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Investigation of Thermodynamic Properties of Zirconia Thin Films by Statistical Moment Method
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作者 Vu Van Hung Le Thi Thanh Huong Dang Thanh Hai 《Materials Sciences and Applications》 2018年第12期949-964,共16页
The moment method in statistical (SMM) dynamics is used to study the thermodynamic quantities of ZrO2 thin films taking into account the anharmonicity effects of the lattice vibrations. The average lattice constant, t... The moment method in statistical (SMM) dynamics is used to study the thermodynamic quantities of ZrO2 thin films taking into account the anharmonicity effects of the lattice vibrations. The average lattice constant, thermal expansion coefficient and specific heats at the constant volume of ZrO2 thin films are calculated as a function of temperature, pressure and thickness of thin film. SMM calculations are performed using the Buckingham potential for the ZrO2 thin films. In the present study, the influence of temperature, pressure and the size on the thermodynamic quantities of ZrO2 thin film have been studied using three different interatomic potentials. We discuss temperature and thickness dependences of some thermodynamic quantities of ZrO2 thin films and we compare our calculated results with those of the experimental results. 展开更多
关键词 Thin film zirconia Lattice CONSTANT Thermal Expansion Coefficient Specific HEATS at the CONSTANT Volume STATISTICAL MOMENT Method
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Improvement of Surface Morphology of Yttrium-Stabilized Zirconia Films Deposited by Pulsed Laser Deposition on Rolling Assisted Biaxially Textured Substrate Tapes
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作者 王梦麟 刘林飞 李贻杰 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第11期101-105,共5页
The surface morphology of buffer layer yttrium-stabilized zirconia (YSZ) of YBa2CuaO7-σ (YBCO) high temperature superconducting films relies on a series of controllable experimental parameters. In this work, we f... The surface morphology of buffer layer yttrium-stabilized zirconia (YSZ) of YBa2CuaO7-σ (YBCO) high temperature superconducting films relies on a series of controllable experimental parameters. In this work, we focus on the influence of pulsed laser frequency and target crystalline type on surface morphology of YSZ films deposited by pulsed laser deposition (PLD) on rolling assisted biaxially textured substrate tapes. Usually two kinds of particles are observed in the YSZ layer: randomly distributed ones on the whole film and self-assembled ones along grain boundaries. SEM images are used to prove that particles can be partly removed when choosing dense targets of single crystalline. Lower frequency of pulsed laser also contributes to a smoother film surface. TEM images are used to view the crystalline structure of thin film. Thus we can obtain a basic understanding of how to prepare a particle-free YSZ buffer layer for YBCO in optimized conditions using PLD. The YBCO layer with nice structure and critical current density of around 5 MA/cm2 can be reached on smooth YSZ samples. 展开更多
关键词 YSZ Improvement of Surface Morphology of Yttrium-Stabilized zirconia films Deposited by Pulsed Laser Deposition on Rolling Assisted Biaxially Textured Substrate Tapes PLD
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YBCO Films Grown on Sapphire with YSZ Buffer Layer
3
作者 石东奇 杨秉川 +2 位作者 王小平 彭正顺 常世安 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1994年第4期269-272,共4页
The (h00) oriented YSZ (yttria-stabilized zirconia) buffer layers were grown successfully on (1120) and(1102) sapphire plane substrates by rf. planar target magnetron sputtering method. The effect of different dep-os... The (h00) oriented YSZ (yttria-stabilized zirconia) buffer layers were grown successfully on (1120) and(1102) sapphire plane substrates by rf. planar target magnetron sputtering method. The effect of different dep-osition conditions on the structure of YSZ films was studied X-ray diffraction rock curve and electron channel-ling pattern (ECP) showed that the YSZ films has highly oriented nature. YBCO (Y BaCuO) films were depos-ited on the YSZ / (1120) Al_2O_3 and (1102) Al_2O_3, substrate by in situ de inverted cyhdrical target magnetronsputtering method. T_c≥88K and J_c=1O × 10 ̄6A / cm ̄2 at 77 K were achieved 展开更多
关键词 YBaCuO film Yttria-stabilized zirconia Buffer layer
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Synthesis and characterization of pure mesoporous zirconia thin film with two-dimensional hexagonal framework
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作者 方华 石伟海 马春阳 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2006年第1期70-72,共3页
Pure mesoporous ZrO2 thin film with two-dimensional hexagonal framework mesostructure has been successfully prepared by using a nonionic triblock copolymer as the structure-directing agent and ZrCl4 as the zireonia so... Pure mesoporous ZrO2 thin film with two-dimensional hexagonal framework mesostructure has been successfully prepared by using a nonionic triblock copolymer as the structure-directing agent and ZrCl4 as the zireonia source through evaporation-induced self-assembly approach. The resulting materials were characterized by X-ray diffraction, scanning electron microscope, and nitrogen adsorption ,neasurenlents. The obtained mesoporous ZrO2 thin film has a nanocrystalline inorganic framework (tetragonal zirconia) and narrowly distributed mcsopore size (6. 7 nm in diameter]. 展开更多
关键词 mesoporous zirconia thin films X-ray diffraction scanning electron microscope
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可用于氧气传感器的新型高离子电导YSZ薄膜制备方法
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作者 马可贞 张靖松 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期24-30,共7页
基于微机电系统的氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜氧气传感器因其小型化、集成化优势而成为新一代氧气传感器的最佳技术路线.集成化小型化的关键在于获取工作温度低,离子电导率高的YSZ薄膜.本工作探究了脉冲激光沉积技术在降低YSZ薄膜工作温... 基于微机电系统的氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜氧气传感器因其小型化、集成化优势而成为新一代氧气传感器的最佳技术路线.集成化小型化的关键在于获取工作温度低,离子电导率高的YSZ薄膜.本工作探究了脉冲激光沉积技术在降低YSZ薄膜工作温度和提高其离子电导率方面的应用;通过在高真空下采用脉冲激光沉积技术,多次沉积与原位氧退火交替实施获取了厚度约为200 nm的YSZ薄膜,分析了沉积与退火温度对薄膜结构、成分、电学性能和氧气气敏性能的影响.此外,本文还验证了氧离子在氧空位中传输是薄膜的主要传导机制,且具有较低的氧离子激活能0.227 eV,最后进行了氧气敏感测试.结果表明:采用PLD法可将YSZ薄膜的工作温度从1073 K降低至873 K,这为基于MEMS的微型YSZ薄膜氧气传感器的研发进行了有效探索. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 YSZ薄膜 离子电导 氧气敏感特性
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溶胶-凝胶法制备的Al_2O_3-ZrO_2陶瓷薄膜早期干燥过程的研究 被引量:9
6
作者 张勤俭 张建华 +2 位作者 李敏 张勤河 毕进子 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期128-130,共3页
采用无机盐先驱体 ,溶胶 -凝胶法制备了Al2 O3-ZrO2 双组分溶胶 ,对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究 .利用扫描电子显微镜观察了不同干燥制度下薄膜的典型形貌 .结果表明 :Al2 O3-ZrO2 陶瓷薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第 ... 采用无机盐先驱体 ,溶胶 -凝胶法制备了Al2 O3-ZrO2 双组分溶胶 ,对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究 .利用扫描电子显微镜观察了不同干燥制度下薄膜的典型形貌 .结果表明 :Al2 O3-ZrO2 陶瓷薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第 1恒速干燥期的干燥速度明显高于第 2恒速干燥期 .在早期干燥过程中温度的作用非常明显 ,随着温度的升高 ,薄膜质量损失率急剧增加 .分级干燥制度可以获得光滑平整。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 氧化铝-氧化铝陶瓷薄膜 早期干燥过程 制备
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TiO_2-ZrO_2复合薄膜的制备和摩擦学性能 被引量:13
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作者 陈云霞 周金芳 刘维民 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期279-284,共6页
以ZrOCl2@8H2O和TiCl4为原料,用溶胶-凝胶法制备了高取向的TiO2-ZrO2复合薄膜,研究了复合薄膜的组成结构、表面形貌和摩擦学性能结果表明,该复合薄膜均匀致密、具有四方ZrO2结构;复合薄膜具有良好的减摩抗磨性能.在0.5 N低负荷下,复合... 以ZrOCl2@8H2O和TiCl4为原料,用溶胶-凝胶法制备了高取向的TiO2-ZrO2复合薄膜,研究了复合薄膜的组成结构、表面形貌和摩擦学性能结果表明,该复合薄膜均匀致密、具有四方ZrO2结构;复合薄膜具有良好的减摩抗磨性能.在0.5 N低负荷下,复合薄膜与AISI 52100钢和Si3N4对磨时的摩擦系数为0.14~0.20,耐磨寿命大于5000次.TiO2-ZrO2复合薄膜可用作特殊工况条件下的减摩抗磨保护性涂层. 展开更多
关键词 制备 TiO2-ZrO2复合薄膜 溶胶-凝胶法 摩擦学 性能 陶瓷薄膜 二氧化钛 二氧化锆
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ZrO_2溅射膜的柱状生长机制 被引量:3
8
作者 夏风 钱晓良 +3 位作者 刘石明 杨欣 刘光葵 孙尧卿 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期443-446,共4页
气相沉积ZrO2 膜常为柱状结构 ,要更好地控制ZrO2 膜性能 ,需要研究ZrO2 膜中柱状结构的形成和演化规律 .在射频溅射条件下沉积了ZrO2 膜 ,发现该膜的柱状晶具有 { 111}面织构 ,其底层可能还有等轴晶 .提出以下柱状晶形成机制 :在光滑 ... 气相沉积ZrO2 膜常为柱状结构 ,要更好地控制ZrO2 膜性能 ,需要研究ZrO2 膜中柱状结构的形成和演化规律 .在射频溅射条件下沉积了ZrO2 膜 ,发现该膜的柱状晶具有 { 111}面织构 ,其底层可能还有等轴晶 .提出以下柱状晶形成机制 :在光滑 (玻璃 )基片上形成的柱状晶源自于在基片表面形成的具有 { 111}面织构的最初晶核 ;在较为粗糙 (多晶Al2 O3)基片表面上形成的柱状晶源自于〈111〉晶向与沉积物质流方向一致的晶核择优生长及随后对其它取向的小晶核的吞噬而形成的晶核群 .基片表面粗糙时 ,由于柱状晶核经过晶核筛选产生 ,柱状晶底部可能有等轴晶层 ;若温度较低 。 展开更多
关键词 氧化锆 薄膜 溅射 织构 柱状生长机制
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电化学沉积法制备钇稳定ZrO_2(YSZ)薄膜 被引量:4
9
作者 谢慧琴 赁泓巍 +2 位作者 康晓红 李陵川 卢立柱 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期451-455,共5页
The yttria-stabilized zirconia(YSZ)film was fabricated on the La 0.8 Sr 0.2 MnO 3(LSM)substrate by electrochemical deposition.The effects of electrochemical deposition conditions on morphological structure of Y(OH) 3 ... The yttria-stabilized zirconia(YSZ)film was fabricated on the La 0.8 Sr 0.2 MnO 3(LSM)substrate by electrochemical deposition.The effects of electrochemical deposition conditions on morphological structure of Y(OH) 3 -Zr(OH) 4 film were studied.The optimal conditions for depositing homogeneous and compact hydroxide film were obtained.The experimental results show that the density of the electrophoretic deposition film is increased remarkably if electrochemical deposition is applied to fill in the pores. 展开更多
关键词 钇稳定二氧化锆 氧化物燃料电池 电化学沉积 氧传感器 材料 电解质薄膜 制备
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铝板表面锆化陶瓷膜的结构及性能 被引量:5
10
作者 王双红 王磊 +1 位作者 刘常升 安成强 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期81-84,共4页
采用锆化工艺在铝板表面制备了陶瓷膜,用扫描电镜和能谱仪分析了陶瓷膜的组织形貌和元素成分,用电化学法研究了陶瓷膜的耐蚀性能,用附着力测定仪测试了陶瓷膜的涂装附着力性能以及用中性盐雾实验研究了涂层体系的耐盐雾性能.结果表明:... 采用锆化工艺在铝板表面制备了陶瓷膜,用扫描电镜和能谱仪分析了陶瓷膜的组织形貌和元素成分,用电化学法研究了陶瓷膜的耐蚀性能,用附着力测定仪测试了陶瓷膜的涂装附着力性能以及用中性盐雾实验研究了涂层体系的耐盐雾性能.结果表明:铝板表面的陶瓷膜为无色的纳米膜层,主要由Zr,Si和Al的氧化物组成;锆化陶瓷膜的的耐电化学腐蚀性能优异,与环氧树脂漆或聚氨酯漆的附着力均为1级;整个涂层体系可通过600 h的中性盐雾实验.锆化陶瓷膜可以用作铝板的漆前打底膜,有望替代污染较重的磷化处理工艺. 展开更多
关键词 铝板 锆酸盐 氟锆酸 陶瓷膜 氧化锆 环保转化膜
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纳米ZrO_2应用现状及前景研究 被引量:13
11
作者 饶晓晓 胡树兵 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F05期143-146,共4页
综述了纳米氧化锆在陶瓷增韧、催化作用、传感器以及功能薄膜等领域的应用,由于纳米ZrO2具有超塑性行为,被用作陶瓷增韧的材料;纳米ZrO2的化学稳定性好,粒子尺寸小,比表面积大,使催化性能大大提高;由于纳米ZrO2禁带宽、折射率高,被广泛... 综述了纳米氧化锆在陶瓷增韧、催化作用、传感器以及功能薄膜等领域的应用,由于纳米ZrO2具有超塑性行为,被用作陶瓷增韧的材料;纳米ZrO2的化学稳定性好,粒子尺寸小,比表面积大,使催化性能大大提高;由于纳米ZrO2禁带宽、折射率高,被广泛应用于各种光学薄膜;纳米氧化锆涂层晶粒堆积紧密、气孔率低、涂层的结合性能较好,被广泛用作热障涂层。综合分析认为纳米氧化锆具有十分广阔的应用前景。 展开更多
关键词 纳米ZRO2 薄膜 涂层
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薄膜型中温固体氧化物燃料电池 (SOFC)研制及性能考察 被引量:14
12
作者 张义煌 董永来 +2 位作者 江义 卢自桂 闫景旺 《电化学》 CAS CSCD 2000年第1期78-83,共6页
用一种廉价的湿化学方法 ,在Ni_YSZ阳极基膜上制备出致密的YttriaStabilizedZirconia(YSZ)薄膜 .薄膜的厚度约为 10 μm ,致密均匀 ,无裂纹等缺陷 .以Ni_YSZ阳极基膜 ,YSZ薄膜和锶掺杂锰酸镧阴极 (LSM )组装的SOFC单电池 ,在 80 0℃下... 用一种廉价的湿化学方法 ,在Ni_YSZ阳极基膜上制备出致密的YttriaStabilizedZirconia(YSZ)薄膜 .薄膜的厚度约为 10 μm ,致密均匀 ,无裂纹等缺陷 .以Ni_YSZ阳极基膜 ,YSZ薄膜和锶掺杂锰酸镧阴极 (LSM )组装的SOFC单电池 ,在 80 0℃下功率密度达 0 1W /cm2 .研究分析表明 ,YSZ薄膜的IR降 (包括电极 /YSZ薄膜的接触电阻 )较小 ,不是影响电池性能的主要因素 ,大的阳极过电位是影响电池性能的主要因素 . 展开更多
关键词 燃料电池 YSZ薄膜 薄膜制备 SOFC
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离心沉积法制备YSZ薄膜及其性能 被引量:6
13
作者 陈孔发 吕喆 +4 位作者 刘江 黄喜强 艾娜 魏波 苏文辉 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期87-89,共3页
用离心沉积方法在NiO-YSZ阳极基底上沉积了氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜,并在1 400℃烧结达到致密;用SDC的硝酸盐浸渍改进的LSM作为阴极,组装燃料电池。阳极通入干燥的H2作燃料,阴极直接暴露在空气中,单体电池在650℃的开路电压(OCV)为1... 用离心沉积方法在NiO-YSZ阳极基底上沉积了氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜,并在1 400℃烧结达到致密;用SDC的硝酸盐浸渍改进的LSM作为阴极,组装燃料电池。阳极通入干燥的H2作燃料,阴极直接暴露在空气中,单体电池在650℃的开路电压(OCV)为1.059 V,说明薄膜是完全致密的;800℃时的最高功率密度为535 mW/cm2。800℃时的阻抗谱表明,通过改变阳极端的气氛,可以区分出阴、阳极的阻抗。 展开更多
关键词 氧化钇稳定的氧化锆(YSZ) 阳极 离心沉积 薄膜
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氧化锆涂层(薄膜)的应用与研究 被引量:35
14
作者 梁波 陈煌 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2003年第6期63-67,74,共6页
重点归纳了氧化锆 (ZrO2 )作为热障涂层材料的应用和研究内容 ,并对ZrO2 功能薄膜材料和生物涂层材料的研究进行了简单总结。对纳米氧化锆涂层的研究现状进行初步介绍。
关键词 氧化锆 热障涂层材料 功能薄膜 生物涂层 纳米涂层
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用电泳沉积-电沉积联合法制备二氧化锆(YSZ)薄膜 被引量:3
15
作者 卢立柱 赁泓巍 谢慧琴 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期525-529,共5页
先用电泳法在掺锶锰酸镧(La_0.8Sr0.2MnO_3-LSM)基片沉积一层忆稳定二氧化锆(yttria-stabilized zirconia-YSZ)薄膜,在烧结后的电泳薄膜上进行若干次电沉积和烧结,以封堵薄膜中孔... 先用电泳法在掺锶锰酸镧(La_0.8Sr0.2MnO_3-LSM)基片沉积一层忆稳定二氧化锆(yttria-stabilized zirconia-YSZ)薄膜,在烧结后的电泳薄膜上进行若干次电沉积和烧结,以封堵薄膜中孔隙进行.上述联合法综合了电泳沉积薄膜附着力强,烧结时不龟裂的优点和电沉积薄膜的颗粒细,易烧结性的优点,较好地解决了电化学沉积膜难以烧结致密的问题.制备出的薄膜致密性高,厚度为8~14μm. 展开更多
关键词 电沉积 钇稳定二氧化锆薄膜 电泳沉积 致密性 锰酸镧基片 附着力 烧结 制备
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烧结温度对ZrO_2薄膜表面形貌及力学性能的影响 被引量:3
16
作者 冀国俊 李敏 +1 位作者 张智慧 张薇 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期184-187,共4页
采用溶胶-凝胶法在玻璃基体表面制备了经300℃,400℃和500℃烧结热处理的ZrO2薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜和纳米压痕仪研究了烧结温度对ZrO2薄膜表面形貌和力学性能的影响。实验结果表明,随着烧结温度的增加,ZrO2的晶体结构由... 采用溶胶-凝胶法在玻璃基体表面制备了经300℃,400℃和500℃烧结热处理的ZrO2薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜和纳米压痕仪研究了烧结温度对ZrO2薄膜表面形貌和力学性能的影响。实验结果表明,随着烧结温度的增加,ZrO2的晶体结构由少量的单斜晶相逐渐转变为单斜晶相和四方晶相的混合相。薄膜表面形貌逐渐改善,薄膜的表面粗糙度和颗粒度依次减小,薄膜的表面粗糙度分别为10.5nm、7.2nm和5.6nm,ZrO2的粒径分别为188nm、153nm和130nm。ZrO2薄膜的弹性模量和硬度都显著提高,薄膜的弹性模量分别为89.6GPa、114.2GPa和128.9GPa,薄膜的硬度分别为7.6GPa、10.3GPa和15.1GPa。 展开更多
关键词 ZRO2薄膜 烧结温度 表面形貌 力学性能
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ZIRLO合金和Zr-4合金在LiOH水溶液中耐腐蚀性能的研究 被引量:8
17
作者 刘文庆 周邦新 李强 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期215-218,252,共5页
比较了ZIRLO合金和Zr-4合金两种样品在350℃、16.8MPa、0.04MLiOH水溶液中的耐腐蚀性能,发现Zr-4合金样品在腐蚀转折之前的腐蚀增重比ZIRLO合金稍低,这时两种样品的氧化膜相对完整而致密。用二次离子质谱仪(SIMS)测量Li+在两种合金样品... 比较了ZIRLO合金和Zr-4合金两种样品在350℃、16.8MPa、0.04MLiOH水溶液中的耐腐蚀性能,发现Zr-4合金样品在腐蚀转折之前的腐蚀增重比ZIRLO合金稍低,这时两种样品的氧化膜相对完整而致密。用二次离子质谱仪(SIMS)测量Li+在两种合金样品氧化膜剖面中的分布,发现Li+进入Zr-4合金氧化膜的深度比ZIRLO合金浅,但浓度比较高。而腐蚀至68天在Zr-4合金样品腐蚀发生转折后,其腐蚀增重远高于ZIRLO合金,这是因为此时Zr-4合金样品氧化膜因疏松而失去保护作用,而ZIRLO合金样品腐蚀至82天氧化膜仍致密而完整。ZIRLO合金中细小的bNb和Zr-Fe-Nb第二相粒子可能对保持氧化膜的完整性有重要作用。 展开更多
关键词 ZIRLO合金 ZR-4合金 耐腐蚀性能 二次离子质谱
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固体氧化物燃料电池YSZ电解质薄膜的制备方法概述 被引量:17
18
作者 范宝安 朱庆山 谢朝晖 《过程工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期75-83,共9页
固体氧化物燃料电池(SOFC)是一类既能发电,又无噪声污染、高效清洁的能量转换装置. 氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)是应用最为广泛的SOFC电解质材料. SOFC制备的关键技术之一是获得足够薄且不透气的YSZ电解质薄膜. 本文综述了几种不同的制备YS... 固体氧化物燃料电池(SOFC)是一类既能发电,又无噪声污染、高效清洁的能量转换装置. 氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)是应用最为广泛的SOFC电解质材料. SOFC制备的关键技术之一是获得足够薄且不透气的YSZ电解质薄膜. 本文综述了几种不同的制备YSZ电解质薄膜的方法,并对它们进行了分析和比较,讨论了它们各自的优缺点和应用场合. 最后,对用于固体氧化物燃料电池的YSZ薄膜制备方法进行了评述和展望. 展开更多
关键词 固体氧化物燃料电池 YSZ 电解质薄膜 制备 气相法 液相法 固相法
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YSZ薄膜的溶胶凝胶法制备及其电导性能 被引量:4
19
作者 章天金 张端明 王世敏 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期440-446,共7页
应用溶胶凝胶方法制备了YSZ薄膜。通过XRD,SEM和低频阻抗分析仪等分析手段,研究了YSZ薄膜的相结构、形貌特征及其电导性能。结果表明:应用溶胶凝胶方法制备的YSZ薄膜经800℃以上热处理后形成完整的立方相结构。随... 应用溶胶凝胶方法制备了YSZ薄膜。通过XRD,SEM和低频阻抗分析仪等分析手段,研究了YSZ薄膜的相结构、形貌特征及其电导性能。结果表明:应用溶胶凝胶方法制备的YSZ薄膜经800℃以上热处理后形成完整的立方相结构。随着烧结温度的升高,薄膜表面变得致密,气孔明显减少。至1050℃时,薄膜表面光滑,无裂纹,无针孔,圆球形的小颗粒均匀分布。薄膜与衬底的结合紧密,薄膜厚度均匀,膜厚约为1.0μm。阻抗谱分析结果表明:YSZ薄膜的阻抗谱是一个完整的半圆,圆心稍低于实轴。在100~1000℃温度范围内,YSZ薄膜的电导率随着温度的升高而增加,且Arrhenius曲线在280℃和500℃处分别出现两次转折。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 电导率 YSZ薄膜 陶瓷半导体
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钇稳定二氧化锆流延成型薄膜的无压烧结研究 被引量:1
20
作者 鲁盛会 李素芳 +3 位作者 向蓝翔 陈宗璋 吴振君 周欣燕 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期62-66,共5页
讨论了流延法制备的钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷薄膜的无压烧结过程。通过SEM、TG-DTA和XRD等手段对素坯和烧结过程进行微观检测和表征。结果表明,固体含量为55%(质量分数)的素坯薄膜,在75℃-1000℃温度区间,有机添加剂的烧除对最终烧结... 讨论了流延法制备的钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷薄膜的无压烧结过程。通过SEM、TG-DTA和XRD等手段对素坯和烧结过程进行微观检测和表征。结果表明,固体含量为55%(质量分数)的素坯薄膜,在75℃-1000℃温度区间,有机添加剂的烧除对最终烧结体的致密化贡献不大,但对陶瓷薄膜的形变影响很大,YSZ素坯薄膜内有机添加剂的匀速烧除,能够有效控制流延法制备陶瓷薄膜的起翘开裂,且能够有效抑制最终烧结体内气孔的数量,对最终致密化起促进作用;在1000℃-1450℃的温度区间,陶瓷薄膜的晶粒生长和致密化主要以表面物质扩散机制进行,且晶粒的生长和致密化同步进行。在最佳烧结温度1500℃时相对密度达到最大值98%左右,随后,晶粒的尺寸随温度及保温时间的增加而增大,而密度有所下降。 展开更多
关键词 氧化锆 薄膜 烧结 流延
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