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Al掺杂对β-Ga_(2)O_(3)薄膜光学性质的影响研究
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作者 钟琼丽 王绪 +1 位作者 马奎 杨发顺 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第8期1352-1360,共9页
近年来,半导体器件向着高散热性、高击穿场强和低能耗的方向发展,因此超宽禁带半导体材料β-Ga_(2)O_(3)具有广阔的应用前景,而有效掺杂是实现β-Ga_(2)O_(3)器件的基础。实验采用磁控溅射法制备Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_... 近年来,半导体器件向着高散热性、高击穿场强和低能耗的方向发展,因此超宽禁带半导体材料β-Ga_(2)O_(3)具有广阔的应用前景,而有效掺杂是实现β-Ga_(2)O_(3)器件的基础。实验采用磁控溅射法制备Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)复合结构,经高温退火使Al原子热扩散进入薄膜中,形成Al掺杂的β-Ga_(2)O_(3)薄膜。采用激光区熔法使薄膜区域熔化再结晶,进一步提升掺杂质量。对Al掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜的晶体性质、杂质含量及光学性质进行了测试表征。结果表明:Al掺杂不改变β-Ga_(2)O_(3)薄膜的晶体结构;随着Al层溅射时间延长,掺杂含量逐渐增加;当Al溅射时间为5和10 s时,薄膜紫外吸收率分别为40%和50%;随着Al溅射时间的增加,Al掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜紫外区域光吸收率逐渐增强,Al溅射时间为300 s时,β-Ga_(2)O_(3)薄膜的光吸收率接近90%;低浓度的Al掺杂会导致β-Ga_(2)O_(3)薄膜的禁带宽度变窄。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3)薄膜 al掺杂 磁控溅射 Ga_(2)O_(3)/al/Ga_(2)O_(3)/al/Ga_(2)O_(3)复合结构 光吸收 光学带隙
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电泳沉积PVDF/Al/CuO复合含能薄膜及其燃烧性能研究
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作者 胡祥 王宇 +3 位作者 王玉滢 齐梦迪 马自力 尹艳君 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期30-35,共6页
基于含氟聚合物的强氧化及含氟量高的特性,以聚偏二氟乙烯(PVDF)为代表,通过电泳技术,采用石胆酸(LCA)作为表面活性剂,制备了PVDF/Al/CuO有机/无机杂化含能薄膜,并对其组分、结构、形貌及含能特性进行了系统的表征。结果表明:PVDF电泳... 基于含氟聚合物的强氧化及含氟量高的特性,以聚偏二氟乙烯(PVDF)为代表,通过电泳技术,采用石胆酸(LCA)作为表面活性剂,制备了PVDF/Al/CuO有机/无机杂化含能薄膜,并对其组分、结构、形貌及含能特性进行了系统的表征。结果表明:PVDF电泳沉积过程中石胆酸的最佳添加剂量为3mL(1wt%);当PVDF添加量为2wt%时,PVDF/Al/CuO复合薄膜的燃烧性能最好,热释放能量达3924J/g,远远高于Al/CuO的热释放能量。产生上述实验结果的主要原因是PVDF本身具有氧化特性,能够与铝发生化学反应,释放热量;此外,PVDF热分解产生的氟能够腐蚀铝表面的钝化膜,进而释放活性铝,极大提升了Al/CuO体系的能量释放效果。 展开更多
关键词 电泳沉积 PVDF/al/CuO含能薄膜 燃烧现象
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Structure distortion, optical and electrical properties of ZnO thin films co-doped with Al and Sb by sol-gel spin coating 被引量:1
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作者 钟文武 刘发民 +3 位作者 蔡鲁刚 周传仓 丁芃 张嬛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第10期515-519,共5页
ZnO thin films co-doped with A1 and Sb with different concentrations and a fixed molar ratio of AlCl3 to SbCl3 at 1:2, are prepared by a sol-gel spin-coating method on glass annealed at 550 ℃ for 2 h in air. The x-r... ZnO thin films co-doped with A1 and Sb with different concentrations and a fixed molar ratio of AlCl3 to SbCl3 at 1:2, are prepared by a sol-gel spin-coating method on glass annealed at 550 ℃ for 2 h in air. The x-ray diffraction results confirm that the ZnO thin films co-doped with Al distortion, and the biaxial stresses are 1.03× 10^8. 3.26× 10^8 and Sb are of wurtzite hexagonal ZnO with a very small 5.23 × 10^8, and 6.97× 10^8 Pa, corresponding to those of the ZnO thin films co-doped with Al and Sb in concentrations of 1.5, 3.0, 4.5, 6.0 at% respectively. The optical properties reveal that the ZnO thin films co-doped with Al and Sb have obviously enhanced transmittance in the visible region. The electrical properties show that ZnO thin film co-doped with Al and Sb in a concentration of 1.5 at% has a lowest resistivity of 2.5 Ω·cm. 展开更多
关键词 ZnO thin films co-doped with al and Sb sol-gel spin-coating method structure distortion optical and electrical properties
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The Larger Grain and (111)-Orientation Planes of Poly-Ge Thin Film Grown on SiO<sub>2</sub>Substrate by Al-Induced Crystallization 被引量:1
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作者 Shaoguang Dong Junhuo Zhuang Yaguang Zeng 《Journal of Materials Science and Chemical Engineering》 2018年第2期22-32,共11页
Al-induced crystallization yields the larger grain and (111)-orientation planes of poly-Ge thin film grown on SiO2 substrate, the (111)-orientation planes of poly-Ge thin film grown on SiO2 substrate are very importan... Al-induced crystallization yields the larger grain and (111)-orientation planes of poly-Ge thin film grown on SiO2 substrate, the (111)-orientation planes of poly-Ge thin film grown on SiO2 substrate are very important for the superior performance electronics and solar cells. We discussed the 50 nm thickness poly-Ge thin film grown on SiO2 substrate by Alinduced crystallization focusing on the lower annealing temperature and the diffusion control interlayer between Ge and Al thin film. The (111)-orientation planes ratio of poly-Ge thin film achieve as high as 90% by merging the lower annealing temperature (325℃) and the GeOx diffusion control interlayer. Moreover, we find the lack of defects on poly-Ge thin film surface and the larger average grains size of poly-Ge thin film over 12 μm were demonstrated by electron backscatter diffraction measurement. Our results turn on the feasibility of fabricating electronic and optical device with poly-Ge thin film grown on SiO2 substrate. 展开更多
关键词 al-Induced Crystallization Poly-Ge thin film Diffusion Control INTERLAYER Lower Annealing Temperature
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Electrodeposition and Characterization of Cu(In, Al)Se<sub>2</sub>for Applications in Thin Film Tandem Solar Cells
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作者 Omar Meglali Nadhir Attaf +1 位作者 Assia Bouraiou Mohamed Salah Aida 《Materials Sciences and Applications》 2013年第11期712-717,共6页
Cu(In, Al)Se2 thin films were prepared by electrodeposition from the aqueous solution consisting of CuCl2, InCl3, AlCl3 and SeO2 onto ITO coated glass substrates. The as-deposited films were annealed under vacuum for ... Cu(In, Al)Se2 thin films were prepared by electrodeposition from the aqueous solution consisting of CuCl2, InCl3, AlCl3 and SeO2 onto ITO coated glass substrates. The as-deposited films were annealed under vacuum for 30 min at temperature ranging between 200°C and 400°C. The structural, composition, morphology, optical band gap and electrical resistivity of elaborated thin films were studied, respectively using x-ray diffraction, energy dispersive analysis of x-ray, scanning electron microscopy, UV spectrophotometer and four-point probe method. The lattice constant and structural parameters viz. crystallite size, dislocation density and strain of the films were also calculated. After vacuum annealing, x-ray diffraction results revealed that all films were polycrystalline in nature and exhibit chalcopyrite structure with (112) as preferred orientation. The film annealed at 350°C showed the coexistence of CIASe and InSe phases. The average crystallite size increases linearly with annealing temperature, reaching a maximum value for 350°C. The films show a direct allowed band gap which increases from 1.59 to 1.78 eV with annealing temperature. We have also found that the electrical resistivity of films is controlled by the carrier concentration rather than by their mobility. 展开更多
关键词 ELECTRODEPOSITION Cu(In al)Se2 thin film
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Al/N共掺杂TiO_(2)薄膜的制备及光学性能
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作者 王泽文 赵莉 +1 位作者 蔺冬雪 王玉新 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第1期87-91,共5页
采用溶胶-凝胶旋涂法(Sol-Gel Spin-Coating Method)制备了Al掺杂量为3.00at%,N掺杂量分别为6.00at%,7.00at%,8.00at%和9.00at%的Al/N共掺杂TiO_(2)薄膜样品。对样品测试的结果表明,共掺杂样品依旧保留了TiO_(2)的基本结构,并且Al/N共... 采用溶胶-凝胶旋涂法(Sol-Gel Spin-Coating Method)制备了Al掺杂量为3.00at%,N掺杂量分别为6.00at%,7.00at%,8.00at%和9.00at%的Al/N共掺杂TiO_(2)薄膜样品。对样品测试的结果表明,共掺杂样品依旧保留了TiO_(2)的基本结构,并且Al/N共掺杂样品的晶粒尺寸有不同程度的减小,使样品表面得以修饰,变得更加均匀、平整。共掺杂样品吸收边都出现了不同程度的红移,在紫外光区以及可见光区的吸光性都有所增强。N掺杂量为7.00at%时,(101)衍射峰值最大,峰型最尖锐,所得到的TiO_(2)薄膜的光学性能最好。共掺杂后的样品与本征TiO_(2)相比带隙值都有所减小,且最小值为2.873 eV。以上结果表明Al/N共掺杂TiO_(2)薄膜使其光学性能得到了改善。 展开更多
关键词 al/N共掺杂 TiO_(2)薄膜 光学性能 溶胶-凝胶法
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高温扩散工艺制备带隙可调的β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)薄膜
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作者 谭黎 张俊 +3 位作者 张敏 赵荣力 邓朝勇 崔瑞瑞 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第2期281-288,共8页
β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)因其优异的抗击穿及带隙可调节性在现代功率器件及深紫外光电探测等领域展现出巨大的应用前景,然而传统直接生长工艺的复杂性和难度限制了其进一步的发展。因此,本文采用较为简单的高温扩散工艺在c面蓝宝... β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)因其优异的抗击穿及带隙可调节性在现代功率器件及深紫外光电探测等领域展现出巨大的应用前景,然而传统直接生长工艺的复杂性和难度限制了其进一步的发展。因此,本文采用较为简单的高温扩散工艺在c面蓝宝石衬底上成功制备了β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)纳米薄膜。利用X射线衍射、原子力显微镜、扫描电子显微镜和紫外-可见分光光度计对其进行了表征。由于高温下蓝宝石衬底中的Al原子向Ga_(2)O_(3)层扩散,β-Ga_(2)O_(3)薄膜将转变为Al、Ga原子比例不同的β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)薄膜。实验结果显示:当退火温度从1 010℃增加到1 250℃时,薄膜中Al的平均含量从0.033增加到0.371;当退火温度从950℃增加到1 250℃时,薄膜的厚度从186 nm增加到297 nm,粗糙度从2.31 nm增加到15.10 nm;当退火温度从950℃增加到1 190℃时,薄膜的带隙从4.79 eV增加至5.96 eV。结果表明高温扩散工艺能够有效调节β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)薄膜的光学带隙,为β-(Al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3)基新型光电子器件提供了实验基础。 展开更多
关键词 β-(al_(x)Ga_(1-x))_(2)O_(3) Ga_(2)O_(3) al掺杂 半导体薄膜 高温扩散 可调带隙 磁控溅射
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Al掺杂ZnO薄膜的微结构及电学特性 被引量:4
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作者 余萍 邱东江 +2 位作者 樊瑞新 施红军 吴惠桢 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1873-1877,共5页
用(ZnO)1-x(Al2O3)x(x=w(Al2O3)=0、0.01、0.02、0.05)陶瓷靶材为原料,通过电子束反应蒸发生长了非故意掺杂及Al掺杂的ZnO薄膜.采用X射线衍射、Raman散射及霍尔效应技术研究了薄膜的晶体微结构及电学特性.结果表明,由(ZnO)1-x(Al2O3)x(x... 用(ZnO)1-x(Al2O3)x(x=w(Al2O3)=0、0.01、0.02、0.05)陶瓷靶材为原料,通过电子束反应蒸发生长了非故意掺杂及Al掺杂的ZnO薄膜.采用X射线衍射、Raman散射及霍尔效应技术研究了薄膜的晶体微结构及电学特性.结果表明,由(ZnO)1-x(Al2O3)x(x≤0.02)的靶材生长得到的Al掺杂ZnO薄膜仍具有高度c-轴取向的纤锌矿晶体结构,但随着薄膜中Al掺入量的增加,其c-轴取向性有所退化;Raman光谱测量表明,Al掺杂ZnO薄膜的本征内应力随着Al掺入量的增加而增大,(ZnO)0.98(Al2O3)0.02薄膜中Al和Zn的原子个数比为6∶94,此时薄膜的内应力已接近饱和;Al掺杂ZnO薄膜的电阻率随着Al掺入量的增加呈现先减小后增大的特征,(ZnO)0.98(Al2O3)0.02薄膜具有最小的电阻率(7.85×10-4Ω.cm),这归因于该类薄膜同时具有高电子浓度(1.32×1021cm-3)和较高的电子迁移率(6.02 cm2/(V.s)). 展开更多
关键词 ZNO薄膜 al掺杂 微结构 电学特性
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ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析 被引量:9
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作者 薛俊明 黄宇 +4 位作者 熊强 马铁华 孙建 赵颖 耿新华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期701-705,共5页
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄... 利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 中频脉冲磁控溅射 ZnO:al(ZAO)薄膜 绒面结构
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纳米Al薄膜表面形貌与导电性的分形表征 被引量:3
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作者 付永忠 丁建宁 +1 位作者 解国新 杨继昌 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2304-2306,2309,共4页
磁控溅射法在Si(111)基底上制备了纳米Al薄膜,用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜图像进行分形维计算,并用四点探针法测量了薄膜电阻.结果表明,随着溅射时间的延长,薄膜表面质量提高,分形维增大,电阻率也随着分形维的增大而增大;随... 磁控溅射法在Si(111)基底上制备了纳米Al薄膜,用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜图像进行分形维计算,并用四点探针法测量了薄膜电阻.结果表明,随着溅射时间的延长,薄膜表面质量提高,分形维增大,电阻率也随着分形维的增大而增大;随着退火温度的上升,薄膜表面质量下降,分形维和电阻率也随之降低.因此认为,分形维能够较好的表征薄膜表面形貌,分形维与薄膜电阻率存在对应关系,并指出用分形维可以优化溅射工艺参数. 展开更多
关键词 分形 al薄膜 表面形貌 电阻率
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真空热处理对镀Al薄膜NdFeB磁体组织和耐蚀性的影响 被引量:6
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作者 孙宝玉 巴德纯 +3 位作者 段永利 房也 杨彬 岳向吉 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期221-224,共4页
用直流磁控溅射工艺,在NdFeB磁体表面镀Al薄膜,并对镀Al薄膜的磁体进行真空热处理,研究工艺、温度和时间对镀层成分、组织和性能的影响。结果表明:NdFeB镀Al薄膜磁体经650℃,10 min热处理后,综合性能最佳,Al膜层与Nd-FeB磁体在界面产生... 用直流磁控溅射工艺,在NdFeB磁体表面镀Al薄膜,并对镀Al薄膜的磁体进行真空热处理,研究工艺、温度和时间对镀层成分、组织和性能的影响。结果表明:NdFeB镀Al薄膜磁体经650℃,10 min热处理后,综合性能最佳,Al膜层与Nd-FeB磁体在界面产生冶金结合,增强了界面结合力,又保持了Al膜层的完整性、连续性和良好耐蚀性。通过对样品微组织的观察发现,当热处理温度高于650℃时,Al膜层与基体之间产生互扩散,形成新的RFeAlB相,随着温度继续升高,新相的长大,破坏了Al膜层的完整性和连续性,产生许多微缺陷和裂纹,耐蚀性降低。 展开更多
关键词 NDFEB 磁控溅射 al薄膜 真空热处理 耐蚀性能
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掺Al对ZnO薄膜结构和光电性能的影响 被引量:9
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作者 徐自强 邓宏 +1 位作者 谢娟 李燕 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期503-507,共5页
采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃片上制备了ZnO∶Al薄膜。通过XRD、UV透射谱和电学测试等分析方法研究了掺Al对薄膜的组织结构和光电性能的影响。分析表明:所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着掺Al浓度的增加,(002)峰向低角度移动,峰强逐渐... 采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃片上制备了ZnO∶Al薄膜。通过XRD、UV透射谱和电学测试等分析方法研究了掺Al对薄膜的组织结构和光电性能的影响。分析表明:所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着掺Al浓度的增加,(002)峰向低角度移动,峰强逐渐减弱。薄膜电阻率随掺Al浓度变化,当掺Al浓度为1.5%(摩尔分数),薄膜电阻率降至6.2×10-4Ω·cm。掺Al量的增加同时使得薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移现象。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 溶胶-凝胶法 al掺杂 光学特性 电学特性
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In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制 被引量:40
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作者 陈猛 白雪冬 +1 位作者 黄荣芳 闻立时 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期394-399,共6页
基于对锡掺杂三氧化铟 ( Sn- doped In2 O3,简称 ITO)和铝掺杂氧化锌 ( Al- doped Zn O,简称 ZAO)薄膜退火前后 XRD数据的分析 ,研究了薄膜晶格常数畸变的原因 ,同时讨论了 ITO和ZAO薄膜的导电机制 .结果表明 ,低温沉积 ITO薄膜的晶格... 基于对锡掺杂三氧化铟 ( Sn- doped In2 O3,简称 ITO)和铝掺杂氧化锌 ( Al- doped Zn O,简称 ZAO)薄膜退火前后 XRD数据的分析 ,研究了薄膜晶格常数畸变的原因 ,同时讨论了 ITO和ZAO薄膜的导电机制 .结果表明 ,低温沉积 ITO薄膜的晶格膨胀来源于 Sn2 +对 In3-的替换 ,导电电子则由氧缺位提供 ;高温在位制备和退火处理后薄膜的晶格收缩来源于 Sn4 + 对 In3+ 的替换 ,导电电子则主要由 Sn4 + 取代 In3+ 后提供 .低温 ZAO薄膜的晶格畸变来源于薄膜中的残余应力 ,导电电子的来源则同高温在位和退火处理后的薄膜一致 ,即由 Al3+ 对 Zn2 + 展开更多
关键词 导电薄膜 结构 导电机制 氧化锌 氧化铟
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多层金属/介质膜系中Al层的作用分析 被引量:3
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作者 魏军明 吴永刚 +5 位作者 顾牡 顾春时 马晓辉 王利 林小燕 陈玲燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期122-125,共4页
设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(Al2O3)/低折射率(MgF2)材料所组成。在低折射率材料中插入金属层(Al),对膜系进行了优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系。实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同... 设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(Al2O3)/低折射率(MgF2)材料所组成。在低折射率材料中插入金属层(Al),对膜系进行了优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系。实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同样Al层总厚度情况下,Al层厚度分布对膜系也有影响。寻找到了最佳Al层分布结果,并通过了实验验证,制备出了能很好抑止BaF2晶体发射光谱的长波成分的膜系。 展开更多
关键词 多层膜 金属薄膜 介质薄膜 BaF2闪烁晶体 铝层
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衬底温度对溅射法生长Cu-Al-O薄膜性能的影响 被引量:3
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作者 兰伟 董国波 +3 位作者 张铭 王波 严辉 王印月 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期921-924,共4页
使用多晶CuAlO2陶瓷靶,利用射频磁控溅射法沉积Cu-Al-O薄膜。傅立叶变换红外光谱显示薄膜中存在与CuAlO2相关的Cu—O,Al—O和O—Cu—O键。在可见光范围内Cu-Al-O薄膜具有较好的透过性,衬底温度为400℃~500℃时薄膜透过率在60%~70%之间... 使用多晶CuAlO2陶瓷靶,利用射频磁控溅射法沉积Cu-Al-O薄膜。傅立叶变换红外光谱显示薄膜中存在与CuAlO2相关的Cu—O,Al—O和O—Cu—O键。在可见光范围内Cu-Al-O薄膜具有较好的透过性,衬底温度为400℃~500℃时薄膜透过率在60%~70%之间,计算拟合得到Cu-Al-O薄膜的直接和间接带隙能分别为3.52eV和1.83eV左右,与多晶CuAlO2薄膜结果一致。在近室温区薄膜符合半导体热激活导电机制,其电导率随衬底温度的升高先增大后减小,500℃沉积的薄膜导电性较好,室温电导率达到2.36×10-3S·cm-1,这可能源于Cu-Al-O薄膜中与CuAlO2相关的键合形成情况的改善。 展开更多
关键词 Cu-al-O薄膜 衬底温度 透过率 电导率
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Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响 被引量:1
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作者 李冬梅 王旭波 +2 位作者 潘峰 牛洁斌 刘明 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期152-155,163,共5页
为了增加高频声表面波器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力,同时不增加薄膜在化学反应刻蚀中的难度,并精确地控制图形的尺寸,采用电子束蒸镀法研究了Zr过渡层和薄膜固化工艺对Al膜微结构、形貌、电性能及机械性能的影响。结果表... 为了增加高频声表面波器件用Al薄膜的功率承受力以及与基体的附着力,同时不增加薄膜在化学反应刻蚀中的难度,并精确地控制图形的尺寸,采用电子束蒸镀法研究了Zr过渡层和薄膜固化工艺对Al膜微结构、形貌、电性能及机械性能的影响。结果表明,适当厚度(5~30nm)的Zr过渡层增强了Al膜的(111)织构,增加了薄膜与LiNbO3基体的结合力,200°C固化后电阻率明显降低。拥有Zr过渡层的Al膜具有良好的工艺性能,通过反应离子刻蚀易获得精确的换能器图形。 展开更多
关键词 al Zr过渡层 附着力 电阻
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Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光学特性 被引量:6
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作者 房东玉 李朝玲 +2 位作者 李轩 戚雯 姚琲 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第2期105-110,共6页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法在载玻片上制备了不同Al掺杂量的Mg-Al共掺杂ZnO薄膜.在室温下利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光(PL)谱仪等手段分析了Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的微结构、形貌和发光特性.XRD结果表明Mg-Al... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法在载玻片上制备了不同Al掺杂量的Mg-Al共掺杂ZnO薄膜.在室温下利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光(PL)谱仪等手段分析了Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的微结构、形貌和发光特性.XRD结果表明Mg-Al共掺杂ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构;随着Al掺杂量的增加,共掺杂薄膜呈c轴取向生长.由SEM照片可知薄膜表面形貌随Al掺杂量的增加由颗粒状结构向纳米棒状结构转变.透射光谱表明共掺杂薄膜在可见光区内的透射率大于50%,紫外吸收边发生蓝移.在室温下的PL谱表明Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的紫外发射峰向短波长方向移动;Al掺杂摩尔分数为1%和3%的Mg-Al共掺杂ZnO薄膜的可见发射峰分别为596 nm的黄光和565 nm的绿光,黄光主要与氧间隙有关,而绿光主要与氧空位有关. 展开更多
关键词 ZNO薄膜 Mg—al共掺杂 溶胶一凝胶法 光致发光谱 缺陷能级
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采用真空磁控反应溅射和热水氧化法制备AlN_xO_y增透膜 被引量:4
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作者 池华敬 熊凯 +4 位作者 郭帅 许丽 王双 陈革 章其初 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期652-655,共4页
在3.2mm厚的低铁玻璃衬底上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体N2的混合气体中,真空磁控反应溅射沉积半透明的Al-AlN金属陶瓷薄膜。再将沉积该薄膜的玻璃试样浸入沸腾的去离子水中,经一定时间氧化后,制备成表面粗糙的AlN和Al2O3的陶瓷... 在3.2mm厚的低铁玻璃衬底上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体N2的混合气体中,真空磁控反应溅射沉积半透明的Al-AlN金属陶瓷薄膜。再将沉积该薄膜的玻璃试样浸入沸腾的去离子水中,经一定时间氧化后,制备成表面粗糙的AlN和Al2O3的陶瓷混合物增透膜AlNxOy。在3.2 mm厚的低铁玻璃上,溅射沉积厚度为120 nm的Al-AlN金属陶瓷薄膜,沸水氧化8 min,制备的单面增透膜AlNxOy试样的太阳透射比Te达93.5%,可见光透射比Tv达95.2%。制备的双面增透膜AlNxOy试样的Te,Tv进一步提高,Te高达95.6%,与未镀膜玻璃衬底的90.4%相比,增加了5.2%;Tv高达97.0%,与玻璃衬底的91.6%相比,增加了5.4%。 展开更多
关键词 增透膜 反应溅射 沸水氧化 薄膜 金属陶瓷 al-alN alN al2O3 alNxOy
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PLD方法制备的纳米Fe/Al薄膜的结构及应力分析 被引量:4
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作者 王锋 李俊 +3 位作者 李国俊 吴卫东 唐永健 孙卫国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1387-1390,共4页
采用PLD方法制备了Fe/Al合金薄膜,研究了Fe/Al合金薄膜的物相、结构、应力等。研究表明薄膜的沉积速率随着衬底温度的升高而降低。原子力显微镜(AFM)图像显示,薄膜表面平整、致密且光滑,均方根粗糙度小于1 nm。等离子体发射谱(ICP)表明F... 采用PLD方法制备了Fe/Al合金薄膜,研究了Fe/Al合金薄膜的物相、结构、应力等。研究表明薄膜的沉积速率随着衬底温度的升高而降低。原子力显微镜(AFM)图像显示,薄膜表面平整、致密且光滑,均方根粗糙度小于1 nm。等离子体发射谱(ICP)表明Fe/Al原子比为1∶1。X射线小角衍射(XRD)分析表明薄膜中的物相是Al0.5Fe0.5,Al0.5Fe0.5晶体具有简单立方结构(SC),晶格常数为0.297 nm,平均晶粒尺寸为81.74 nm,平均微畸变为0.007 6。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积(PLD) Fe/al合金薄膜 原子力显微镜(AFM) X射线衍射(XRD)
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多层膜CIA预制层后硒化法制备Cu(In_(1-x)Al_x)Se_2薄膜的研究 被引量:5
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作者 苏梦 薛钰芝 +1 位作者 周丽梅 武素梅 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期51-54,共4页
本文用真空蒸发法在玻璃衬底上蒸镀Cu-In-Al多层膜,后采用真空硒化退火获得Al含量不同的Cu(In1-xAlx)Se2多晶薄膜。通过SEM和XRD微观形貌结构分析发现,薄膜中Al的含量对薄膜的表面形貌和结构有一定影响。Al/(In+Al)比例越大,越容易获得... 本文用真空蒸发法在玻璃衬底上蒸镀Cu-In-Al多层膜,后采用真空硒化退火获得Al含量不同的Cu(In1-xAlx)Se2多晶薄膜。通过SEM和XRD微观形貌结构分析发现,薄膜中Al的含量对薄膜的表面形貌和结构有一定影响。Al/(In+Al)比例越大,越容易获得尺寸较小、分布比较均匀的晶粒。同时Al含量对薄膜的方阻有一定的影响,Al含量越高,方阻越大。而且Al含量的多少可以调节薄膜的禁带宽度的大小。 展开更多
关键词 Cu(In1-xalx)Se2薄膜 硒化 al/(In+al)
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