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Study of the material removal mechanism of glass-ceramics based on consecutive incremental loading in ductile-regime grinding 被引量:2
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作者 Xue Li 《Nanotechnology and Precision Engineering》 EI CAS CSCD 2020年第2期88-95,共8页
Glass-ceramics have many excellent properties and are widely used in various fields. During the grinding process,the workpiece surface is typically subject to material removal by grit of incremental heights, which has... Glass-ceramics have many excellent properties and are widely used in various fields. During the grinding process,the workpiece surface is typically subject to material removal by grit of incremental heights, which has rarely been the focus of research. As such, it is necessary to study the material removal mechanism of glass-ceramics under consecutive incremental loading, which more closely reflects the actual grinding process. In this paper,to analyze the plastic deformation and residual stress of lithium aluminosilicate(LAS) glass-ceramics, a finite element model is established based on the Drucker–Prager yield criterion for ductile regimes. A nano-scratch test was also conducted and the test results show that both the residual depth and residual stress increase with an increase in the number of increments, and that consecutive incremental loading promotes the plastic deformation of glass-ceramics and increases the residual stress of the material in the ductile-regime process. These findings provide guidance for achieving higher dimensional accuracy in the actual grinding of glass-ceramics parts. 展开更多
关键词 GRINDING GLASS-CERAMICS scratch tests material removal mechanism Consecutive incremental loading
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Molecular dynamics simulation of the material removal in the scratching of 4H-SiC and 6H-SiC substrates 被引量:4
2
作者 Zige Tian Xun Chen Xipeng Xu 《International Journal of Extreme Manufacturing》 EI 2020年第4期86-100,共15页
Single crystal silicon carbide(SiC)is widely used for optoelectronics applications.Due to the anisotropic characteristics of single crystal materials,the C face and Si face of single crystal SiC have different physica... Single crystal silicon carbide(SiC)is widely used for optoelectronics applications.Due to the anisotropic characteristics of single crystal materials,the C face and Si face of single crystal SiC have different physical properties,which may fit for particular application purposes.This paper presents an investigation of the material removal and associated subsurface defects in a set of scratching tests on the C face and Si face of 4H-SiC and 6H-SiC materials using molecular dynamics simulations.The investigation reveals that the sample material deformation consists of plastic,amorphous transformations and dislocation slips that may be prone to brittle split.The results showed that the material removal at the C face is more effective with less amorphous deformation than that at the Si face.Such a phenomenon in scratching relates to the dislocations on the basal plane(0001)of the SiC crystal.Subsurface defects were reduced by applying scratching cut depths equal to integer multiples of a half molecular lattice thickness,which formed a foundation for selecting machining control parameters for the best surface quality. 展开更多
关键词 material removal mechanism molecular dynamics simulation subsurface defects scratching 4H-SiC and 6H-SiC
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Vibration-assisted material damage mechanism:From indentation cracks to scratch cracks
3
作者 Bingrui LV Bin LIN +5 位作者 Tianyi SUI Chunyan LIU Jinshuo ZHANG Longfei WANG Xuhui CHEN Jingguo ZHOU 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第8期527-546,共20页
Vibration-assisted grinding is one of the most promising technologies for manufacturing optical components due to its efficiency and quality advantages.However,the damage and crack propagation mechanisms of materials ... Vibration-assisted grinding is one of the most promising technologies for manufacturing optical components due to its efficiency and quality advantages.However,the damage and crack propagation mechanisms of materials in vibration-assisted grinding are not well understood.In order to elucidate the mechanism of abrasive scratching during vibration-assisted grinding,a kinematic model of vibration scratching was developed.The influence of process parameters on the evolution of vibration scratches to indentation or straight scratches is revealed by displacement metrics and velocity metrics.Indentation,scratch and vibration scratch experiments were performed on quartz glass,and the results showed that the vibration scratch cracks are a combination of indentation cracks and scratch cracks.Vibration scratch cracks change from indentation cracks to scratch cracks as the indenter moves from the entrance to the exit of the workpiece or as the vibration frequency changes from high to low.A vertical vibration scratch stress field model is established for the first time,which reveals that the maximum principal stress and tensile stress distribution is the fundamental cause for inducing the transformation of the vibration scratch cracking system.This model provides a theoretical basis for understanding of the mechanism of material damage and crack propagation during vibration-assisted grinding. 展开更多
关键词 Vibration assisted grinding INDENTATION Vibration scratch material removal mechanism Stress field model Crack propagation mechanism
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Fiber orientation effects on grinding characteristics and removal mechanism of 2.5D C_(f)/SiC composites 被引量:3
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作者 Cheng CAO Qinghua SONG +3 位作者 Hui FU Hansong JI Zhanqiang LIU Liping JIANG 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第12期425-441,共17页
Carbon fiber reinforced silicon carbide(C_(f)/SiC)composites are widely used in aerospace for their excellent mechanical properties.However,the quality of the machined surface is poor and unpredictable due to the mate... Carbon fiber reinforced silicon carbide(C_(f)/SiC)composites are widely used in aerospace for their excellent mechanical properties.However,the quality of the machined surface is poor and unpredictable due to the material heterogeneity induced by complex removal mechanism.To clarify the effects of fiber orientation on the grinding characteristics and removal mechanism,single grit scratch experiments under different fiber orientations are conducted and a three-phase numerical modelling method for 2.5D C_(f)/SiC composites is proposed.Three fiber cutting modes i.e.,transverse,normal and longitudinal,are defined by fiber orientation and three machining directions i.e.,MA(longitudinal and normal),MB(longitudinal and transverse)and MC(normal and transverse),are selected to investigate the effect of fiber orientation on grinding force and micro-morphology.Besides,a three-phase cutting model of 2.5D C_(f)/SiC composites considering the mechanical properties of the matrix,fiber and interface is developed.Corresponding simulations are performed to reveal the micro-mechanism of crack initiation and extension as well as the material removal mechanism under different fiber orientations.The results indicate that the scratching forces fluctuate periodically,and the order of mean forces is MA>MC>MB.Cracks tend to grow along the fiber axis,which results in the largest damage layer for transverse fibers and the smallest for longitudinal fibers.The removal modes of transverse fibers are worn,fracture and peel-off,in which normal fibers are pullout and outcrop and the longitudinal fibers are worn and push-off.Under the stable cutting condition,the change of contact area between fiber and grit leads to different removal modes of fiber in the same cutting mode,and the increase of contact area results in the aggravation of fiber fracture. 展开更多
关键词 2.5D C_(f)/SiC composites material removal mechanism Numerical modelling Single grit scratch experiments Surface morphology
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SiCp/Al复合材料纳米压痕/划痕下的脆塑性行为研究
5
作者 刘亚梅 王佳力 +2 位作者 谷岩 吴爽 李震 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第5期607-620,共14页
为探究SiCp/Al复合材料中两相材料相互作用引起的力学性能差异,研究微观尺度下法向载荷变化对SiCp/Al复合材料形变和去除的影响。采用纳米压痕实验,基于Oliver-Pharr法测得其硬度和弹性模量,并对其压痕表面进行观察,结合有限元仿真分析... 为探究SiCp/Al复合材料中两相材料相互作用引起的力学性能差异,研究微观尺度下法向载荷变化对SiCp/Al复合材料形变和去除的影响。采用纳米压痕实验,基于Oliver-Pharr法测得其硬度和弹性模量,并对其压痕表面进行观察,结合有限元仿真分析产生力学性能差异的原因;同时,根据纳米压痕实验所得力学参数进行变载荷纳米划痕仿真,并配合实验后划痕表面观察结果分析材料的形变和脆塑性行为。结果表明:当金刚石压头作用于SiC颗粒时,颗粒出现破碎和二次压入现象,所测硬度与弹性模量小于单晶SiC的理论值;当金刚石压头作用于基体相时,由于SiC颗粒阻碍基体压入,复合材料的硬度与弹性模量测量结果偏大。在纳米划痕过程中,复合材料的去除形式随载荷变化体现为划擦、耕犁和切削阶段,其中的基体相通过塑性流动产生塑性脊堆积并伴随有涂覆现象,SiC颗粒则以脱黏、断裂破碎和拔出等脆性机制而去除,且SiC颗粒的二次压入、断裂、破碎和拔出是导致复合材料力学性能与单晶SiC的力学性能产生巨大差异的主要原因。随着划痕载荷增加,SiC体积分数为45%的SiCp/Al复合材料的去除机制更多取决于以塑性去除为主的基体相,而SiC颗粒则主要表现为脆性去除。 展开更多
关键词 纳米压痕/划痕 SICP/AL复合材料 有限元仿真 力学性能 去除机制
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氧化锆陶瓷超声辅助磨削材料去除机理试验研究
6
作者 崔方方 丁凯 +2 位作者 刘盛 李奇林 何斌 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第4期78-83,共6页
为研究超声振动作用对先进陶瓷磨削材料去除机理的影响,文章在超声振动方向垂直于磨削表面条件下,采用钎焊磨头对氧化锆陶瓷开展了超声辅助磨削(ultrasonic assisted grinding,UAG)试验。基于磨削表面微观形貌、磨削力和磨削比能分析,... 为研究超声振动作用对先进陶瓷磨削材料去除机理的影响,文章在超声振动方向垂直于磨削表面条件下,采用钎焊磨头对氧化锆陶瓷开展了超声辅助磨削(ultrasonic assisted grinding,UAG)试验。基于磨削表面微观形貌、磨削力和磨削比能分析,对变磨削深度条件下普通磨削(conventional grinding,CG)与超声辅助磨削的材料去除机理进行了对比。结果表明:当磨削深度低于10μm时,两种方法对应的表面材料去除机理均以塑性去除为主,且普通磨削表面伴有片层状破碎,而超声辅助磨削表面则存在尺寸细小的纹路状微破碎,同时磨削力与磨削比能也较低。当磨削深度超过10μm后,材料去除机理均转变为脆性断裂模式,且加工表面出现微裂纹,但相同条件下超声辅助磨削表面微裂纹尺寸较小。 展开更多
关键词 超声辅助磨削 氧化锆陶瓷 材料去除机理 磨削力 磨削比能
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基于纳米划痕的熔石英玻璃去除机制与亚表面裂纹研究 被引量:1
7
作者 郭佳乐 伊浩 +2 位作者 朱力敏 孙玉利 左敦稳 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第16期151-158,共8页
目的研究熔石英玻璃在不同动态载荷作用下的材料去除机制和亚表面裂纹形成与扩展机理。方法对熔石英玻璃试样进行纳米划痕试验,分别从划痕轮廓、划痕力2个方面分析不同载荷下熔石英玻璃的力学行为,通过扫描电镜和光学显微镜观察划痕形貌... 目的研究熔石英玻璃在不同动态载荷作用下的材料去除机制和亚表面裂纹形成与扩展机理。方法对熔石英玻璃试样进行纳米划痕试验,分别从划痕轮廓、划痕力2个方面分析不同载荷下熔石英玻璃的力学行为,通过扫描电镜和光学显微镜观察划痕形貌,分析材料去除机制;采用逐层截面显微法对划痕截面的亚表面裂纹形貌进行观测,研究动态载荷下工件亚表面裂纹的形成与扩展机理。结果当动态载荷小于118mN时,材料发生塑性变形,亚表面未产生裂纹;当动态载荷大于118mN且小于245mN时,材料处于塑脆转变阶段,亚表面裂纹以动态载荷加载点为起点,向试样内部扩展形成赫兹锥形裂纹并伴有横向裂纹的存在;当动态载荷超过245mN时,材料进入完全脆性断裂阶段,亚表面裂纹不断扩展至表面导致材料破碎。结论随着动态载荷的不断增大,熔石英玻璃的材料去除经历了弹塑性变形、塑脆转变、脆性断裂3个阶段;亚表面裂纹受到动态载荷的影响,裂纹从载荷加载点形成,并沿着应力最大方向不断扩展,导致材料表面发生脆性断裂;熔石英玻璃的临界切深与其动态弹性模量成正比,与其流动应力成反比,动态冲击载荷使熔石英玻璃的临界切削深度下降,亚表面裂纹更易扩展,材料去除更快进入塑脆转变阶段。 展开更多
关键词 熔石英玻璃 材料去除 划痕轮廓 亚表面裂纹 动态载荷 断裂机制
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钨合金超声辅助划擦试验及仿真研究
8
作者 卢文涛 刘金帛 +3 位作者 张园 鲍岩 董志刚 康仁科 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期133-143,共11页
目的揭示钨合金在超声辅助磨削加工下的材料去除行为。方法通过超声辅助划擦试验与有限元仿真相结合的方式,分析超声振动作用对材料表面形貌、截面轮廓、划擦力、温度、塑性应变及应变率的影响,探究超声振动作用下的材料去除和表面创成... 目的揭示钨合金在超声辅助磨削加工下的材料去除行为。方法通过超声辅助划擦试验与有限元仿真相结合的方式,分析超声振动作用对材料表面形貌、截面轮廓、划擦力、温度、塑性应变及应变率的影响,探究超声振动作用下的材料去除和表面创成机理。结果钨合金在划擦过程中发生严重的塑性变形,在划痕两侧出现由耕犁作用而形成的隆起现象。超声辅助划擦形成的划痕表面鳞刺更少且未出现犁沟现象,且划痕深度相较于普通划擦增大14.1%,划痕宽度增大39%。随着划擦深度的增加,试验划擦力与仿真划擦力均线性增大,且仿真值与试验值误差为18.1%,验证了有限元仿真模型的有效性。超声振动作用下的划擦力呈周期性变化特征,使平均划擦力降低了43.2%。此外,仿真结果表明,超声辅助划擦相较于普通划擦,温度最高降低50%,表面塑性应变最高降低20%,超声冲击过程中材料的塑性应变率相较于普通划擦提高1个数量级,分离过程中塑性应变率最大降低2个数量级。结论超声振动作用可以有效降低划擦过程中的划擦力和划擦区域温度,增大冲击过程中材料的瞬时应变率,改善压头的切屑黏附现象,从而抑制划擦表面鳞刺的生成和犁沟的形成,改善表面质量。此外,超声振动作用还可以有效提高材料去除率。 展开更多
关键词 钨合金 单颗金刚石 超声辅助划擦 材料去除机理 有限元仿真
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单颗CBN磨粒超声振动辅助磨削AISI 304材料去除机理
9
作者 杨震宇 邹平 +1 位作者 周亮 王安琪 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1011-1019,共9页
为了解释超声作用下磨粒切削材料的去除机理,对单粒磨削过程进行了分析,建立了未变形切削厚度和磨粒与试件的固定速度比(vs/vw)的数学模型.在AISI 304试件上进行了固定速度比的普通磨削(conventional grinding,CG)、切向超声振动辅助磨... 为了解释超声作用下磨粒切削材料的去除机理,对单粒磨削过程进行了分析,建立了未变形切削厚度和磨粒与试件的固定速度比(vs/vw)的数学模型.在AISI 304试件上进行了固定速度比的普通磨削(conventional grinding,CG)、切向超声振动辅助磨削(tangential ultrasonic vibration assisted grinding,TUVAG)以及径向超声振动辅助磨削(radial ultrasonic vibration assisted grinding,RUVAG)的单颗粒试验.结果表明,在固定速度比条件下,试件在CG与TUVAG作用下都是以塑性变形的形式去除,但超声辅助显著提高了材料去除率.试件在RUVAG作用下材料的去除方式与未变形切削最大厚度agmax的值息息相关.agmax小于0.8μm时,试件表现为脆性断裂的形式去除;之后随着agmax逐渐增大,试件转变为塑性变形的形式去除. 展开更多
关键词 单颗CBN(立方氮化硼)磨粒 未变形切削厚度 超声振动辅助磨削 表面形貌 材料去除机理
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SiC_(p)/Al复合材料超声振动划痕试验及仿真研究
10
作者 王峰 徐文博 +1 位作者 黄红涛 杨树峰 《工具技术》 北大核心 2024年第9期35-41,共7页
针对SiC_(p)/Al复合材料加工质量较差的问题提出了超声振动辅助微尺度加工的策略。通过Python软件构建了SiC陶瓷颗粒随机分布的有限元模型,对普通刻划和超声刻划两种条件下陶瓷颗粒和铝合金基体的材料去除机理进行分析。在有限元仿真分... 针对SiC_(p)/Al复合材料加工质量较差的问题提出了超声振动辅助微尺度加工的策略。通过Python软件构建了SiC陶瓷颗粒随机分布的有限元模型,对普通刻划和超声刻划两种条件下陶瓷颗粒和铝合金基体的材料去除机理进行分析。在有限元仿真分析的基础上,设计了维氏压头超声振动刻划试验,对刻划力、划痕表面形貌和表面粗糙度进行了研究。研究结果表明:普通刻划过程中主要为SiC陶瓷颗粒的脱离和压入,超声刻划过程中主要为陶瓷颗粒破损;超声振动可以有效降低刻划力和划痕粗糙度,从而提高SiC_(p)/Al复合材料的加工质量;普通刻划和超声刻划试验的刻划力均值分别为12.818N和9.258N,仿真和试验之间刻划力的误差为8.7%;普通刻划和超声刻划试验的粗糙度均值分别为0.933μm和0.581μm,仿真和试验之间粗糙度的误差为5.5%。 展开更多
关键词 铝基碳化硅 超声振动 划痕试验 有限元仿真 材料去除机理
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基于单颗金刚石划擦的单向C_(f)/SiC复合材料去除机理
11
作者 温家宙 王庆霞 +1 位作者 余爱武 吴重军 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第3期327-334,共8页
为研究单向C_(f)/SiC复合材料划擦去除机理,采用单颗金刚石磨粒开展准静态划擦试验,分析不同压痕载荷下划擦材料的声发射信号变化,结合SEM形貌分析材料的去除行为和划擦去除机理。试验结果表明:声发射信号强度随着压痕载荷增加而增强,... 为研究单向C_(f)/SiC复合材料划擦去除机理,采用单颗金刚石磨粒开展准静态划擦试验,分析不同压痕载荷下划擦材料的声发射信号变化,结合SEM形貌分析材料的去除行为和划擦去除机理。试验结果表明:声发射信号强度随着压痕载荷增加而增强,相同参数下SB方向信号值更大,信号波动更剧烈。结合声发射信号与SEM形貌分析,得出材料在不同方向的划擦去除行为,材料以脆性去除为主,SA方向纤维以拉伸断裂和纤维拔出为主,SB方向纤维主要断裂方式为弯曲断裂和剪切断裂。根据SEM形貌分析,阐述去除行为的形成过程,即解释材料划擦去除机理。 展开更多
关键词 单向C_(f)/SiC复合材料 单颗磨粒划擦试验 声发射信号 材料去除机理
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基于纤维增强复合材料的超声振动辅助加工技术综述 被引量:19
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作者 史振宇 崔鹏 +3 位作者 李鑫 万熠 袁杰 蔡玉奎 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期305-319,共15页
纤维增强复合材料是一类使用范围不断扩大的具有优良机械性能的工程复合材料,但由于其具有各向异性及增强体纤维稳定的理化性能,使得传统金属加工方法很难对纤维增强复合材料进行高质量的加工,特别是对于以芳纶纤维等断裂伸长率较高的... 纤维增强复合材料是一类使用范围不断扩大的具有优良机械性能的工程复合材料,但由于其具有各向异性及增强体纤维稳定的理化性能,使得传统金属加工方法很难对纤维增强复合材料进行高质量的加工,特别是对于以芳纶纤维等断裂伸长率较高的纤维为增强体的复合材料,存在较为严重的撕裂、毛刺和分层等加工缺陷。超声振动辅助加工是一种将超声振动附加在机械加工过程中的加工方式。超声振动的加入可使刀具与工件周期性接触,减小切削阻力,降低切削温度,可在一定程度上提高纤维增强复合材料加工的表面质量,减少加工缺陷。在介绍超声振动辅助技术的分类、系统组成和加工机理,及纤维复合材料表面质量、材料去除、加工机理和加工缺陷的基础上,从套料制孔、螺旋铣孔和轮廓铣削三类常见加工工艺方面,论述了针对纤维复合材料的超声振动辅助切削技术的国内外研究进展。基于纤维复合材料超声振动辅助切削技术的发展状况,从基础理论研究、材料表面改性和新加工工艺探索、超声振动加工系统的开发完善等方面,总结了现有研究和应用中的成果及普遍存在的问题,同时对未来研究的发展趋势做出了展望。 展开更多
关键词 纤维增强 复合材料 超声振动 切削加工 材料去除机理 表面缺陷
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超声研齿不灵敏性振动切削机理与实验 被引量:5
13
作者 魏冰阳 杨建军 +1 位作者 邓效忠 方宗德 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2007年第4期491-493,共3页
提出了超声研磨螺旋锥齿轮的理论与方法。分析了超声研齿不灵敏性振动切削机理。超声振动使研磨切削抗力减小,动态啮合精度提高,因此,使研磨效率与齿面质量得到相应提高。进行了普通与超声研齿对比试验表明,超声研齿材料去除率可达到普... 提出了超声研磨螺旋锥齿轮的理论与方法。分析了超声研齿不灵敏性振动切削机理。超声振动使研磨切削抗力减小,动态啮合精度提高,因此,使研磨效率与齿面质量得到相应提高。进行了普通与超声研齿对比试验表明,超声研齿材料去除率可达到普通研磨的三倍,齿面微切削与塑性流动纹理明显,点蚀深度、划痕长短均匀,齿面质量明显优于普通研磨齿面,即粗糙度低至0.2μm,轮廓支承长度率Rmr(c)=100%,水平截距c=1.2μm。 展开更多
关键词 超声研磨 材料去除率 不灵敏性振动切削机理
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发动机缸套高效超声珩磨的材料去除机理研究 被引量:7
14
作者 赵波 翁世修 朱训生 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期342-346,共5页
建立了发动机缸套 (塑 脆性材料 )高效超声珩磨的材料去除率理论模型 ,给出了普通和超声珩磨的材料去除率公式 ,分析了超声珩磨材料的高效去除机理。试验验证了理论模型的正确性。研究表明 :超声珩磨方法对于不同材料的发动机缸套来说 。
关键词 发动机 缸套 加工 超声珩磨 材料去除机理
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超声振动辅助磨削脆性材料去除机理 被引量:6
15
作者 张洪丽 张建华 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期32-36,共5页
脆性材料塑性去除有利于提高加工表面质量。采用切向、轴向和径向超声振动辅助磨削加工方法,对烧结钕铁硼NdFeB永磁材料去除机理进行了试验研究,结合脆性材料去除脆-塑性转变临界条件,分析了不同超声振动辅助方式对材料去除机理的影响... 脆性材料塑性去除有利于提高加工表面质量。采用切向、轴向和径向超声振动辅助磨削加工方法,对烧结钕铁硼NdFeB永磁材料去除机理进行了试验研究,结合脆性材料去除脆-塑性转变临界条件,分析了不同超声振动辅助方式对材料去除机理的影响。分析得出以下结论:轴向超声振动辅助磨削加工过程中,材料主要以塑性剪切的方式去除;切向超声振动辅助磨削加工过程中,材料主要以塑性方式去除,同时伴有少量沿晶断裂;径向超声振动辅助磨削加工过程中,工件材料主要以断裂破碎的方式去除,而且加工表面残留裂纹。因而,轴向超声振动辅助磨削最有利于实现脆性材料塑性去除。 展开更多
关键词 超声振动 磨削 脆塑性转变 脆性材料 材料去除机理
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超声振动在非金属硬脆材料加工中的应用 被引量:7
16
作者 郭昉 田欣利 +2 位作者 张保国 杨俊飞 刘超 《新技术新工艺》 2009年第9期14-19,共6页
非金属硬脆材料具有独特的性质,使其在诸多行业的应用日益广泛。本文从材料的去除机理入手,提出了非金属硬脆材料加工难的问题,由此引出超声振动加工。结合近年来相关的文献资料,对国内外非金属材料加工中超声振动的应用进行了系统综述。
关键词 去除机理 非金属硬脆材料 超声振动
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钽表面划痕过程声发射特性 被引量:2
17
作者 冯超 何永勇 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2017年第8期20-24,共5页
以集成电路阻挡层材料钽为对象,研究其表面划痕过程中的声发射特性,初步探索材料去除机制,分析划痕参数对声发射特性的影响,为采用声发射技术监测材料去除过程提供依据。结果显示:在划痕过程中,钽交替经历犁沟和塑性流动,形成深浅起伏... 以集成电路阻挡层材料钽为对象,研究其表面划痕过程中的声发射特性,初步探索材料去除机制,分析划痕参数对声发射特性的影响,为采用声发射技术监测材料去除过程提供依据。结果显示:在划痕过程中,钽交替经历犁沟和塑性流动,形成深浅起伏的沟槽,并产生连续型声发射信号;随着划痕速度增加,信号强度增高,包络波动更剧烈,冲击性更强,而中位频率先升高、后稳定甚至降低;随着划痕载荷增加,信号增强,冲击性呈正相关变化。钽的表面划痕过程可以用声发射表征。 展开更多
关键词 划痕 声发射 材料去除机制
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微电子材料CMP加工中去除率与速度的关系 被引量:1
18
作者 严波 吕欣 张晓敏 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期104-106,共3页
通过研究微电子材料化学机械平坦化(CMP)加工过程中磨料颗粒在晶片加工表面的运动规律,得到磨料颗粒在晶片表面的运动轨迹方程。当晶片和垫板的转动角速度相同时,得出材料去除率(MMR)与垫板和晶片相对速度成正比的结论。给出了磨料颗粒... 通过研究微电子材料化学机械平坦化(CMP)加工过程中磨料颗粒在晶片加工表面的运动规律,得到磨料颗粒在晶片表面的运动轨迹方程。当晶片和垫板的转动角速度相同时,得出材料去除率(MMR)与垫板和晶片相对速度成正比的结论。给出了磨料颗粒在晶片加工表面形成的刮痕迹线实例。其结果对于正确理解微电子材料CMP加工中的材料去除机理具有实际意义。 展开更多
关键词 微电子材料 化学机械平坦化 材料去除率 刮痕
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超声椭圆振动-化学机械复合抛光硅片实验研究 被引量:2
19
作者 杨卫平 徐家文 吴勇波 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期912-917,共6页
在研制超声椭圆振动-化学机械复合抛光硅片实验装置基础上,进一步开展了抛光压力P,抛光点速度v及抛光液供给量Q等可控工艺参数对硅片抛光表面粗糙度、表面形貌和材料去除率影响的有无超声椭圆振动辅助抛光的对比实验研究.实验结果表明:... 在研制超声椭圆振动-化学机械复合抛光硅片实验装置基础上,进一步开展了抛光压力P,抛光点速度v及抛光液供给量Q等可控工艺参数对硅片抛光表面粗糙度、表面形貌和材料去除率影响的有无超声椭圆振动辅助抛光的对比实验研究.实验结果表明:抛光工具的超声椭圆振动有利于抛光垫保持良好的表面形貌和抛光区获得良好的工作状况,提高硅片材料的去除率;抛光压力对抛光质量的影响最大,抛光速度次之,抛光液供给量影响最小;在最佳抛光效果情况下,可使硅片抛光表面粗糙度值由传统抛光法所获得的Ra0.077μm降到超声辅助抛光法的Ra0.042μm,材料去除率最多可提高18%,并且工件表面形貌有明显改善. 展开更多
关键词 超声椭圆振动 化学机械抛光 复合 表面形貌 材料去除率
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碳化硅超声-电化学机械抛光试验研究 被引量:5
20
作者 翟文杰 翟权 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期16-21,共6页
为探究超硬脆碳化硅(Si C)材料的高效研抛方法,分别应用铸铁抛光盘、聚氨酯抛光盘、半固结磨粒抛光盘在自来水、KOH溶液、芬顿反应液3种研抛液中通过控制变量法对Si C进行了超声-电化学机械研抛试验,得到以试件材料去除率和表面质量为... 为探究超硬脆碳化硅(Si C)材料的高效研抛方法,分别应用铸铁抛光盘、聚氨酯抛光盘、半固结磨粒抛光盘在自来水、KOH溶液、芬顿反应液3种研抛液中通过控制变量法对Si C进行了超声-电化学机械研抛试验,得到以试件材料去除率和表面质量为评价指标的优化抛光工艺参数.试验结果表明:使用铸铁抛光盘时材料去除率高,但表面质量差;使用半固结磨粒抛光盘时表面质量最好,但材料去除率低;芬顿反应液对提高试件的材料去除率效果最好;在试件与抛光盘之间的电压为+10 V时,试件的材料去除率最高,比无电压时提高了55.1%;当试件保持环施加超声振动后,比无超声时材料去除率提高了91.7%,可见超声振动对Si C试件抛光起主要作用. 展开更多
关键词 碳化硅 超声 电场 机械抛光 材料去除率 表面粗糙度
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