小型涡轮分子泵动叶片设计与制造技术研究

本文从结构设计角度分析了叶片轴向高度h、节距a、叶片角α、叶片数z、叶片厚度δ等结构参数对压缩比的影响,并基于分析结论提出了薄叶片分子泵叶轮的设计思想;采用有限元计算分析涡轮分子泵运行时叶片的应力状态,获知叶片工作时产生的应力几乎与叶片厚度无关,从而为薄叶片的设计提供在强度理论方面的支持;最后,通过工艺优化,试制出薄叶片的小型涡轮分子泵,该试制件在测试中转速达到了60000 rpm,使用效果良好。