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A Novel Fully-Depleted Dual-Gate MOSFET
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作者 张国和 邵志标 +1 位作者 韩彬 刘德瑞 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1359-1363,共5页
A novel fully-depleted dual-gate MOSFET with a hetero-material gate and a lightly-doped drain is proposed. The hetero-material gate, which consists of a main gate and two side-gates,is used to control the surface pote... A novel fully-depleted dual-gate MOSFET with a hetero-material gate and a lightly-doped drain is proposed. The hetero-material gate, which consists of a main gate and two side-gates,is used to control the surface potential distribution. The fabrication process and the device characteristics are simulated with Tsuprem-4 and Medici separately. Compared to a common DG fully depleted SO1 MOSFET,the proposed device has much higher on/off current ratio and superior sub-threshold slope. The on/off current ratio is about 10^10 and the sub-threshold slope is nearly 60mV/dec under a 0.18μm process. 展开更多
关键词 hetero-material gate on/off current ratio sub-threshold slope SOI fet
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纳米MOSFET的多栅结构和应变硅纳米线结构 被引量:1
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作者 李小明 韩伟华 +2 位作者 张严波 陈燕坤 杨富华 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第11期689-696,共8页
介绍了在进入22nm技术节点后MOSFET器件的两个发展方向,即多栅结构和应变硅纳米线结构。首先通过分析特征长度与有效栅极数量的关系,表明多栅结构器件可以有效增强栅极对沟道的控制,抑制短沟道效应,接近理想的亚阈值斜率;然后分析了应... 介绍了在进入22nm技术节点后MOSFET器件的两个发展方向,即多栅结构和应变硅纳米线结构。首先通过分析特征长度与有效栅极数量的关系,表明多栅结构器件可以有效增强栅极对沟道的控制,抑制短沟道效应,接近理想的亚阈值斜率;然后分析了应变对能带结构的影响,从理论上论述了应变沟道可以显著提高载流子迁移率;最后介绍了悬浮硅纳米线通过热氧化诱导形成应变沟道的方法,并对应力来源进行了分析。纳米结构CMOS晶体管由平面沟道结构向立体沟道结构转变,将成为器件未来主流的发展方向。 展开更多
关键词 场效应晶体管 多栅结构 应变 硅纳米线 围栅
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GaAs开关FET功率特性的研究 被引量:3
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作者 王磊 马伟宾 刘帅 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第2期110-114,共5页
在GaAs单片微波集成电路(MMIC)设计中,开关场效应晶体管(FET)是研制开关、数控衰减器、数控移相器等电路的基础。基于0.15μm栅长GaAs开关FET,研究了GaAs开关FET在低频下的功率压缩特性。通过对开关FET的小信号等效电路和大信号模型的分... 在GaAs单片微波集成电路(MMIC)设计中,开关场效应晶体管(FET)是研制开关、数控衰减器、数控移相器等电路的基础。基于0.15μm栅长GaAs开关FET,研究了GaAs开关FET在低频下的功率压缩特性。通过对开关FET的小信号等效电路和大信号模型的分析,发现频率下降会降低开关FET的栅压,从而降低开关FET低频下的功率容量。通过增加栅极电阻来提高栅极电压,进而增加开关FET功率容量。最后通过实际的开关电路验证了增大栅极电阻可有效提高开关电路的功率容量,对今后的开关类器件设计工作起到一定的指导意义。 展开更多
关键词 砷化镓 场效应晶体管(fet) 栅极电阻 功率容量 功率压缩
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Ku波段高功率GaAs FET
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作者 陈克金 周焕文 李祖华 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期1-4,共4页
报导Ku波段高功率GaAsFET的制造技术,包括全离子注入、0.5μm自对准栅、高可靠欧姆接触、干法生长和刻蚀、背面通孔、内匹配和合成技术。器件由两个9.6mm栅宽的芯片组成,在11.2~11.7GHz频带内,一分口... 报导Ku波段高功率GaAsFET的制造技术,包括全离子注入、0.5μm自对准栅、高可靠欧姆接触、干法生长和刻蚀、背面通孔、内匹配和合成技术。器件由两个9.6mm栅宽的芯片组成,在11.2~11.7GHz频带内,一分口增益压缩输出功率8W,增益6dB,功率附加效率24%。 展开更多
关键词 离子注入 自对准栅 功率fet 砷化镓 KU波段
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FinFET纳电子学与量子芯片的新进展 被引量:1
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作者 赵正平 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第1期1-6,共6页
综述了后摩尔时代中两大发展热点:鳍式场效应晶体管(FinFET)纳电子学和基于量子计算新算法的量子芯片的发展历程和近两年的最新进展。在FinFET纳电子学领域,综述并分析了当今Si基互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路的发展现状,包括Fin... 综述了后摩尔时代中两大发展热点:鳍式场效应晶体管(FinFET)纳电子学和基于量子计算新算法的量子芯片的发展历程和近两年的最新进展。在FinFET纳电子学领域,综述并分析了当今Si基互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路的发展现状,包括FinFET的发展、10 nm和7 nm技术节点的量产、5 nm和3 nm技术节点的环栅场效应晶体管(GAAFET)和2 nm技术节点的负电容场效应晶体管(FET)的前瞻性技术研究以及非Si器件(InGaAs FinFET、WS2和MoS2两种2D材料的FET)的探索性研究。指出继续摩尔定律的发展将以Si基FinFET和GAAFET的技术发展为主。在量子芯片领域,综述并分析了超导、电子自旋、光子、金刚石中的氮空位中心和离子阱等五种量子比特芯片的发展历程,提高相干时间、固态化及多量子比特扩展等的技术突破,以及近几年在量子信息应用的新进展。基于Si基的纳米制造技术和新的量子计算算法的结合正加速量子计算向工程化的进展。 展开更多
关键词 鳍式场效应晶体管(Finfet) 环栅场效应晶体管(GAAfet) 负电容场效应晶体管(fet) InGaAs FINfet 超导量子芯片 电子自旋量子芯片 光子量子芯片 金刚石中的氮空位中心量子比特 离子阱量子芯片
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GaAs MMIC MESFET混频器性能比较 被引量:5
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作者 孙晓玮 程知群 夏冠群 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期110-115,共6页
给出了几种 Ga As MESFET单片混频器结构与芯片测试结果比较。实验表明 ,在相同本振功率激励下 Ga As MMIC双栅混频器具有良好变频特性 ,栅混频器指标次之 ,漏混频器结构最简单 ,但变频特性不如前两种。另外 ,单片巴仑双平衡混频器具有... 给出了几种 Ga As MESFET单片混频器结构与芯片测试结果比较。实验表明 ,在相同本振功率激励下 Ga As MMIC双栅混频器具有良好变频特性 ,栅混频器指标次之 ,漏混频器结构最简单 ,但变频特性不如前两种。另外 ,单片巴仑双平衡混频器具有高的动态范围和宽频段工作特点。 展开更多
关键词 砷化镓 单片集成电路 场效应晶体管 混频器
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双栅MOSFET的研究与发展 被引量:3
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作者 沈寅华 李伟华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期290-293,共4页
具有特殊结构的双栅 MOSFET是一种高速度、低功耗 MOSFET器件 ,符合未来集成电路发展的方向。文章介绍了多种双栅 MOSFET的结构、优点 ,以及近年来国内外对双栅 MOSFET的研究成果。
关键词 双栅结构 MOSfet SOI 集成电路
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新结构MOSFET 被引量:1
8
作者 林钢 徐秋霞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期527-530,533,共5页
 和传统平面结构MOSFET相比,新结构MOSFET具有更好的性能(如改善的沟道效应(SCE),理想的漏诱生势垒降低效应(DIBL)和亚阈值特性)和更大的驱动电流等。文章主要介绍了五种典型的新结构MOSFET,包括平面双栅MOSFET、FinFET、三栅MOSFET、...  和传统平面结构MOSFET相比,新结构MOSFET具有更好的性能(如改善的沟道效应(SCE),理想的漏诱生势垒降低效应(DIBL)和亚阈值特性)和更大的驱动电流等。文章主要介绍了五种典型的新结构MOSFET,包括平面双栅MOSFET、FinFET、三栅MOSFET、环形栅MOSFET和竖直结构MOSFET。随着MOSFET向亚50nm等比例缩小,这些新结构器件将大有前途。 展开更多
关键词 平面双栅MOSfet FINfet 三栅MOSfet 环形栅MOSfet 竖直结构MOSfet 集成电路
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三栅FET的总剂量辐射效应研究
9
作者 刘诗尧 贺威 +1 位作者 曹建明 黄思文 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期119-123,共5页
通过对赝MOS进行不同剂量的辐射,得到不同辐射条件下赝MOS器件的I-V特性曲线,并通过中带电压法进行分析,得出在不同辐射下SOI材料的埋氧层中产生的陷阱电荷密度和界面态电荷密度参数。采用这些参数并结合Altal三维器件模拟软件模拟了硅... 通过对赝MOS进行不同剂量的辐射,得到不同辐射条件下赝MOS器件的I-V特性曲线,并通过中带电压法进行分析,得出在不同辐射下SOI材料的埋氧层中产生的陷阱电荷密度和界面态电荷密度参数。采用这些参数并结合Altal三维器件模拟软件模拟了硅鳍(FIN)宽度不同的三栅FET器件的总剂量辐射效应,分析陷阱电荷在埋氧层的积累和鳍宽对器件电学特性的影响。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 总剂量效应 赝金属氧化物半导体场效应晶体管 三栅场效应晶体管
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Micro-accelerometer Based on Vertically Movable Gate Field Effect Transistor 被引量:1
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作者 Heung Seok Kang Kang-Hee Lee +2 位作者 Dong-Youk Yang Byoung Hee You In-Hyouk Song 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2015年第3期282-290,共9页
A vertically movable gate field effect transistor(VMGFET) is proposed and demonstrated for a microaccelerometer application. The VMGFET using air gap as an insulator layer allows the gate to move on the substrate vert... A vertically movable gate field effect transistor(VMGFET) is proposed and demonstrated for a microaccelerometer application. The VMGFET using air gap as an insulator layer allows the gate to move on the substrate vertically by external forces. Finite element analysis is used to simulate mechanical behaviors of the designed structure. For the simulation, the ground acceleration spectrum of the 1952 Kern County Earthquake is employed to investigate the structural integrity of the sensor in vibration. Based on the simulation, a prototype VMGFET accelerometer is fabricated from silicon on insulator wafer. According to current–voltage characteristics of the prototype VMGFET, the threshold voltage is measured to be 2.32 V, which determines the effective charge density and the mutual transconductance of1.545910-8C cm-2and 6.59 m A V-1, respectively. The device sensitivity is 9.36–9.42 m V g-1in the low frequency,and the first natural frequency is found to be 1230 Hz. The profile smoothness of the sensed signal is in 3 d B range up to1 k Hz. 展开更多
关键词 MEMS MICRO-ACCELEROMETER Suspended gate fet Vertically movable gate fet VMGfet
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单界面陷阱对7nm P型GAAFET性能影响研究
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作者 张珀菁 李小进 +2 位作者 禚越 孙亚宾 石艳玲 《微电子学》 CAS 北大核心 2020年第4期569-573,578,共6页
采用3D TCAD软件仿真分析了单界面陷阱对7 nm P型全环栅场效应晶体管DC和AC性能的影响。研究结果表明:单个陷阱能使转移特性曲线发生严重偏移;当单界面陷阱位于沟道中心附近且陷阱能级靠近导带时,对关态电流和阈值电压的影响最大;陷阱... 采用3D TCAD软件仿真分析了单界面陷阱对7 nm P型全环栅场效应晶体管DC和AC性能的影响。研究结果表明:单个陷阱能使转移特性曲线发生严重偏移;当单界面陷阱位于沟道中心附近且陷阱能级靠近导带时,对关态电流和阈值电压的影响最大;陷阱使栅电容的相对变化量小于1%;环栅晶体管沟道长度和纳米线直径的缩小会加重陷阱对器件性能的影响,高介电常数材料的Spacer可减小陷阱引起的沟道能带弯曲程度,从而缓解陷阱对器件性能的影响。在调节器件结构参数使器件性能最大化的同时,应使陷阱对器件性能的影响最小化。 展开更多
关键词 7 nm节点 全环栅场效应晶体管 单界面陷阱 阈值电压
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一种应用于低功耗电路设计的NCFET器件设计导向 被引量:1
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作者 杨廷锋 胡建平 倪海燕 《无线通信技术》 2019年第1期17-22,共6页
为了能够持续缩小MOSFET的工作电压,增加集成电路设计的灵活性,我们提出了一种铁电-金属-绝缘层-半导体-绝缘层(FMISI)结构的负电容独立栅FinFET(NC-IMG-FinFET)。给出了NC-IMG-FinFET器件及其反相器的分析模型,用于分析器件的性能参数... 为了能够持续缩小MOSFET的工作电压,增加集成电路设计的灵活性,我们提出了一种铁电-金属-绝缘层-半导体-绝缘层(FMISI)结构的负电容独立栅FinFET(NC-IMG-FinFET)。给出了NC-IMG-FinFET器件及其反相器的分析模型,用于分析器件的性能参数(阈值电压,亚阈值摆幅,导通电流和漏电流)及简单电路的性能指标(延时,功耗和功耗延时积)。结合独立栅的BSIM模型和铁电的Landau-Khalatnikov模型,构造出用于仿真验证的NC-IMG-FinFET的SPICE模型。基于对器件和电路的仿真,优化了铁电参数。仿真结果与理论分析结果一致,表明了NC-IMG-FinFET相比于基准器件更加卓越的性能:NC-IMG-FinFET在更低的工作电压下实现了更小的漏电流,更大的开关电流比,同时亚阈值摆幅突破了60mV/dec的限制;NC-IMG-FinFET电路的功耗和功耗延时积也得到了很大的改进。 展开更多
关键词 铁电体 负电容场效应管(NCfet) 独立栅Finfet 低功耗 器件优化 器件建模
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高k金属栅NMOSFET器件阈值电压调控方法
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作者 刘城 王爱记 +2 位作者 刘自瑞 刘建强 毛海央 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第1期13-19,25,共8页
实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战。TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器件阈值电压的调控。实验采用射频(RF)-直流(DC)磁控溅射... 实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战。TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器件阈值电压的调控。实验采用射频(RF)-直流(DC)磁控溅射的方式沉积TiAl薄膜,通过优化直流功率、射频功率和反应压强工艺参数,实现了对薄膜Ti/Al原子比率的调节,提高了Ti/Al原子比率分布均匀度。基于实验结果,采用后栅工艺流程制造HKMG NMOSFET,讨论不同的Ti/Al原子比率和TiAl层厚度对NMOSFET阈值电压的影响。Ti/Al原子比率增大10%,NMOSFET的阈值电压增加12.6%;TiAl层厚度增加2 nm,NMOSFET的阈值电压下降19.5%。这种方法已经被成功应用于HKMG器件的生产。 展开更多
关键词 高k金属栅(HKMG) 功函数层 磁控溅射 Ti/Al原子比率 阈值电压 n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSfet)
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STUDY OF F^--ISFET
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作者 何杏君 《Journal of Electronics(China)》 1992年第1期83-87,共5页
The fluorine ion sensitive field-effect transistor(F<sup>-</sup>-ISFET)is made by depositingvery thin LaF<sub>3</sub> film on grid of field-effect transistor with sputter method.The operating... The fluorine ion sensitive field-effect transistor(F<sup>-</sup>-ISFET)is made by depositingvery thin LaF<sub>3</sub> film on grid of field-effect transistor with sputter method.The operating principle,measuring method and measured results of F<sup>-</sup>-ISFET are given.The measured results show thatthis kind of sensor has higher sensitivity,shorter response time and better linearity.On the basisof experimental results,the factor of influencing the steadiness and repeatability of F<sup>-</sup>-ISFETare conjectured. 展开更多
关键词 FIELD-EFFECT transistor(fet) FLUORINE ion sensitive-fet Insulated gate-fet
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一种源漏缓冲浮栅型低漏电场效应晶体管
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作者 唐强 靳晓诗 《微处理机》 2023年第4期15-18,共4页
为解决当前主流晶体管MOSFET的反向泄漏电流较大的问题,并对传统FINFET做进一步优化,提出一种源漏缓冲浮栅型的具有较低漏电的场效应晶体管。所设计出的双向开关装置具有低静态功耗和低反向泄漏电流,只需一个独立外部供电的栅电极就可... 为解决当前主流晶体管MOSFET的反向泄漏电流较大的问题,并对传统FINFET做进一步优化,提出一种源漏缓冲浮栅型的具有较低漏电的场效应晶体管。所设计出的双向开关装置具有低静态功耗和低反向泄漏电流,只需一个独立外部供电的栅电极就可控制器件的导通、关断和浮栅擦写功能。通过改变器件中浮栅注入的电荷类型以及半导体中的掺杂浓度,即可使器件工作在不同的模式下,还可使整个器件拥有更低的反向漏电流和更高的正向导通电流。整体结构相互对称,源漏可以互换,因此具有更好的兼容性。 展开更多
关键词 鳍式场效应晶体管 浮栅 低漏电 低功耗
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Modeling of cylindrical surrounding gate MOSFETs including the fringing field effects
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作者 Santosh K.Gupta Srimanta Baishya 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第7期52-57,共6页
A physically based analytical model for surface potential and threshold voltage including the fringing gate capacitances in cylindrical surround gate(CSG) MOSFETs has been developed.Based on this a subthreshold drai... A physically based analytical model for surface potential and threshold voltage including the fringing gate capacitances in cylindrical surround gate(CSG) MOSFETs has been developed.Based on this a subthreshold drain current model has also been derived.This model first computes the charge induced in the drain/source region due to the fringing capacitances and considers an effective charge distribution in the cylindrically extended source/drain region for the development of a simple and compact model.The fringing gate capacitances taken into account are outer fringe capacitance,inner fringe capacitance,overlap capacitance,and sidewall capacitance.The model has been verified with the data extracted from 3D TCAD simulations of CSG MOSFETs and was found to be working satisfactorily. 展开更多
关键词 physics based modeling source/drain extension (SDE) cylindrical surrounding gate (CSG) MOS- fets fringing field surface potential threshold voltage
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Investigation and statistical modeling of InAs-based double gate tunnel FETs for RF performance enhancement
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作者 S.Poorvasha B.Lakshmi 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第5期30-40,共11页
In this paper,RF performance analysis of In As-based double gate(DG)tunnel field effect transistors(TFETs)is investigated in both qualitative and quantitative fashion.This investigation is carried out by varying t... In this paper,RF performance analysis of In As-based double gate(DG)tunnel field effect transistors(TFETs)is investigated in both qualitative and quantitative fashion.This investigation is carried out by varying the geometrical and doping parameters of TFETs to extract various RF parameters,unity gain cut-off frequency(f_t),maximum oscillation frequency(f_(max)),intrinsic gain and admittance(Y)parameters.An asymmetric gate oxide is introduced in the gate-drain overlap and compared with that of DG TFETs.Higher ON-current(ION)of about 0.2 mA and less leakage current(IOFF)of 29 f A is achieved for DG TFET with gate-drain overlap.Due to increase in transconductance(g_m),higher ft and intrinsic gain is attained for DG TFET with gate-drain overlap.Higher f_(max) of 985 GHz is obtained for drain doping of 5×10^(17)cm^(-3) because of the reduced gate-drain capacitance(C_(gd))with DG TFET with gate-drain overlap.In terms of Y-parameters,gate oxide thickness variation offers better performance due to the reduced values of Cgd.A second order numerical polynomial model is generated for all the RF responses as a function of geometrical and doping parameters.The simulation results are compared with this numerical model where the predicted values match with the simulated values. 展开更多
关键词 double gate tunnel fets gate-drain overlap unity gain cut-off frequency maximum oscillation frequency Y-parameters modeling
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Drive current of accumulation-mode p-channel SOI-based wrap-gated Fin-FETs
18
作者 张严波 杜彦东 +3 位作者 熊莹 杨香 韩伟华 杨富华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期29-33,共5页
Comparisons are performed to study the drive current of accumulation-mode(AM) p-channel wrap-gated Fin-FETs.The drive current of the AM p-channel FET is 15%-26%larger than that of the inversion-mode (IM) p-channel... Comparisons are performed to study the drive current of accumulation-mode(AM) p-channel wrap-gated Fin-FETs.The drive current of the AM p-channel FET is 15%-26%larger than that of the inversion-mode (IM) p-channel FET with the same wrap-gated fin channel,because of the body current component in the AM FET, which becomes less dominative as the gate overdrive becomes larger.The drive currents of the AM p-channel wrap-gated Fin-FETs are 50%larger than those of the AM p-channel planar FETs,which arises from effective conducting surface broadening and volume accumulation in the AM wrap-gated Fin-FETs.The effective conducting surface broadening is due to wrap-gate-induced multi-surface conduction,while the volume accumulation,namely the majority carrier concentration anywhere in the fin cross section exceeding the fin doping density,is due to the coupling of electric fields from different parts of the wrap gate.Moreover,for AM p-channel wrap-gated Fin-FETs, the current in channel along 110 is larger than that in channel along 100,which arises from the surface mobility difference due to different transport directions and surface orientations.That is more obvious as the gate overdrive becomes larger,when the surface current component plays a more dominative role in the total current. 展开更多
关键词 accumulation mode inversion mode wrap gate Fin-fet volume accumulation
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减小VDMOS密勒电容和反向恢复电荷的研究 被引量:6
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作者 肖志强 向军利 +4 位作者 衡草飞 陈林 曾天志 陈万军 张波 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期305-307,共3页
提出了在VDMOSFET中减小密勒电容和反向恢复电荷的一种新结构,该结构结合了肖特基接触和分段多晶硅栅的方法。数值分析仿真结果表明,在相同器件单元尺寸下,该结构优于常规VDMOSFET,密勒电容Cgd可减少73.25%,Qgd和导通电阻优值减小65.02%... 提出了在VDMOSFET中减小密勒电容和反向恢复电荷的一种新结构,该结构结合了肖特基接触和分段多晶硅栅的方法。数值分析仿真结果表明,在相同器件单元尺寸下,该结构优于常规VDMOSFET,密勒电容Cgd可减少73.25%,Qgd和导通电阻优值减小65.02%,显示出很好的QgdRds(on)改善性能;同时,反向恢复电荷减少了40.76%。 展开更多
关键词 VDMOS fet 栅电荷 密勒电容 导通电阻 反向恢复电荷
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平面天线在场效应晶体管太赫兹探测器中的应用 被引量:6
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作者 王晓东 颜伟 +3 位作者 李兆峰 张博文 黄镇 杨富华 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期1-13,共13页
为了提高场效应晶体管太赫兹探测器的响应度并降低噪声等效功率,需要对探测器集成平面天线的结构进行合理设计与优化,本文对集成平面天线结构的场效应晶体管太赫兹探测器的研究进行了深入调研。首先,对场效应晶体管太赫兹探测器的工作... 为了提高场效应晶体管太赫兹探测器的响应度并降低噪声等效功率,需要对探测器集成平面天线的结构进行合理设计与优化,本文对集成平面天线结构的场效应晶体管太赫兹探测器的研究进行了深入调研。首先,对场效应晶体管太赫兹探测器的工作原理进行了分析,介绍了集成平面天线如何解决耦合太赫兹波效率低的问题。然后,介绍了一些常用的平面天线结构,包括偶极子天线、贴片天线、缝隙天线、grating-gate和其他类型的结构,比较了各种天线的性能以及引入后对太赫兹探测器响应度的影响。通过对比不同天线结构的探测器响应度和噪声等效功率等参数指标,发现:采用平面天线结构之后,场效应晶体管太赫兹探测器的响应度有了大幅度的提升,各种类型的天线对探测器响应度都有不同程度的提升。本文着重介绍了几种集成于场效应晶体管的平面天线结构,包括各种天线的性能和研究进展,最后分析了场效应晶体管太赫兹探测器存在的问题和发展趋势。 展开更多
关键词 场效应晶体管太赫兹探测器 平面天线 grating-gate结构 响应度 噪声等效功率
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