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空心阴极制备a-CN_x:H薄膜的结构及力学性能研究
1
作者
倪静
陈志梅
+2 位作者
吴卫东
杨向东
唐永建
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1460-1463,共4页
以CH4和N2为反应气体,采用空心阴极放电激发的等离子体增强化学气相沉积法在Si片上制备出了氢化非晶碳氮(a-CNx∶H)薄膜。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面光洁度及表面形貌进行了测量和表征。利用X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外...
以CH4和N2为反应气体,采用空心阴极放电激发的等离子体增强化学气相沉积法在Si片上制备出了氢化非晶碳氮(a-CNx∶H)薄膜。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面光洁度及表面形貌进行了测量和表征。利用X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外吸收谱(FTIR)和纳米压入(nano-indentation)等测试手段分析了薄膜的成分、结构及力学性能。结果表明:薄膜的表面光滑、致密,表面光洁度<1nm。薄膜的最大N含量达到了26.39%(原子分数),对应的N/C为0.41。XPS和FTIR分析表明:薄膜中的C、N原子是通过C—N、C N、C≡N结合的,同时存在一定量的—CHx和—NHx基团。另外,我们发现薄膜的硬度及弹性模量随N2/CH4比的增加而增加,并且主要受微观结构(C—N/C≡N比)的影响。
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关键词
α-cnx
:
h
空心阴极
纳米压入
硬度
模量
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职称材料
题名
空心阴极制备a-CN_x:H薄膜的结构及力学性能研究
1
作者
倪静
陈志梅
吴卫东
杨向东
唐永建
机构
四川大学原子分子物理研究所
中国工程物理研究院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1460-1463,共4页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA804405)
文摘
以CH4和N2为反应气体,采用空心阴极放电激发的等离子体增强化学气相沉积法在Si片上制备出了氢化非晶碳氮(a-CNx∶H)薄膜。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面光洁度及表面形貌进行了测量和表征。利用X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶红外吸收谱(FTIR)和纳米压入(nano-indentation)等测试手段分析了薄膜的成分、结构及力学性能。结果表明:薄膜的表面光滑、致密,表面光洁度<1nm。薄膜的最大N含量达到了26.39%(原子分数),对应的N/C为0.41。XPS和FTIR分析表明:薄膜中的C、N原子是通过C—N、C N、C≡N结合的,同时存在一定量的—CHx和—NHx基团。另外,我们发现薄膜的硬度及弹性模量随N2/CH4比的增加而增加,并且主要受微观结构(C—N/C≡N比)的影响。
关键词
α-cnx
:
h
空心阴极
纳米压入
硬度
模量
Keywords
Amorp
h
ous carbon
Carbon nitride
Cat
h
odes
Elastic moduli
h
ardness
Indentation
Mec
h
anical properties
Met
h
ane
Nitrogen
Plasma en
h
anced c
h
emical vapor deposition
Silicon
Structure (composition)
Surface morp
h
ology
Surface roug
h
ness
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
空心阴极制备a-CN_x:H薄膜的结构及力学性能研究
倪静
陈志梅
吴卫东
杨向东
唐永建
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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