出炉辊道抱轴原因分析及改进设计

通过对出炉辊道抱轴原因分析,制定出相应的改进措施,从出炉辊道的结构和加工工艺等方面进行改进设计,解决了出炉辊道运行中发生抱轴这一问题,改进后的出炉辊道满足高温环境的使用要求,取得良好的效果。

大面积液晶显示面板光刻机新型工作台设计

论述曝光面积达３５６ｍｍ×３５６ｍｍ，套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５１μｍ）液晶显示面版光刻机的新型工作台设计。