变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测

针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了单色器波长扫描原理,给出角度与波长的关系;接着,理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系;最后,介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤。利用该方法完成了VAPGM平面镜(PM)和平面光栅(PG)转角精度的检测,结果分别为0.19″,0.22″,满足单色器技术指标要求。在电离室在线检测了标定后的单色器系统的分辨率,测试结果好于10000,进一步验证了该检测方法的有效性。

变包含角平面光栅单色器的性能检测

针对高分辨变包含角平面光栅单色器(VAPGM)工作在超高真空环境下需具有极高的精度,本文基于自准直法,研究了VAPGM波长扫描机构转角精度、光斑水平漂移重复精度以及光栅切换机构重复精度的检测方法。利用该方法完成了VAPGM的离线检测,其中,波长扫描机构平面镜(PM)和平面光栅(PG)的转角精度检测结果分别为0.19″、0.22″,满足设计指标0.43″。并且,光斑水平漂移重复精度以及光栅切换机构重复精度的检测结果也均达到了理论设计指标,表明了检测方法的有效性。