类金刚石膜及其淀积条件的研究

类金刚石薄膜是８０年代初出现的新型非金属薄膜材料之一，目前已受到了人们广泛的注视并引起了人们的极大兴趣。本文重点介绍双离子束溅射方法，对该方法在不同条件下制备的类金刚石薄膜进行了部分性能测试，通过对测试结果的比较及深入讨论，获得了用双离子束溅射方法制备性能优异类金刚石薄膜的最佳条件及有用结论。