有限长迭代学习控制及在扫描光刻中的应用

提出一种有限长迭代学习控制策略,用来减小扫描光刻系统的预扫描时间。首先给出扫描光刻系统的结构和扫描轨迹,并提取系统在扫描方向的运动控制模型;其次通过闭环整定得到系统的脉冲响应系数,并基于名义系统的优化指标进行离线运算,得到非因果迭代学习控制律的学习系数。为减小迭代学习控制律对扫描周期的依赖性,以学习矩阵的主对角线为中心,提取截短的有效学习系数,构成有限长脉冲响应学习控制律。此外还给出了有限长学习控制律的收敛性证明,并对学习控制律的鲁棒性进行了讨论。最后将上述方法应用于扫描光刻实验平台,实验结果表明:有限长迭代学习控制律可以有效地减小扫描光刻系统的预扫描时间。