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微小激光加工区辐射测温准确性的提高
被引量:
1
1
作者
赵爱英
叶玉堂
+4 位作者
吴云峰
王昱琳
张雪琴
范超
焦世龙
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期6-9,共4页
利用辐射测温系统进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响,使得实验测得的温度分布远远低于实际值,为了提高温度测量的准确性,提出了一种估计真实温度分布的新方法。这种方法主要包括:将原有探测器更改为带单模...
利用辐射测温系统进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响,使得实验测得的温度分布远远低于实际值,为了提高温度测量的准确性,提出了一种估计真实温度分布的新方法。这种方法主要包括:将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器、减小光接收面面积、将原有的透镜更改为红外消像差透镜,最后利用图像复原技术中的—Lucy-Richardson算法求出最佳真实温度分布估计。其中前4个步骤有效的提高了测温分布细节,实验测得微小面元温度分布半宽值仅21μm,远远小于之前测得的半宽值;Lucy-Richardson算法则将温度分布中被点扩展函数卷积掉的高温部分复原回来,实验测得微小面元温度分布在复原后温度最高值高出复原前最高值近100℃。实验证明这种方法有效的提高了测温准确性。
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关键词
辐射测温
温度分布
单模尾纤式探测器
Lucy-Richardson算法
激光微加工
下载PDF
职称材料
微小激光加工区温度测量的准确性研究
2
作者
赵爱英
叶玉堂
+4 位作者
吴云峰
王昱琳
张雪琴
范超
焦世龙
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期531-534,共4页
利用辐射测温系统对半导体微细加工高温区进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响。理论分析表明,对于像差校正系统,杂散光及探测器光敏面面积是影响测温系统温度测量准确性的主要因素,因此将原有探测器更改为带...
利用辐射测温系统对半导体微细加工高温区进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响。理论分析表明,对于像差校正系统,杂散光及探测器光敏面面积是影响测温系统温度测量准确性的主要因素,因此将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器以限制杂散光并减小光接收面面积。实验证明这种方法是有效的,基本满足微小面元温度测量的要求。
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关键词
辐射测温
温度测量
单模尾纤式探测器
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职称材料
题名
微小激光加工区辐射测温准确性的提高
被引量:
1
1
作者
赵爱英
叶玉堂
吴云峰
王昱琳
张雪琴
范超
焦世龙
机构
电子科技大学光电信息学院
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期6-9,共4页
基金
国家自然科学基金(60277008)
教育部重点科技项目(03147)
+1 种基金
四川省科技厅资助课题(04GG021-020-01)
国防科技重点实验室基金项目(51491050105DZ0201)
文摘
利用辐射测温系统进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响,使得实验测得的温度分布远远低于实际值,为了提高温度测量的准确性,提出了一种估计真实温度分布的新方法。这种方法主要包括:将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器、减小光接收面面积、将原有的透镜更改为红外消像差透镜,最后利用图像复原技术中的—Lucy-Richardson算法求出最佳真实温度分布估计。其中前4个步骤有效的提高了测温分布细节,实验测得微小面元温度分布半宽值仅21μm,远远小于之前测得的半宽值;Lucy-Richardson算法则将温度分布中被点扩展函数卷积掉的高温部分复原回来,实验测得微小面元温度分布在复原后温度最高值高出复原前最高值近100℃。实验证明这种方法有效的提高了测温准确性。
关键词
辐射测温
温度分布
单模尾纤式探测器
Lucy-Richardson算法
激光微加工
Keywords
Radiometric
temperature
measurement
temperature
distribution
SM fiber
pigtailed
detector
Lucy-Richardson algorithm
Laser micro-processing
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
微小激光加工区温度测量的准确性研究
2
作者
赵爱英
叶玉堂
吴云峰
王昱琳
张雪琴
范超
焦世龙
机构
电子科技大学光电信息学院
出处
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期531-534,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60277008)
教育部重点科技项目(03147)
四川省科技厅资助课题(04GG021-020-01)
文摘
利用辐射测温系统对半导体微细加工高温区进行温度测量时,所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响。理论分析表明,对于像差校正系统,杂散光及探测器光敏面面积是影响测温系统温度测量准确性的主要因素,因此将原有探测器更改为带单模尾纤式探测器以限制杂散光并减小光接收面面积。实验证明这种方法是有效的,基本满足微小面元温度测量的要求。
关键词
辐射测温
温度测量
单模尾纤式探测器
Keywords
radiometric
temperature
measurement
temperature measurements single modefiber pigtailed detector
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微小激光加工区辐射测温准确性的提高
赵爱英
叶玉堂
吴云峰
王昱琳
张雪琴
范超
焦世龙
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
2
微小激光加工区温度测量的准确性研究
赵爱英
叶玉堂
吴云峰
王昱琳
张雪琴
范超
焦世龙
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
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职称材料
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