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Development of Dual-light Path Monitoring System of Optical Thin-film Thickness 被引量:4
1
作者 许世军 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2005年第1期77-82,共6页
The accurate monitoring of optical thin-film thickness is a key technique for depositing optical thin-film. For existing coating equipments, which are low precision and automation level on monitoring thin-film thickne... The accurate monitoring of optical thin-film thickness is a key technique for depositing optical thin-film. For existing coating equipments, which are low precision and automation level on monitoring thin-film thickness, a new photoelectric control and analysis system has been developed. In the new system, main techniques include a photoelectric system with dual-light path, a dual-lock-phase circuit system and a comprehensive digital processing-control-analysis system.The test results of new system show that the static and dynamic stabilities and the control precision of thin-film thickness are extremely increased. The standard deviation of thin-film thickness, which indicates the duplication of thin-film thickness monitoring, is equal to or less than 0.72%. The display resolution limit on reflectivity is 0.02 %. In the system, the linearity of drift is very high, and the static drift ratio approaches zero. 展开更多
关键词 光学机械 薄膜厚度监控 稳定性 等光路径 生长工艺
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光学镀膜宽带膜厚监控系统 被引量:21
2
作者 刘晓元 黄云 +1 位作者 周宁平 龙兴武 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期23-27,共5页
针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率 (反射率 )的固有缺陷 ,提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数 (折射率 )等参数 ,并据此不断修正目标透射率 (反射率 )的设想 ,从而从根本上克服过去的宽带膜厚... 针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率 (反射率 )的固有缺陷 ,提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数 (折射率 )等参数 ,并据此不断修正目标透射率 (反射率 )的设想 ,从而从根本上克服过去的宽带膜厚监控法的固有缺陷。建立了基于修正膜层目标光谱特性的宽带膜厚监控系统 ,阐述了它的结构和工作原理。进行了稳定性实验及一系列镀膜监控实验 ,实验结果表明 ,该系统透射率的重复测量精度优于 2‰ ,膜厚监控精度较高 ,重复性好 ,各层的终点膜厚判定精度优于 1 %。 展开更多
关键词 光学薄膜 镀膜 膜厚监测 宽带膜厚监控系统
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CCD在光学镀膜宽带膜厚监控系统中的应用研究 被引量:10
3
作者 刘晓元 周宁平 +1 位作者 黄云 龙兴武 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第2期143-145,149,共4页
讨论了 CCD的主要特性及对宽带膜厚监控系统的影响 ,介绍了典型的 CCD数据采集系统。建立了一套基于 CCD的宽带膜厚监控系统 ,并对该系统进行了光谱标定及光谱补偿 ,给出了提高信噪比及减小非线性影响的处理方法。
关键词 CCD 光学镀膜 膜厚监控 宽带膜厚监控
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光学薄膜膜厚监控方法及其进展 被引量:17
4
作者 廖振兴 杨芳 夏文建 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期10-12,共3页
针对目前膜厚监控技术的广泛使用和其方法的日益多样性 ,力图对光学薄膜膜厚监控方法作一个全面、细致的描述。包括膜厚监控方法的分类、进展和展望 。
关键词 光学薄膜 膜厚监控
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实时光学薄膜膜厚监控系统研究 被引量:8
5
作者 刘雄英 黄光周 于继荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期306-308,311,共4页
在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制。
关键词 光学薄膜 膜厚监控 极值点判断
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激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文) 被引量:5
6
作者 李珊 付秀华 +1 位作者 苏佳妮 赵缨慰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第5期853-856,共4页
针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod... 针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod灵敏度算法分析膜层的相对灵敏度,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,寻求膜系的最佳控制方法。所镀膜层在垂直入射的条件下,905 nm波长的透过率达86%以上,半峰值宽度为23 nm,并且通过提高膜厚控制精度解决了中心波长漂移、膜层吸收等问题。该膜层能够承受激光光源的照射,抵御恶劣的使用环境。 展开更多
关键词 薄膜 窄带滤光膜 膜厚监控 相对灵敏度
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基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统 被引量:2
7
作者 罗宇强 任豪 +2 位作者 王巧彬 李康业 范力维 《真空》 CAS 北大核心 2008年第6期57-59,共3页
本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,并进行了一系列镀膜... 本文介绍了一种基于光纤光谱仪的宽光谱综合监控系统,该系统在光学镀膜过程中,采用实时宽光谱、评价函数、单波长极值、色度分析等多种方法综合监控光学薄膜膜厚。详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,并进行了一系列镀膜实验。实验结果表明该系统能够实现光学镀膜在线实时监控,且非常适合国产镀膜设备的升级改造。 展开更多
关键词 光纤光谱仪 光学薄膜 宽光谱 膜厚监控 综合监控 LabVIEW
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粮食筛选系统中双通道带通滤光膜的研制 被引量:4
8
作者 付秀华 何松霖 +3 位作者 贾星明 刘冬梅 张静 刘爽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期21-26,共6页
利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道... 利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道带通滤光片进行研制,从膜系设计理论出发,采用了Smith法结合膜系设计软件设计了以周期膜系和非周期膜系相结合的双通道带通滤光膜系,利用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法进行制备并通过数学建模分析,减小了实验误差对光谱的影响.在1 200nm和1 450nm波段得到平均透射率大于97%,1 000~1 130nm和1 570~2 000nm波段平均透射率小于1%的滤光膜,通过系统测试,满足使用要求. 展开更多
关键词 光学薄膜 双通道带通滤光膜 Smith法 粮食筛选 膜系设计 真空镀膜 膜厚监控
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一种监控非规整膜系的新方法 被引量:2
9
作者 陈德军 杨亚培 方曼 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期37-40,共4页
由透过率和波长的函数关系可知,膜系中每一层都可能存在若干波长的光信号会出现极值偏转。利用这些波长作为每层膜的监控波长,满足光电极值法的监控条件,由此提出了一种监控非规整膜系的新方法。这些波长可以通过波长搜索的方法而得出... 由透过率和波长的函数关系可知,膜系中每一层都可能存在若干波长的光信号会出现极值偏转。利用这些波长作为每层膜的监控波长,满足光电极值法的监控条件,由此提出了一种监控非规整膜系的新方法。这些波长可以通过波长搜索的方法而得出。从监控模拟和随机误差曲线可知,该方法继承了光电极值法简单易行以及自动补偿等优点,其反射率在 0.1%范围内变化,与理论曲线基本吻合。 展开更多
关键词 膜厚监控 光学薄膜 真空镀膜 计算机模拟
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离子束辅助沉积红外增透薄膜工艺 被引量:4
10
作者 傅晶晶 付秀华 邢政 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2008年第2期43-45,共3页
光纤接入网络的快速发展对光纤传输的光学性能方面提出了严格的要求。文中阐述了电子束离子辅助沉积系统在室温下镀制光纤端面近红外1520nm~1580nm范围增透膜的应用。讨论了膜料的选择、膜系的设计以及镀制过程中光学监控的工艺参数,... 光纤接入网络的快速发展对光纤传输的光学性能方面提出了严格的要求。文中阐述了电子束离子辅助沉积系统在室温下镀制光纤端面近红外1520nm~1580nm范围增透膜的应用。讨论了膜料的选择、膜系的设计以及镀制过程中光学监控的工艺参数,制备出了光学性能较好的薄膜。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 红外增透膜 光纤 膜厚控制
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基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制 被引量:3
11
作者 王巧彬 任豪 罗宇强 《光学仪器》 2006年第5期66-70,共5页
介绍了一种基于LabV IEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言(LabV IEW)在此系统中的应用;监控系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜的光谱特性检测。
关键词 光学薄膜 宽光谱 膜厚监控 光谱特性 LABVIEW
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光学薄膜膜厚监控中极值法的应用 被引量:1
12
作者 杨亚生 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期74-78,共5页
极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。
关键词 光学薄膜 膜厚监控 极值法
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光学薄膜厚度实时监控系统检测电路设计
13
作者 倪原 齐华 李锂 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2004年第3期62-64,共3页
提出了一种多层1/4波长膜系的薄膜厚度监控系统的检测电路的设计方法,该方法采用了以锁定放大器为核心的检测电路。根据锁定放大器的工作原理,提出了利用锁定放大器检测微弱信号的实验方法,并指出了影响测量的几个参数。
关键词 监控 薄膜厚度 光学常数
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基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值
14
作者 马孜 赵汝进 +4 位作者 姚远程 肖琦 姚德武 何长涛 袁胜 《微计算机信息》 北大核心 2007年第26期190-192,共3页
针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定... 针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定方法。最后通过DSP开发平台实现上述算法。实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.07%。 展开更多
关键词 薄膜 自适应卡尔曼滤波 光学膜厚监控
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用复合监控法镀制的TEA CO_2激光器增透膜
15
作者 杨春华 夏文建 +2 位作者 李蓬 余文峰 程祖海 《光学与光电技术》 2007年第1期75-78,共4页
比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点,提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法,利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5%,且具有良好的稳定性和重复性。
关键词 光学薄膜 膜厚监控 复合监控 TEA CO2激光器
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四光束镀膜监控系统
16
作者 许世军 任小玲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1031-1036,共6页
针对通用镀膜仪膜厚监控的稳定性、精度和自动化程度不高的状况,研究了一套新的光电控制分析系统。设计了基于双频调制的四光束光电测试系统,采用双锁相电路和复合滤波的综合数字处理系统进行膜厚监控信号处理,并通过控制分析系统实现... 针对通用镀膜仪膜厚监控的稳定性、精度和自动化程度不高的状况,研究了一套新的光电控制分析系统。设计了基于双频调制的四光束光电测试系统,采用双锁相电路和复合滤波的综合数字处理系统进行膜厚监控信号处理,并通过控制分析系统实现自动监控。测试结果经方差分析后表明:反映膜厚控制重复性的膜厚标准偏差<0.55%;信噪比达到1 000;数码显示值的线性度非常高,反射率的数码显示分辨极限为0.02%;系统静态漂移的线性程度很高,漂移率<1.95%/h,静态稳定性优于通用系统2倍。提出的系统极大地提高了光学薄膜厚度监控系统的静态、动态稳定性、信噪比以及膜厚控制精度。 展开更多
关键词 薄膜光学 膜厚监控系统 四光束 双锁相电路 复合滤波 稳定性 精度
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光学镀膜仪的监控稳定性研究
17
作者 许世军 任小玲 《真空》 CAS 北大核心 2006年第6期54-57,共4页
光学镀膜仪的膜厚监控稳定性影响着镀膜的合格率,并且对镀膜经验控制,膜系修正和自动化系统开发有重要的意义。对真空镀膜仪进行4种薄膜系列的膜厚监控实验,建立一套稳定性评价体系,获取镀膜仪的稳定性指标。将修正的方差分析方法、不... 光学镀膜仪的膜厚监控稳定性影响着镀膜的合格率,并且对镀膜经验控制,膜系修正和自动化系统开发有重要的意义。对真空镀膜仪进行4种薄膜系列的膜厚监控实验,建立一套稳定性评价体系,获取镀膜仪的稳定性指标。将修正的方差分析方法、不确定度分析方法、标准偏差与相对偏差方法和线性回归方法等综合起来,用6项指标从各个方面对光学薄膜厚度监控的稳定性做出评判,甚至对膜厚控制精度和特征波长做出分析。实验结果表明:上述的综合评价体系是合理的;多层膜比单层膜的监控稳定性稍差一些,膜层材料对稳定性的影响比较大,膜厚控制精度的标准偏差≤0.45%;薄膜层数对膜厚控制精度没有明显的影响,甚至多层膜比少层膜的控制精度要高,出现了“中心层”效应;用线性回归方法可以估计实际镀膜的特征波长长移量。 展开更多
关键词 光学薄膜 膜厚监控稳定性 综合评价指标 方差分析 标准偏差 “中心层”效应
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光学膜厚监控方法 被引量:7
18
作者 殷浩 应雄纯 宗杰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期723-727,共5页
光学膜厚监控方法是光学镀膜过程中用以控制光学薄膜光学厚度的主要方法,也是实现镀膜自动化的关键技术之一。了解光学膜厚监控方法的工作原理、特点及误差来源,有助于在实际应用中根据所镀产品的要求选择合适的光学监控方法及监控参数... 光学膜厚监控方法是光学镀膜过程中用以控制光学薄膜光学厚度的主要方法,也是实现镀膜自动化的关键技术之一。了解光学膜厚监控方法的工作原理、特点及误差来源,有助于在实际应用中根据所镀产品的要求选择合适的光学监控方法及监控参数。文中针对最常用的两种光学膜厚监控方法—单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,给出了单波长下根据薄膜的透射率或反射率推算膜层厚度的计算方法以及宽光谱法所常用的3种评价函数,总结出影响单波长法测量的8种因素和宽光谱法的11种因素,并根据这些因素分析了这两种方法的特点和适用范围。 展开更多
关键词 膜厚监控 光学薄膜 单长法 宽光谱法
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MOCVD多功能在线监测探头的设计与实现 被引量:2
19
作者 杨超普 方文卿 +2 位作者 刘明宝 李春 周春生 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期172-178,共7页
根据MOCVD在线监测设备的发展需要,设计了一种多功能在线监测探头,能够同时实现带反射率修正的三种红外辐射测温以及两个波长的反射率曲线监测,即:940nm/1 550nm双波长比色测温、940nm单色辐射测温、1 550nm单色辐射测温、940nm反射率... 根据MOCVD在线监测设备的发展需要,设计了一种多功能在线监测探头,能够同时实现带反射率修正的三种红外辐射测温以及两个波长的反射率曲线监测,即:940nm/1 550nm双波长比色测温、940nm单色辐射测温、1 550nm单色辐射测温、940nm反射率曲线以及1 550nm反射率曲线监测.对探头的比色测温性能进行测试分析,并利用该探头对Si(111)衬底在我国自主研发的MOCVD系统中生长InGaN/GaN MQW结构蓝光LED外延片进行在线监测.结果分析表明:比色测温900℃~1 100℃范围内精度高于1℃;在700℃~1 100℃范围内重复性误差均在0.7℃内;距离容差性为2mm;三种红外测温最低量程均为435℃;并能有效避免探测孔有效面积变化的影响;由940nm反射率曲线得:n-GaN层的膜厚监测相对误差为3.6%.该设计能够同时实现MOCVD在线测温及膜厚测量,可为MOCVD在线监测设备开发提供参考. 展开更多
关键词 光学设计 在线监测 红外测温 外延 MOCVD 膜厚测量
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光学薄膜厚度的监控 被引量:7
20
作者 巨养锋 韩军 +2 位作者 黄钉劲 弥谦 刘木兴 《西安工业学院学报》 1999年第2期87-90,共4页
提出了一种多层1/4波长膜系的薄膜厚度监控方法.利用这种方法可以在监控过程的同时得到膜层的光学常数且具有监控精度高的优点.
关键词 监控 薄膜 厚度 光学常数 光学薄膜
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