水性能、造价等方面具有明显的优势。施工完成后,可显著地提高路面使用舒适度,且施工速度快,对社会交通... 薄层罩面是一种在原有路面上新铺设一层薄沥青混凝土的技术,主要用于路面修复补强等,和其他路面修复技术相比,该技术在抗滑能力、防水性能、造价等方面具有明显的优势。施工完成后,可显著地提高路面使用舒适度,且施工速度快,对社会交通影响较小,能适应各等级国省干线公路预防性养护的要求,有效降低了养护成本,具有显著的社会和经济效益。 展开更多
关键词 薄层罩面 油石比 最佳沥青用量 压实度
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OFD/A在电子文件归档中的应用研究
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作者 冯辉 《信息技术与标准化》 2023年第6期16-19,共4页
从电子档案规范化处理角度分析GB/T 42133—2022《信息技术OFD档案应用指南》如何在电子档案管理中应用,并从双层OFD、自定义标引、防扩散、著录等方面分析了OFD/A在电子档案快速分类、精准捕获、智能分析、信息保护、扩散控制中的扩展... 从电子档案规范化处理角度分析GB/T 42133—2022《信息技术OFD档案应用指南》如何在电子档案管理中应用,并从双层OFD、自定义标引、防扩散、著录等方面分析了OFD/A在电子档案快速分类、精准捕获、智能分析、信息保护、扩散控制中的扩展应用,最后从档案保护、信息共享、技术创新、档案质量、工作效率、环境保护等多个方面阐述了OFD/A推广应用的社会价值。 展开更多
关键词 OFD/A 规范化处理 双层OFD 自定义标引 防扩散 信息遮盖 水印 档案著录
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不同窑口古瓷断面能量色散X射线荧光光谱线扫描分析 被引量:8
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作者 朱铁权 王昌燧 +3 位作者 毛振伟 袁传勋 徐靖 姚政权 《岩矿测试》 CAS CSCD 2007年第5期381-384,共4页
利用能量色散X射线线扫描分析技术,同时借助体视显微镜、偏光显微镜等分析手段,对我国古代邢窑、巩窑和宜阳窑三个窑口具有典型化妆土、中间层、析晶层的5块瓷器样品进行了分析测试,结果表明,化妆土、中间层、析晶层的显微形貌、化学元... 利用能量色散X射线线扫描分析技术,同时借助体视显微镜、偏光显微镜等分析手段,对我国古代邢窑、巩窑和宜阳窑三个窑口具有典型化妆土、中间层、析晶层的5块瓷器样品进行了分析测试,结果表明,化妆土、中间层、析晶层的显微形貌、化学元素组成及其分布模式,都具有各自的特征,此结果可为三者之间的区分及其形成机理的研究提供一定的依据。 展开更多
关键词 化妆土 中间层 析晶层 线扫描
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耀州窑青瓷的能量色散X射线荧光光谱分析 被引量:6
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作者 凌雪 贾麦明 +2 位作者 魏女 姚政权 孙丽娟 《西北大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期57-62,共6页
目的研究耀州窑唐代、五代、北宋和金代青瓷的胎、釉以及胎釉之间白色的化妆土和中间层的化学组成。方法采用具有微区分析功能的能量色散X射线荧光光谱仪。结果从唐代至金代的青瓷胎中主量元素和微量元素基本上没有发生大的变化,但釉中... 目的研究耀州窑唐代、五代、北宋和金代青瓷的胎、釉以及胎釉之间白色的化妆土和中间层的化学组成。方法采用具有微区分析功能的能量色散X射线荧光光谱仪。结果从唐代至金代的青瓷胎中主量元素和微量元素基本上没有发生大的变化,但釉中的主要组成Al_2O_3和SiO_2的含量从唐代开始逐渐升高,到宋代最大,然后又下降,而助熔剂的含量恰好相反;化妆土和中间层在化学组成上存在一定的差异。结论从唐代到金代,耀州窑青瓷胎的化学组成没有大的变化,而釉中助熔剂的含量有一定的波动;中间层中的Fe_2O_3,Cao,K_2O等化学成分不同于化妆土;能量色散X射线荧光光谱分析方法为文物研究提供了一个很好的方法。 展开更多
关键词 耀州窑 青瓷 化妆土 中间层 EDXRF
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新型水刺美容面膜基布 被引量:26
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作者 彭富兵 焦晓宁 莎仁 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期51-53,共3页
介绍一种新型水刺面膜基布,它由聚丙烯纺粘非织造布与粘胶纤维网复合水刺而成,并将其与粘胶、涤纶混合水刺面膜基布进行对比。结果表明:新型面膜基布形成了双层纤维结构,营养液大部分覆盖在粘胶纤维层,与人体的皮肤紧密接触,可以使美容... 介绍一种新型水刺面膜基布,它由聚丙烯纺粘非织造布与粘胶纤维网复合水刺而成,并将其与粘胶、涤纶混合水刺面膜基布进行对比。结果表明:新型面膜基布形成了双层纤维结构,营养液大部分覆盖在粘胶纤维层,与人体的皮肤紧密接触,可以使美容液得到充分利用,触感良好,使用舒适;由于采用复合水刺工艺,使短纤维与长丝相互缠结,从而实现2种不同的成网方式优势互补,产品尺寸稳定性好,水刺加固工艺使得产品不含其他化学成分,且其透气性优良,成本较低。 展开更多
关键词 面膜基布 粘胶纤维 聚丙烯纺粘布 水刺 双层结构
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耀州窑青瓷白色中间层和化妆土的EDXRF光谱分析 被引量:7
18
作者 凌雪 姚政权 +1 位作者 魏女 贾麦明 《文物保护与考古科学》 2008年第1期12-17,I0001,共7页
为探讨我国北方著名窑场之一的耀州窑唐、五代时期青瓷胎釉化妆土与北宋时期之间白色中间层的区别,利用具有电子探针微区分析功能的能量色散X射线光谱仪测试。结果表明,北宋时期青瓷的中间层和唐、五代的化妆土在化学组成上存在着一些... 为探讨我国北方著名窑场之一的耀州窑唐、五代时期青瓷胎釉化妆土与北宋时期之间白色中间层的区别,利用具有电子探针微区分析功能的能量色散X射线光谱仪测试。结果表明,北宋时期青瓷的中间层和唐、五代的化妆土在化学组成上存在着一些差异。白色中间层中不仅铁的含量比胎釉都低,CaO和K_2O的含量则高于胎,而靠近釉;而化妆土的化学组成除了Fe_2O_3含量较低外,其它化学组成十分接近瓷胎;中间层和化妆土相比,Fe_2O_3的含量更低一些。 展开更多
关键词 耀州窑 化妆土 中间层 EDXRF
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基于Si_3N_4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺研究 被引量:5
19
作者 王强 张竹青 +3 位作者 沈明荣 花国然 张华 李志锋 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期259-263,共5页
设计了基于Si3N4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺,并对其工艺参数进行了仿真优化。选择性掺杂电池的一次掺杂条件为仿真所得最佳非选择性掺杂电池的工艺参数。运用SILVACO软件分别对选择性掺杂的时间、预淀积浓度和温度进行了仿真研究。... 设计了基于Si3N4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺,并对其工艺参数进行了仿真优化。选择性掺杂电池的一次掺杂条件为仿真所得最佳非选择性掺杂电池的工艺参数。运用SILVACO软件分别对选择性掺杂的时间、预淀积浓度和温度进行了仿真研究。仿真结果表明,随着选择性掺杂的预淀积浓度的增加,光谱响应率先增加后降低;随着扩散温度和扩散时间的增加,电池的光谱响应率逐渐减小。所得最佳选择性掺杂工艺参数为预淀积磷硅玻璃杂质浓度1×1019 cm-3、扩散温度800℃、扩散时间5min。 展开更多
关键词 选择性掺杂 太阳电池 光谱响应 工艺仿真 Si3N4掩模
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聚合物阵列波导光栅的制作技术 被引量:2
20
作者 张国伟 鄂书林 +3 位作者 邓文渊 许英朝 唐晓辉 张大明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期413-416,共4页
研究了聚合物阵列波导光栅AWG制作的几个关键技术。首先,为了克服反应离子刻蚀过程中单独使用光刻胶作掩膜而导致的光波导形状和尺寸偏离设计的缺点,采用了光刻胶与金属掩膜相结合的双掩膜技术进行器件制作。详细介绍了双掩膜技术制备... 研究了聚合物阵列波导光栅AWG制作的几个关键技术。首先,为了克服反应离子刻蚀过程中单独使用光刻胶作掩膜而导致的光波导形状和尺寸偏离设计的缺点,采用了光刻胶与金属掩膜相结合的双掩膜技术进行器件制作。详细介绍了双掩膜技术制备聚合物AWG的过程,并得出铝膜作为掩膜的最佳厚度为100nm左右。测试给出了使用和没有使用双掩膜的对比结果,该结果表明使用双掩膜技术制作的波导质量明显好于单独使用光刻胶作掩膜制作的结果。其次,采用蒸气回溶技术来减小反应离子刻蚀产生的波导表面和侧壁的起伏,从而降低了波导的散射损耗。结果表明,蒸气回溶技术使所制作的波导表面的均方根粗糙度从41.307 nm降低到24.564 nm。 展开更多
关键词 聚合物阵列波导光栅 双掩膜 蒸气回溶
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