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A Theoretical Study on Van Der Pauw Measurement Values of Inhomogeneous Compound Semiconductor Thin Films 被引量:1
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作者 Toru Matsumura Yuichi Sato 《Journal of Modern Physics》 2010年第5期340-347,共8页
The influence of intermixing heterogeneous regions that have different electrical properties from the base materials on van der Pauw measurement values was theoretically studied by computer simulation using the finite... The influence of intermixing heterogeneous regions that have different electrical properties from the base materials on van der Pauw measurement values was theoretically studied by computer simulation using the finite-element method. The measurement samples selected were thin films of inhomogeneous semiconductors. Calculated electrical properties, such as resistivity, carrier density, and mobility of the thin films, varied in predictable ways when heterogeneous regions were dispersed in wide ranges over the samples. On the other hand, the mobility of the thin films showed a different change when heterogeneous regions were locally concentrated in the measurement samples. 展开更多
关键词 SEMICONDUCTOR hall Effect van der pauw method INHOMOGENEOUS SEMICONDUCTOR
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Simple Proofs of Upper and Lower Envelopes of Van Der Pauw’s Equation for Hall-Plates with an Insulated Hole and Four Peripheral Point-Contacts
2
作者 Udo Ausserlechner 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2022年第3期960-999,共40页
For plane singly-connected domains with insulating boundary and four point-sized contacts, C<sub>0</sub> &#8230;C<sub>3</sub>, van der Pauw derived a famous equation relating the two trans-... For plane singly-connected domains with insulating boundary and four point-sized contacts, C<sub>0</sub> &#8230;C<sub>3</sub>, van der Pauw derived a famous equation relating the two trans-resistances R<sub>01,23</sub>, R<sub>12,30</sub> with the sheet resistance without any other parameters. If the domain has one hole van der Pauw’s equation becomes an inequality with upper and lower bounds, the envelopes. This was conjectured by Szymański et al. in 2013, and only recently it was proven by Miyoshi et al. with elaborate mathematical tools. The present article gives new proofs closer to physical intuition and partly with simpler mathematics. It relies heavily on conformal transformation and it expresses for the first time the trans-resistances and the lower envelope in terms of Jacobi functions, elliptic integrals, and the modular lambda elliptic function. New simple formulae for the asymptotic limit of a very large hole are also given. 展开更多
关键词 Conformal Mapping Contraction Process Doubly Connected Domains ENVELOPES hall Plate Large Hole Angle Sheet Resistance Small Hole Angle van der pauw
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Direct measurements of conductivity and mobility in millimeter-sized single-crystalline graphene via van der Pauw geometry 被引量:2
3
作者 马瑞松 郇庆 +6 位作者 吴良妹 严佳浩 张余洋 鲍丽宏 刘云圻 杜世萱 高鸿钧 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第6期307-314,共8页
We report the direct measurements of conductivity and mobility in millimeter-sized single-crystalline graphene on SiO2/Si via van der Pauw geometry by using a home-designed four-probe scanning tunneling microscope(4P... We report the direct measurements of conductivity and mobility in millimeter-sized single-crystalline graphene on SiO2/Si via van der Pauw geometry by using a home-designed four-probe scanning tunneling microscope(4P-STM). The gate-tunable conductivity and mobility are extracted from standard van der Pauw resistance measurements where the four STM probes contact the four peripheries of hexagonal graphene flakes, respectively. The high homogeneity of transport properties of the single-crystalline graphene flake is confirmed by comparing the extracted conductivities and mobilities from three setups with different geometry factors. Our studies provide a reliable solution for directly evaluating the entire electrical properties of graphene in a non-invasive way and could be extended to characterizing other two-dimensional materials. 展开更多
关键词 graphene conductivity MOBILITY four-probe measurement van der pauw method
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A general and simple method for evaluating the electrical transport performance of graphene by the van der Pauw–Hall measurement 被引量:3
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作者 Fangzhu Qing Yang Shu +9 位作者 Linsen Qing Yuting Niu He Guo Shuyi Zhang Chunlin Liu Changqing Shen Wanli Zhang Samuel S.Mao Wenjuan Zhu Xuesong Li 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第22期1521-1526,共6页
Expected for many promising applications in the field of electronics and optoelectronics, a reliable method for the characterization of graphene electrical transport properties is desired to predict its device perform... Expected for many promising applications in the field of electronics and optoelectronics, a reliable method for the characterization of graphene electrical transport properties is desired to predict its device performance or provide feedback for its synthesis.However, the commonly used methods of extracting carrier mobility from graphene field effect transistor or Hall-bar is time consuming, expensive, and significantly affected by the device fabrication process other than graphene itself.Here we reported a general and simple method to evaluate the electrical transport performance of graphene by the van der Pauw–Hall measurement.By annealing graphene in vacuum to remove the adsorbed dopants and then exposing it in ambient surroundings, carrier mobility as a function of density can be measured with the increase of carrier density due to the dopant re-adsorption from the surroundings.Further, the relationship between the carrier mobility and density can be simply fitted with a power equation to the first level approximation, with which any pair of measured carrier mobility and density can be normalized to an arbitrary carrier density for comparison.We experimentally demonstrated the reliability of the method, which is much simpler than making devices and may promote the standard making for graphene characterization. 展开更多
关键词 GRAPHENE van der pauw hall Chemical vapor DEPOSITION (CVD)
原文传递
Resistance Matrix for an Anisotropic Hall Plate with Multiple Extended Asymmetric Contacts on the Boundary
5
作者 Dorel Homentcovschi Radu Oprea Bruce T. Murray 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2021年第8期1911-1925,共15页
The electrical properties of magnetic sensing devices fabricated from anisotropic materials are not easily extracted. Here we present a method for determining the resistance matrix for an anisotropic device with multi... The electrical properties of magnetic sensing devices fabricated from anisotropic materials are not easily extracted. Here we present a method for determining the resistance matrix for an anisotropic device with multiple electrical contacts placed in a perpendicular magnetic field. By using the methods developed by Van der Pauw and Wasscher, the analysis for the anisotropic system is reduced to the equivalent problem for an isotropic sample, which can then be solved using methods developed previously. As a result, the method works in the case of structures with an arbitrary number of asymmetric extended contacts at large magnetic field strength. In addition to the extraction of nonisotropic resistivities, the resistance matrix can be used to analyze the Hall effect for anisotropic plates. 展开更多
关键词 hall Device Resistance Matrix van der pauw method ANISOTROPIC
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交/直流薄膜方块电阻测试系统设计与分析 被引量:1
6
作者 陈明武 王亚林 +3 位作者 冯金良 王尚前 刘剑 王可 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期85-90,共6页
四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件... 四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件搭建了一套能使用交/直流测量薄膜方块电阻的测试系统。为了验证该测试系统的合理性及测试速度,选取Pt金属薄膜作为被测样品进行方块电阻的测量。测试结果表明,直流法和交流法都能精确测量薄膜方块电阻,直流法和交流法的单次测试时间分别为0378 s和0317 s,系统的测试速度优于商用280SI半导体设备。交流法测试Pt金属薄膜方块电阻的抗干扰能力比直流法强。该系统为被测样品选取合适的测试电流和测试方法提供了参考,对薄膜样品进行变温电阻率连续测量具有重要意义。 展开更多
关键词 范德堡法 LABVIEW 交流 直流 方块电阻
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范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用 被引量:6
7
作者 朱俊杰 刘磁辉 +2 位作者 林碧霞 谢家纯 傅竹西 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期317-319,共3页
近年来 ,随着对宽禁带半导体材料 ,氧化锌薄膜研究的快速发展 ,对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用 。
关键词 范德堡方法 ZnO膜薄 欧姆接触 霍尔效应
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基于范德堡法的非饱和土电阻率测试方法 被引量:9
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作者 冯怀平 马德良 +1 位作者 王志鹏 常建梅 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期690-696,共7页
电阻率法是实现无干扰土体压实度及水分迁移测试的一种有效方法。范德堡法(vdP法)广泛应用于半导体等材料的电阻率测量领域,有较高的精度,将该方法引入非饱和土电阻率测试,研发了一种只接触土体表面而不破坏土体结构的土体电阻率测试装... 电阻率法是实现无干扰土体压实度及水分迁移测试的一种有效方法。范德堡法(vdP法)广泛应用于半导体等材料的电阻率测量领域,有较高的精度,将该方法引入非饱和土电阻率测试,研发了一种只接触土体表面而不破坏土体结构的土体电阻率测试装置及方法,装置由钛电极片、交流恒流源、电压采集及数据处理系统4部分组成。采用此装置对某粉黏土的电阻率进行了测试研究,验证了电极尺寸、试样高度以及温度对于测试精度的影响;测试了不同含水率、压实度下土体电阻率的变化规律,试验表明所提供的测试方法具有精度高、测试稳定、对土样无干扰等优点。 展开更多
关键词 范德堡法 非饱和土 电阻率 含水率
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MOCVD生长GaN:Si单晶膜的研究 被引量:6
9
作者 江风益 李述体 +4 位作者 王立 熊传兵 彭学新 辛勇 姚冬敏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期120-124,共5页
获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n... 获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n型GaN:Si单晶膜;并有效地抑制了GaN中由深能级引起的黄带发射,大大提高带边发光强度。研究结果还表明:随着S掺杂量的增大,GaN:Si单晶膜的电子载流于浓度增加,迁移率下降,X光双晶衍射峰半高宽增大。首次报道了随掺S量增大,GaN:Si单晶膜的生长速率显著下降的现象。 展开更多
关键词 MOCVD 单晶膜 氮化镓
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微区薄层电阻四探针测试仪及其应用 被引量:12
10
作者 孙以材 刘新福 +2 位作者 高振斌 孟庆浩 孙冰 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期93-93,共1页
用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 。
关键词 微区薄层电阻 探针技术 范德堡法 四探针测试仪
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基于范德堡法的溶液电导率绝对测量方法 被引量:5
11
作者 林桢 张潇 +2 位作者 魏佳莉 王晓萍 余翔 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第2期176-180,共5页
将范德堡电阻率测量方法用于溶液电导率的测量中,设计了封闭式四电极电导池;测量系统采用交流微电流源提供激励信号,对响应信号进行放大与处理,通过微机系统实现与上位机的通信与控制。研究了范德堡法电导率测量的影响因素,通过对... 将范德堡电阻率测量方法用于溶液电导率的测量中,设计了封闭式四电极电导池;测量系统采用交流微电流源提供激励信号,对响应信号进行放大与处理,通过微机系统实现与上位机的通信与控制。研究了范德堡法电导率测量的影响因素,通过对标准溶液的测量,验证了该方法测量范围可达0~40 mS/cm、测量误差控制在±1%,可以作为电导率基准测量方法。 展开更多
关键词 计量学 溶液电导率 范德堡法 绝对测量法 电导池常数
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热退火对电子束蒸镀方法制备的ZnO:Al薄膜光电性质的影响 被引量:2
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作者 骆英民 马剑刚 +3 位作者 徐海阳 刘益春 钟殿强 齐秀英 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期776-780,共5页
采用电子束蒸镀方法在Si(100)衬底上沉积了ZnO:Al(ZAO)薄膜.在氧气气氛下对ZnO:Al薄膜进行了退火处理,退火温度的范围为400~800℃.X射线衍射(XRD)图样表明所制备的ZnO:Al薄膜具有六方结构,为c轴(002)择优取向的多晶薄膜.用Van der Pau... 采用电子束蒸镀方法在Si(100)衬底上沉积了ZnO:Al(ZAO)薄膜.在氧气气氛下对ZnO:Al薄膜进行了退火处理,退火温度的范围为400~800℃.X射线衍射(XRD)图样表明所制备的ZnO:Al薄膜具有六方结构,为c轴(002)择优取向的多晶薄膜.用Van der Pauw法测量了ZAO薄膜的电学特性,结果显示其电导率在500℃达到最大值.测量了ZAO薄膜的室温微区光致发光和变温发光光谱,观测到了ZnO自由激子、束缚在中性施主中心(D0)上的束缚激子以及束缚在离化施主中心(D+0)上的束缚激子发射. 展开更多
关键词 热退火 电子束蒸镀方法 制备 铝掺杂氧化锌薄膜 光电性质 宽带隙半导体材料
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绝对法纯水电导率测量系统研究 被引量:2
13
作者 林桢 张潇 +1 位作者 王晓萍 余翔 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第10期96-98,共3页
为实现对于纯水电导率的准确测量,研究了基于范德堡原理的电导率绝对测量方法,设计了封闭式四电极电导池,构建了一套封闭恒温的纯水电导率测量系统。通过实验进行测量精度分析,并评定了该测量系统的不确定度,证明该方法在纯水电导率测... 为实现对于纯水电导率的准确测量,研究了基于范德堡原理的电导率绝对测量方法,设计了封闭式四电极电导池,构建了一套封闭恒温的纯水电导率测量系统。通过实验进行测量精度分析,并评定了该测量系统的不确定度,证明该方法在纯水电导率测量领域能作为基准方法使用,具有较高的精度以及可溯源性。 展开更多
关键词 纯水电导率 范德堡法 绝对测量法 封闭恒温系统 四电极电导池
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排水过程三轴试样含水率分布演化规律研究 被引量:2
14
作者 马德良 谢一飞 +2 位作者 冯怀平 李腾 常建梅 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期1425-1433,共9页
三轴试验过程中试样含水率分布实时测试对吸力平衡判断、剪切速率确定和湿化变形等研究具有重要意义。通过扩展范德堡电阻率测试理论(vdP),提出了柱状土体含水率测试理论;在此基础上,研发一种厚度仅为0.1mm的柔性印刷电极及配套的范德... 三轴试验过程中试样含水率分布实时测试对吸力平衡判断、剪切速率确定和湿化变形等研究具有重要意义。通过扩展范德堡电阻率测试理论(vdP),提出了柱状土体含水率测试理论;在此基础上,研发一种厚度仅为0.1mm的柔性印刷电极及配套的范德堡法集成测试装置。通过设计围压与温度敏感性因素试验,验证装置兼容性和可靠性。最后开展了恒压状态下的三轴干湿循环试验,并对试验过程中试样分层电阻率进行监测。试验结果表明,本套试验装置需要至少120k Pa静围压预压,以保证电极与试样完全贴合;同时试验全程静围压不低于20k Pa以保持电极紧密贴合。温度对电阻率测试精度具有一定的影响,Campbell模型可以有效修正温度带来的测试误差。浸水过程中,试样电阻率从下至上依次降低;排水过程中,试样电阻率由顶到底逐渐降低;最后提出了脱湿过程的试样分层含水率计算方法并且分析了含水率分布演化规律。 展开更多
关键词 非饱和土 含水率分布 范德堡法 三轴试样
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掺硫LEC-GaP单晶载流子的分布 被引量:1
15
作者 林泉 马英俊 +3 位作者 于洪国 许兴 马远飞 朱显超 《河北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第4期347-352,共6页
采用高压液封直拉法生长2英寸N型掺硫GaP单晶,通过浮舟技术控制直径.按照理论公式计算出掺杂量,采用范德堡法测试掺硫GaP单晶头部、中部和尾部的载流子浓度.分析了固液界面形状对载流子分布的影响,在平坦的固液界面下得到的单晶载流子... 采用高压液封直拉法生长2英寸N型掺硫GaP单晶,通过浮舟技术控制直径.按照理论公式计算出掺杂量,采用范德堡法测试掺硫GaP单晶头部、中部和尾部的载流子浓度.分析了固液界面形状对载流子分布的影响,在平坦的固液界面下得到的单晶载流子分布更为均匀.探讨了浮舟控径单晶横向和纵向载流子分布及其影响因素.比较和讨论了浮舟控径和无舟计算机闭环控径单晶纵向载流子分布,表明采用浮舟控制及工艺,造成晶体生长过程中分凝系数及补偿度的变化,使得晶体纵向载流子浓度先降低后升高,提出了通过变速拉晶,可以改善单晶纵向载流子均匀性.讨论了浮舟质量对载流子分布的影响,采用质量较大的浮舟生长GaP单晶,其纵向载流子分布更均匀. 展开更多
关键词 高压液封直拉法 浮舟技术 范德堡法 载流子浓度分布
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微区薄层电阻四探针测试仪及其应用 被引量:3
16
作者 孙以材 孟庆浩 《现代仪器》 2000年第1期37-42,共6页
用斜置的四探针方法,依靠显微镜观察,将针尖置于微区图形的四个角区,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。本文对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器,加快了计算速度。
关键词 微区薄层电阻 范德堡法 四探针测试仪 计算机
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Hg_(1-x)Mn_xTe晶片电学参数的测量及分析
17
作者 王泽温 介万奇 +1 位作者 李宇杰 谷智 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1232-1234,1238,共4页
采用范德堡法分别在77K和室温下对多个Hg1-xMnxTe晶片的电学性能进行了测量,发现部分晶片在77K下的导电类型为p型,而在室温下却为n型。通过理论分析对此现象进行了解释。分析表明:Hg1-xMnxTe晶片中电子迁移率与空穴迁移率的比值较大和Hg... 采用范德堡法分别在77K和室温下对多个Hg1-xMnxTe晶片的电学性能进行了测量,发现部分晶片在77K下的导电类型为p型,而在室温下却为n型。通过理论分析对此现象进行了解释。分析表明:Hg1-xMnxTe晶片中电子迁移率与空穴迁移率的比值较大和Hg1-xMnxTe的禁带较窄是造成晶片导电类型转变的主要原因。对所测其它电学参数的理论分析表明范德堡法不适合用于Hg1-xMnxTe晶片室温时的载流子浓度和迁移率的测量,但仍可用其对晶片室温时的电阻率和霍尔系数进行测量。 展开更多
关键词 Hg1-xMnxTe 范德堡法 导电类型 霍尔系数
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微区电阻测试方法及新测试仪研制
18
作者 刘新福 孙以材 +1 位作者 王静 张艳辉 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2003年第9期55-57,共3页
文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法,并研制出新型四探针测试样机。
关键词 微区电阻 测试方法 测试仪 大规模集成电路 电路尺寸
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霍尔效应测试的系统误差分析
19
作者 王文武 郁骁琦 +3 位作者 任胜强 武莉莉 李卫 张静全 《实验科学与技术》 2016年第6期21-23,66,共4页
使用霍尔效应测试薄膜样品的电学性质,可获得样品的电阻率、有效载流子浓度、迁移率等性质;但由于计算公式及仪表测试精度的影响,测试得到的结果存在无法避免的误差。该文分析了范德保法测试和霍尔效应测试由于计算公式和测试仪表精度... 使用霍尔效应测试薄膜样品的电学性质,可获得样品的电阻率、有效载流子浓度、迁移率等性质;但由于计算公式及仪表测试精度的影响,测试得到的结果存在无法避免的误差。该文分析了范德保法测试和霍尔效应测试由于计算公式和测试仪表精度产生的系统误差,由此获知测试结果的误差。 展开更多
关键词 范德保法 霍尔效应 系统误差 薄膜 电学性质
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低维半导体器件电阻率的测试理论与实验研究
20
作者 甄聪棉 潘成福 +2 位作者 侯登录 庞兆广 李玉现 《物理实验》 2022年第7期22-28,共7页
针对二维和三维半导体器件的电阻率测试进行了详细的理论分析和实验研究.阐述了常规四探针法、改进的四探针法以及两探针法的使用范围,重点讨论了范德堡方法在低维半导体材料电阻率测试中的应用.以NiCo_(2)O_(4)外延薄膜为例,具体分析... 针对二维和三维半导体器件的电阻率测试进行了详细的理论分析和实验研究.阐述了常规四探针法、改进的四探针法以及两探针法的使用范围,重点讨论了范德堡方法在低维半导体材料电阻率测试中的应用.以NiCo_(2)O_(4)外延薄膜为例,具体分析了材料的导电机理. 展开更多
关键词 电阻率 四探针法 范德堡法 半导体材料
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