仿生型超精密平面驱动器及控制器的研究和应用

介绍了仿生型超精密平面驱动器和ＨＲＯＰ系列控制器。用研制的仿生型超精密平面驱动器与普通的工业机器人组成宏／微操作系统，完成了精密装配作业。并介绍了该驱动器的应用情况和发展前景。