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Fabrication and measurement of high-g MEMS accelerometer 被引量:4
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作者 Shi Yunbo Liu Jun +1 位作者 Qi Xiaojin Meng Meiyu 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1345-1349,共5页
A high-g beam-mass structure accelerometer was designed.In this structure,by means of KOH back etching on the mass,V-groove structure was fabricated on the backside of the mass,so the weight of the mass and also the r... A high-g beam-mass structure accelerometer was designed.In this structure,by means of KOH back etching on the mass,V-groove structure was fabricated on the backside of the mass,so the weight of the mass and also the relative distance between the mass center and the neutral plane were all decreased.With the thin mass structure,we can take advantage of both beam-mass structure and flat film structure;the fabrication process is also simple.By means of Hopkinson shock test system,we did the accelerometer calibration.According to the test result,the sensitivity of the MEMS accelerometer is 0.71 μV/g,which keeps in accordance with the theoretical calculation.After a 200 000 g shocking test,the micro structure worked as usual,so this design can satisfy the requirements of high shock,seriously vibration test environment. 展开更多
关键词 测量方法 加速度计 冲击实验 振动实验
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Triaxial high-gaccelerometer of microelectro mechanical systems 被引量:1
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作者 何昫 张振海 +1 位作者 李科杰 林然 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2015年第4期427-431,共5页
A triaxial high-g accelerometer of microelectro mechanical systems (MEMS) has a struc- ture of multi-chips combination and will be used in aerospace field, civil and military fields. The ac- celerometer can measure ... A triaxial high-g accelerometer of microelectro mechanical systems (MEMS) has a struc- ture of multi-chips combination and will be used in aerospace field, civil and military fields. The ac- celerometer can measure the acceleration of the carrier. The chips with island-membrane structures on its back surfaces are made by MEMS dry processing. The chip is reasonable and can work well under high impact load; Titanium alloy base is also stronger in high shock environment, these are proved by finite element analysis. Finally, the MEMS combined triaxial high-g accelerometer is vali- dated by high impact calibration experiments in order to get a key performance index, including range, sensitivity and transverse sensitivity and so on. These data can satisfy the need of design but some problems remain, these will be eliminated by improvement of the processing technology and materials. 展开更多
关键词 COMBINED finite element analysis TRIAXIAL high-g accelerometer
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分布式质量块结构高g值加速度传感器仿真分析 被引量:2
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作者 王鹏 杨雨君 +6 位作者 陈曼龙 王楠 杨帆 梁应选 张昌明 彭春雷 韩继科 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第5期19-24,29,共7页
针对航空航天、机电、石油等领域的高g值加速度监测需求,设计了一种分布式质量块结构的压阻式加速度传感器。运用敏感性分析和响应面方法对敏感结构模型优化,同时提升结构的固有频率和灵敏度;研究所构建模型在不同方向加速度作用下的应... 针对航空航天、机电、石油等领域的高g值加速度监测需求,设计了一种分布式质量块结构的压阻式加速度传感器。运用敏感性分析和响应面方法对敏感结构模型优化,同时提升结构的固有频率和灵敏度;研究所构建模型在不同方向加速度作用下的应力分布特点,设计抗交叉干扰的传感器信号检测电路;分析结构的加工流程及封装工艺,有利于下一步制造应用。仿真结果表明:该传感器的量程为100000 g,灵敏度为2.18μV/g,一阶固有频率为157.82 kHz,理论上消除了横向交叉干扰,有效提升了传感器的性能。 展开更多
关键词 g 分布式质量块结构 加速度计 有限元仿真
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高g值压阻式加速度计设计与仿真 被引量:1
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作者 李永伟 郭晋秦 +6 位作者 乔俊福 李峰 乔志敏 张烨 芦婧 张健 闫莎莎 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第5期690-693,共4页
研究了一种具有高灵敏度、小尺寸的四端梁结构的压阻式加速度计。利用有限元软件对不同悬臂梁、质量块尺寸的结构建立模型,并对该结构进行了灵敏度与应力分析、模态分析,以及动态响应分析。仿真研究结果表明,在50 kg量程内,传感器轴向... 研究了一种具有高灵敏度、小尺寸的四端梁结构的压阻式加速度计。利用有限元软件对不同悬臂梁、质量块尺寸的结构建立模型,并对该结构进行了灵敏度与应力分析、模态分析,以及动态响应分析。仿真研究结果表明,在50 kg量程内,传感器轴向灵敏度达到7.40μV/g,横向灵敏度为0.33%,线性度为0.06%,响应时间为20.3μs,固有频率为111.2 kHz。抗冲击性能能达到334000 g,可以满足高g值环境下的测试需求,同时该研究为研制高性能传感器提供了一种准确且高效的仿真方法。 展开更多
关键词 压阻 g值加速度计 有限元仿真
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基于GWO-BP方法的加速度计动态模型研究 被引量:2
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作者 郭萃 石云波 +2 位作者 温晓杰 曹慧亮 张越 《测控技术》 2023年第8期50-55,共6页
针对高g值加速度计动态模型问题,基于Hopkinson杆的校准系统所测的输入输出数据建立系统模型,提出了GWO-BP神经网络动态建模方法。利用灰狼种群算法优化BP神经网络建立的加速度计动态模型,对模拟输入输出信号进行仿真。最后,利用Hopkin... 针对高g值加速度计动态模型问题,基于Hopkinson杆的校准系统所测的输入输出数据建立系统模型,提出了GWO-BP神经网络动态建模方法。利用灰狼种群算法优化BP神经网络建立的加速度计动态模型,对模拟输入输出信号进行仿真。最后,利用Hopkinson杆标定系统对加速度计的输入输出进行实测。结果表明,相比于BP神经网络算法,该算法经过优化改进后,求解精度提高了43.6%,证明了该方法的可行性。 展开更多
关键词 神经网络 g值加速度计 动态非线性 HOPKINSON杆 系统辨识
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centrifugal用热控装置设计
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作者 鲁亮 《装备环境工程》 CAS 2023年第3期22-29,共8页
目的评估飞行器产品在飞行过程对热–离心综合环境的适应性,研制一套热–离心综合环境试验用热控装置。方法从热–离心试验需求出发,完成综合试验系统总体研制目标及系统方案设计。针对高g值离心环境(离心加速度值≥90g)下的热载荷加载... 目的评估飞行器产品在飞行过程对热–离心综合环境的适应性,研制一套热–离心综合环境试验用热控装置。方法从热–离心试验需求出发,完成综合试验系统总体研制目标及系统方案设计。针对高g值离心环境(离心加速度值≥90g)下的热载荷加载需求,开展基于热传导的热载荷加载方法研究,并完成适用于高g值环境的热控装置硬件布局优化设计。提出基于分段包络思想的产品响应温度梯度分布效应模拟方法及实现,减少过试验考核。结果利用该热控装置完成了热–离心综合环境功能验证试验,设置最大加速度为92g,保载时间为3 min,最高加热温度为150℃,最大温升速率为3℃/min,3温区控制,升温过程中,温度误差优于±1.5℃。结论该热–离心综合环境试验用热控装置可用于飞行器产品热–离心综合环境试验的考核。 展开更多
关键词 热–离心综合环境试验 g值离心环境 热控装置设计 分段包络 硬件布局优化 类模糊–分段自整定控制 温度梯度分布 多温区
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高低温环境对三轴高g值加速度传感器灵敏度变化影响研究 被引量:1
7
作者 乔诗翔 李豪杰 +1 位作者 于航 陈志鹏 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期240-248,共9页
针对高低温环境对高g值加速度传感器灵敏度影响机理不清的问题,通过建立两端固支的敏感单元数学模型,得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系。通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系,在-40℃~50℃范围... 针对高低温环境对高g值加速度传感器灵敏度影响机理不清的问题,通过建立两端固支的敏感单元数学模型,得到了传感器灵敏度与敏感单元纵向应力、横向应力的关系。通过热-力耦合仿真分析得到了传感器灵敏度与温度间的关系,在-40℃~50℃范围内,传感器灵敏度随温度的增加而减小,且在-40℃~20℃范围内灵敏度变化较快,在20℃~50℃范围内灵敏度变化较慢。通过传感器高低温试验得到高低温环境下传感器灵敏度数据,-40℃条件下灵敏度大小为0.523μV/g;50℃条件下灵敏度大小为0.516μV/g。与仿真结果进行对比,验证了温度变化对传感器灵敏度的影响规律,为提升高g值加速度传感器在高低温环境下测量精度具有理论参考意义。 展开更多
关键词 g值加速度传感器 压阻式 高低温 灵敏度
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一种高g值面内加速度传感器的设计与仿真
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作者 王毓婷 石云波 +2 位作者 赵锐 李艳 张洁宇 《电子测量技术》 北大核心 2023年第5期192-196,共5页
为了检测侵彻武器冲击硬目标产生的水平方向超高加速度,提出了一种单轴的面内高量程压阻式加速度传感器。该传感器的量程为150000 g_(n),由支撑梁、质量块和4个微梁构成。当给传感器施加轴向加速度时,支撑梁两侧的微梁分别被拉伸和压缩... 为了检测侵彻武器冲击硬目标产生的水平方向超高加速度,提出了一种单轴的面内高量程压阻式加速度传感器。该传感器的量程为150000 g_(n),由支撑梁、质量块和4个微梁构成。当给传感器施加轴向加速度时,支撑梁两侧的微梁分别被拉伸和压缩,通过惠斯通全桥实现压阻信号的检测。将加速度传感器的固有频率、最大等效应力以及几何结构参数作为多目标函数,用OSF采样和克里金代理模型对加速度传感器进行优化,得到高谐振频率、高灵敏度和低交叉灵敏度的敏感结构。有限元仿真和电学仿真结果表明,传感器一阶固有频率为0.84 MHz,y轴灵敏度为0.594μV/g_(n),非线性度为3.26%,x轴和z轴的交叉灵敏度均小于1%。 展开更多
关键词 高量程 多目标优化 面内加速度计 交叉灵敏度
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多梁凹槽高g值加速度计的设计与分析 被引量:2
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作者 张宇 许高斌 +3 位作者 尹盛华 徐琛 汪洋 冯建国 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2023年第4期90-97,共8页
针对目前航空航天、车辆碰撞分析等领域对高g值加速度计的迫切需求,设计了一种新型多梁凹槽压阻式加速度计,该加速度计利用变截面梁作为敏感梁来放大质量块的等效惯性力,并通过辅助梁与背面凹槽的组合有效提高结构刚度,实现了高灵敏度... 针对目前航空航天、车辆碰撞分析等领域对高g值加速度计的迫切需求,设计了一种新型多梁凹槽压阻式加速度计,该加速度计利用变截面梁作为敏感梁来放大质量块的等效惯性力,并通过辅助梁与背面凹槽的组合有效提高结构刚度,实现了高灵敏度输出和良好的频宽特性。建立了加速度计的力学模型,并通过ANSYS有限元软件仿真分析,优化获得了加速度计的结构和尺寸。利用敏感梁表面路径,分析总结其应力分布规律,确定压敏电阻位置。仿真实验结果表明,设计出的该加速度计量程为150000 g,灵敏度为1.32μV/g,固有频率约为268 kHz。最后基于SOI技术设计了加速度计的工艺流程。 展开更多
关键词 压阻式 加速度计 变截面梁 辅助梁 凹槽 g
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压阻式高g值加速度传感器温度补偿设计
10
作者 王毓婷 石云波 +3 位作者 张越 冯登虎 栗文凯 马昊天 《工业仪表与自动化装置》 2023年第4期3-7,共5页
该文针对压阻式传感器在环境温度变化时会引起灵敏度非线性问题,提出了一种在惠斯通电桥中引入多晶硅的温度补偿方案。以单晶硅制备的高g值压阻式加速度计为模型,通过建立理论模型,分析了单晶硅压敏电阻的电阻率和压阻系数的温度特性。... 该文针对压阻式传感器在环境温度变化时会引起灵敏度非线性问题,提出了一种在惠斯通电桥中引入多晶硅的温度补偿方案。以单晶硅制备的高g值压阻式加速度计为模型,通过建立理论模型,分析了单晶硅压敏电阻的电阻率和压阻系数的温度特性。对传感器进行有限元仿真分析,仿真结果表明一阶频率为0.776 MHz,最大等效应力为44 MHz。通过对压敏电阻路径的线性分析,得到补偿前的灵敏度为0.349μV/g。对多晶硅电阻引入前后的输出电压进行理论分析,得到电阻系数比以及补偿前后传感器灵敏度随温度的变化关系。结果表明,补偿后的灵敏度漂移温度系数(Temperature Coefficient of Sensitivity drift,TCS)为6.8×10^(-4)(1/℃),与补偿前相比降低了两个数量级。 展开更多
关键词 压阻传感器 温度补偿 片上多晶硅 g值加速度计 MEMS
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MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究 被引量:16
11
作者 石云波 李平 +2 位作者 朱正强 刘俊 张晓明 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2011年第7期271-274,共4页
设计的MEMS高g加速度传感器抗高过载能力差,将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。通过分析传感器结构对其抗过载能力的影响,及在高冲击测试中传感器结构损坏情况的统计,提出了一种新颖的优化高g加速度传感器抗高过载能力的方法... 设计的MEMS高g加速度传感器抗高过载能力差,将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。通过分析传感器结构对其抗过载能力的影响,及在高冲击测试中传感器结构损坏情况的统计,提出了一种新颖的优化高g加速度传感器抗高过载能力的方法。该方法是在结构最易断裂的梁根部和端部添加倒角,以分散在冲击作用下传感器结构这些部位受到的应力,进而提高加速度传感器的高过载能力,并从理论仿真分析了该方法的可行性。最后利用Hopkinson杆测试方法对优化前后的加速度传感器进行冲击测试,测试结果表明,加速度计的抗高过载能力从180 000 g提高到240000 g,说明该优化方法显著,明显提高了该类加速度传感器的抗高过载能力,设计的加速度传感器达到了较理想的抗高过载能力。 展开更多
关键词 MEMS高g加速度传感器 高过载 Hopkinson杆冲击测试 倒角 优化
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高g值侵彻加速度测试及其相关技术研究进展 被引量:40
12
作者 徐鹏 祖静 范锦彪 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期739-745,共7页
结合作者及其合作者最近几年在侵彻加速度测试领域的若干研究工作,总结评价了近十几年国内外弹体高速侵彻硬目标高g值加速度现场测试研究成果,特别是存储测试技术在这方面的应用。同时总结了侵彻加速度测试相关技术的发展,包括高g值加... 结合作者及其合作者最近几年在侵彻加速度测试领域的若干研究工作,总结评价了近十几年国内外弹体高速侵彻硬目标高g值加速度现场测试研究成果,特别是存储测试技术在这方面的应用。同时总结了侵彻加速度测试相关技术的发展,包括高g值加速度计的抗高冲击性能和校准、电池抗高冲击性能的研究等。最后结合现有研究基础和潜在的国防需求,论述了这一研究领域的发展趋势以及值得注意的问题。 展开更多
关键词 爆炸力学 g值加速度 存储测试 侵彻 加速度计
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高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析 被引量:7
13
作者 王艳阳 石云波 +2 位作者 王华 康强 杨志才 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期971-976,共6页
总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1.7%,并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研... 总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1.7%,并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研的传感器进行了标定,得到了传感器的参考灵敏度。 展开更多
关键词 MEMS 高量程 差动式激光干涉仪 g值加速度计 不确定度 误差分析
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高g值微机械加速度传感器的现状与发展 被引量:11
14
作者 李世维 王群书 +1 位作者 古仁红 刘君华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期892-896,共5页
本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望。重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器。首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理,主要技术指标和敏感元件的... 本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望。重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器。首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理,主要技术指标和敏感元件的结构特点,讨论了几种用于制作高g值微加速度传感器的新型材料和工艺。最后总结了高g值微机械加速度传感器未来的发展趋势。 展开更多
关键词 加速度传感器 g 爆炸与冲击 微机械
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三轴高g加速度计的测试方法及实验研究 被引量:7
15
作者 黎渊 董培涛 +2 位作者 吴学忠 吴小梅 陶溢 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1844-1847,共4页
研究了高g加速度计的校准测试方法,并针对一种量程为105gn的三轴高g加速度计,测试标定了其主要性能参数。分别利用自由落杆绝对法和比较法测试了三轴高g加速度计的灵敏度;分析了影响交叉轴灵敏度测试的两种影响因素,进而分别指出了解决... 研究了高g加速度计的校准测试方法,并针对一种量程为105gn的三轴高g加速度计,测试标定了其主要性能参数。分别利用自由落杆绝对法和比较法测试了三轴高g加速度计的灵敏度;分析了影响交叉轴灵敏度测试的两种影响因素,进而分别指出了解决方法,并测试了其交叉轴灵敏度;通过提取叠加在主波上的锯齿波波形,测试出其谐振频率;最后利用东菱冲击机标定了三轴高g加速度计的非线性度。 展开更多
关键词 g 三轴 加速度计 测试
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高g值加速度计的设计与冲击特性分析 被引量:15
16
作者 石云波 朱政强 +2 位作者 刘晓鹏 杜康 刘俊 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期329-332,共4页
针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度计;利用Hopkinson杆冲击校准装置对该加速度计的动态特性进行了测试。测试结果表明,传感器的灵敏度为1.2μV/g,线性度5%左右;结构受到2×105g冲击后完好且输出信号正... 针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度计;利用Hopkinson杆冲击校准装置对该加速度计的动态特性进行了测试。测试结果表明,传感器的灵敏度为1.2μV/g,线性度5%左右;结构受到2×105g冲击后完好且输出信号正常,能有效满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求,可以应用于侵彻系统。 展开更多
关键词 爆炸力学 抗过载能力 HOPKINSON杆 g值加速度计 梁岛结构
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单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 被引量:8
17
作者 董培涛 李昕欣 +3 位作者 张鲲 吴学忠 李圣怡 封松林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1482-1487,共6页
设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度... 设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度和高谐振频率的优点.采用ANSYS软件进行了结构分析和优化设计.中间结构层主要制作工艺包括压阻集成工艺和双面DeepICP刻蚀,并与玻璃衬底阳极键合和上层盖板BCB键合形成可以塑封的三层结构,从而提高加速度计的可靠性.封装以后的加速度计采用落杆方法进行测试,三轴灵敏度分别为2.28,2.36和2.52μV/g,谐振频率分别为309,302和156kHz.利用东菱冲击试验台,采用比较校准法测得y轴和z轴加速度计的非线性度分别为1.4%和1.8%. 展开更多
关键词 硅微机械加工技术 三轴加速度计 压阻 g 塑封
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高g值加速度传感器的窄脉冲校准理论与方法 被引量:15
18
作者 范锦彪 王燕 +2 位作者 徐鹏 祖静 林祖森 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1242-1245,共4页
针对高g值加速度传感器动态特性校准中遇到的激励窄脉冲的宽度问题,提出了适用于高g值加速度传感器动态特性的窄脉冲校准准则。该准则给出了对不同谐振频率的高g值加速度传感器的动态特性进行校准时,校准所需的激励窄脉冲的最大脉冲宽... 针对高g值加速度传感器动态特性校准中遇到的激励窄脉冲的宽度问题,提出了适用于高g值加速度传感器动态特性的窄脉冲校准准则。该准则给出了对不同谐振频率的高g值加速度传感器的动态特性进行校准时,校准所需的激励窄脉冲的最大脉冲宽度与传感器谐振频率的关系。依据该准则设计了窄脉冲校准系统,并对8309型高g值加速度传感器进行了校准实验。实验结果表明,该准则对于高g值加速度传感器频率响应特性的校准是有效的,按照该准则所定脉宽的脉冲能够激起被较准的高g值加速度传感器的各阶谐振频率。 展开更多
关键词 测试计量技术及仪器 动态校准 窄脉冲激励 g值加速度传感器
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MEMS高G值加速度传感器设计 被引量:8
19
作者 石云波 祁晓瑾 +1 位作者 刘俊 孟美玉 《系统仿真学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第16期4306-4309,共4页
针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进... 针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求。 展开更多
关键词 微机电系统 g 加速度传感器 仿真
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高g值加速度传感器激光绝对法冲击校准技术研究 被引量:12
20
作者 范锦彪 祖静 +2 位作者 林祖森 徐鹏 赵晓东 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2012年第11期149-153,共5页
在详细分析反射式激光多普勒原理的基础上,研究了高g值加速度传感器的冲击校准方法。该方法利用Hopkinson杆作为加载手段,利用差动式激光多普勒干涉仪来绝对复现冲击加速度的量值。针对高g值压阻加速度传感器SIMIT-AYZ-60k进行了一系列... 在详细分析反射式激光多普勒原理的基础上,研究了高g值加速度传感器的冲击校准方法。该方法利用Hopkinson杆作为加载手段,利用差动式激光多普勒干涉仪来绝对复现冲击加速度的量值。针对高g值压阻加速度传感器SIMIT-AYZ-60k进行了一系列的校准试验,利用积分运算法和最小二乘法的组合从准动态条件下的校准数据得到了准静态条件下的传感器冲击灵敏度。试验表明,这种方法实现了利用脉宽有限的激励脉冲对固有频率在20 kHz以上的高g值加速度传感器的校准,校准的不确定度可以满足冲击测试的工程需求。 展开更多
关键词 冲击校准 g值加速度传感器 激光多普勒干涉仪 HOPKINSON杆 最小二乘法
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