基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统

为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。

超精密数控机床B旋转轴的可量化对刀方法

为了提高超精密数控机床旋转B轴的对刀精度和效率,基于3点坐标确定圆心的原理,提出了一种可量化的B旋转轴对刀方法。采用一种非接触式图像识别方式进行精确对刀,可避免对刀过程中金刚石刀具的破损,同时解决刀尖视场与机床坐标不一致的问题。利用Fresnel透镜模具加工实验验证了对刀精度,并通过激光显微镜检测沟槽里尖角的圆弧半径来确定对刀误差。实验结果表明:该可量化对刀方法的对刀误差为0.8μm,该误差在预先计算的理论误差1μm范围里。该对刀方法适用于超精密切削加工,且对刀的精度可以预测和控制。