基于模糊神经网络的晶圆制造产出率预测方法研究

晶圆侦测产出率指标的准确预测,对晶圆制造系统的投料计划和调度优化具有重要意义。为提高晶圆侦测产出率指标的预测精度,提出了一种基于模糊神经网络的晶圆产出率预测方法。基于某晶圆制造企业的实际生产数据,与传统的基于神经网络模型、泊松模型和负二项式模型的晶圆产出率预测方法进行比较,结果表明基于模糊神经网络的晶圆产出率预测方法具有更高的预测精度,证明了该预测方法的有效性。