半导体硅片加工过程复合控制策略研究及仿真

复合优先级控制策略CPC是一种兼顾投料与调度策略的生产过程综合控制策略。通过比较加工任务的复合优先级系数,CPC策略能够确定下一个加工任务,以及决定何时投放新工件。CPC策略甚至能够暂停非瓶颈设备以避免瓶颈设备前的在制品堆积。仿真结果表明,这种复合控制策略是一种能够同时优化多种性能指标的生产过程控制策略,可降低加工周期及其方差,减少生产过程中的在制品数,提高设备利用率及生产率等。

基于模糊逻辑决策的Interbay系统晶圆卡运输成本模型

为了提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型。基于300mm晶圆制造系统数据进行仿真实验并与固定权重的晶圆卡运输成本模型进行比较,结果表明采用该模型能获得更优的Interbay系统多目标调度性能,表明论文提出的基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型是有效的。