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气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究 被引量:14
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作者 张晓丹 朱锋 +8 位作者 赵颖 侯国付 魏长春 孙建 张德坤 任慧志 薛俊明 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期414-418,共5页
本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的... 本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的结果都表明了样品的晶化特性 ; 展开更多
关键词 VhF-PECVD 制备方法 气压 μc-si:h 薄膜 微晶硅材料 太阳能电池 光致衰退效应 SWE
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功率密度对VHF-PECVD制备μc-Si:H的影响 被引量:3
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作者 郭学军 卢景霄 +4 位作者 文书堂 杨根 陈永生 张庆丰 谷锦华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1160-1163,共4页
在不同功率密度下用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)法制备了一系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜,并对薄膜的微观结构进行了研究.重点研究了在较低的功率密度下,功率密度的改变对薄膜沉积速率和结晶状况的影响.结果表明,随着功率密度的提高,沉... 在不同功率密度下用甚高频化学气相沉积(VHF-PECVD)法制备了一系列微晶硅(μc-Si:H)薄膜,并对薄膜的微观结构进行了研究.重点研究了在较低的功率密度下,功率密度的改变对薄膜沉积速率和结晶状况的影响.结果表明,随着功率密度的提高,沉积速率逐渐加大,进一步提高功率密度时,沉积速率趋于饱和;与此同时,薄膜的孵化层厚度和形核密度随功率密度而变化. 展开更多
关键词 μc-si:h VhF-PECVD 功率密度 孵化层 成核密度
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Analysis of the double-layer a-Si:H emitter with different doping concentrations for α-Si:H/c-Si heterojunction solar cells 被引量:1
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作者 Haibin HUANG Gangyu TIAN +4 位作者 Tao WANG Chao GAO Jiren YUAN Zhihao YUE Lang ZHOU 《Frontiers in Energy》 SCIE CSCD 2017年第1期92-95,共4页
Double-layer emitters with different doping concentrations (DLE) have been designed and prepared for amorphous silicon/crystalline silicon (ct-Si:H/c-Si) hetero- junction solar cells. Compared with the traditiona... Double-layer emitters with different doping concentrations (DLE) have been designed and prepared for amorphous silicon/crystalline silicon (ct-Si:H/c-Si) hetero- junction solar cells. Compared with the traditional single layer emitter, both the experiment and the simulation (AFORS-HET, http://www.paper.edu.cn/html/releasepaper/2014/04/282/) prove that the double-layer emitter increases the short circuit current of the cells significantly. Based on the quantum efficiency (QE) results and the current-voltage-temperature analysis, the mechanism for the experimental results above has been investigated. The possible reasons for the increased current include the enhancement of the QE in the short wavelength range, the increase of the tunneling probability of the current transport and the decrease of the activation energy of the emitter layers. 展开更多
关键词 double-layer emitter α-si:h/c-si heterojunc-tion solar cell short circuit current quantum efficiency current-voltage-temperature
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μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应 被引量:1
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作者 徐明 王洪涛 +5 位作者 冯良桓 周心明 蔡亚平 冯技文 徐宁 麦振洪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期435-439,共5页
利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸... 利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸收边随着 a- Si∶ H层的减薄而蓝移 ,低温下的电导激活能 Ea 随着 a- Si∶ H层的减薄而减小 . 展开更多
关键词 射频辉光放电法 周期性结构 μc-si:h/a-si:h多层膜 量子尺寸效应 半导体
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纳米硅(nc-Si∶H)/晶体硅(c-Si)异质结太阳电池计算机模拟 被引量:2
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作者 胡志华 夏朝凤 +1 位作者 徐德林 廖显伯 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2003年第3期23-26,共4页
文章运用美国宾州大学发展的 AMPS程序模拟计算了 n-型纳米硅 ( n+ -nc-Si∶ H) /p-型晶体硅 ( p-c-Si)异质结太阳电池的光伏特性。结果显示 ,界面缺陷态是决定电池性能的关键因素 ,显著影响电池的开路电压 ( VOC和填充因子 ( F F)。计... 文章运用美国宾州大学发展的 AMPS程序模拟计算了 n-型纳米硅 ( n+ -nc-Si∶ H) /p-型晶体硅 ( p-c-Si)异质结太阳电池的光伏特性。结果显示 ,界面缺陷态是决定电池性能的关键因素 ,显著影响电池的开路电压 ( VOC和填充因子 ( F F)。计算得到了这种电池理想情况下 (无界面态、有背面场、正背面反射率分别为 0和 1 )的理论极限效率 ηmax=3 1 .1 7% ( AM1 .5 1 0 0 MW/cm2 0 .40~ 1 .1 0 μm波段 )。 展开更多
关键词 nc-si:h/c-si异质结 太阳电池 纳米硅 晶体硅 光伏特性 计算机模拟 极限效率
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嵌入a-Si∶H薄层的μc-Si/c-Sipn异质结太阳能电池热平衡态特性的数值模拟分析
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作者 林鸿生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期15-19,共5页
应用计算机数值模拟方法计算p+ (μc-Si∶H) /n (c-Si) 及p+ (μc-Si∶H) /i (a-Si∶H) /n (c-Si) 异质结太阳能电池中的电场强度分布, 说明μc-Si/c-Si异质结电池制造中μc-... 应用计算机数值模拟方法计算p+ (μc-Si∶H) /n (c-Si) 及p+ (μc-Si∶H) /i (a-Si∶H) /n (c-Si) 异质结太阳能电池中的电场强度分布, 说明μc-Si/c-Si异质结电池制造中μc-Si∶H 膜厚选择,进而对嵌入a-Si∶H 薄层的μc-Si/c-Si异质结太阳能电池设计进行分析, 包括a-Si∶H 薄层p 型掺杂效应及本底单晶硅的电阻率选择, 展开更多
关键词 热平衡态 异质结 太阳电池 μc-si:h 数值模拟
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温度对a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池光伏特性的影响 被引量:1
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作者 曾喆方竹 钟春良 +2 位作者 隆雪燕 佘宏伟 杨迪武 《湖南工业大学学报》 2018年第2期43-48,共6页
运用开路电压解析模型和AMPS模拟分析温度对a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池性能的影响及其机理。随着温度T的升高,热电压增大,开路电压V_(OC)减小。当T<270 K时,填充因子FF迅速增加;当T≥270 K时,FF保持不变,a-Si:H/c-Si异质结太阳能... 运用开路电压解析模型和AMPS模拟分析温度对a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池性能的影响及其机理。随着温度T的升高,热电压增大,开路电压V_(OC)减小。当T<270 K时,填充因子FF迅速增加;当T≥270 K时,FF保持不变,a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池的转化效率在T=270 K取得最佳值。低温工作时,空穴输运受到价带补偿界面势垒的限制,J-V曲线出现S-Shape现象,填充因子FF显著降低。 展开更多
关键词 太阳能电池 a-si:h/c-si异质结 温度 转换效率
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The study of a new n/p tunnel recombination junction and its application in a-Si:H/μc-Si:H tandem solar cells 被引量:6
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作者 李贵君 侯国付 +5 位作者 韩晓艳 袁育洁 魏长春 孙建 赵颖 耿新华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第4期1674-1678,共5页
This paper reports that a double N layer (a-Si:H/μc-Si:H) is used to substitute the single microcrystalline silicon n layer (n-μc-Si:H) in n/p tunnel recombination junction between subcells in a-Si:H/μc-Si... This paper reports that a double N layer (a-Si:H/μc-Si:H) is used to substitute the single microcrystalline silicon n layer (n-μc-Si:H) in n/p tunnel recombination junction between subcells in a-Si:H/μc-Si:H tandem solar cells. The electrical transport and optical properties of these tunnel recombination junctions are investigated by current voltage measurement and transmission measurement. The new n/p tunnel recombination junction shows a better ohmic contact. In addition, the n/p interface is exposed to the air to examine the effect of oxidation on the tunnel recombination junction performance. The open circuit voltage and FF of a-Si:H/μc-Si:H tandem solar cell are all improved and the current leakage of the subcells can be effectively prevented efficiently when the new n/p junction is implemented as tunnel recombination junction. 展开更多
关键词 double N layer tunnel recombination junction oxidation interface a-si:h/μc-si:h tan-dem solar cell
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An analytical model to explore open-circuit voltage of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells 被引量:1
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作者 钟春良 耿魁伟 +1 位作者 罗兰娥 杨迪武 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第3期598-603,共6页
The effect of the parameters on the open-circuit voltage, V_(OC) of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells was explored by an analytical model. The analytical results show that V_(OC) increases linearly with the logar... The effect of the parameters on the open-circuit voltage, V_(OC) of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells was explored by an analytical model. The analytical results show that V_(OC) increases linearly with the logarithm of illumination intensity under usual illumination. There are two critical values of the interface state density(D_(it)) for the open-circuit voltage(V_(OC)), D_(it)^(crit,1) and D_(it)crit,2(a few 1010 cm^(-2)·e V^(-1)). V_(OC) decreases remarkably when D_(it) is higher than D_(it)^(crit,1). To achieve high V_(OC), the interface states should reduce down to a few 1010 cm^(-2)·e V^(-1). Due to the difference between the effective density of states in the conduction and valence band edges of c-Si, the open-circuit voltage of a-Si:H/c-Si heterojunction cells fabricated on n-type c-Si wafers is about 22 mV higher than that fabricated on p-type c-Si wafers at the same case. V_(OC) decreases with decreasing the a-Si:H doping concentration at low doping level since the electric field over the c-Si depletion region is reduced at low doping level. Therefore, the a-Si:H layer should be doped higher than a critical value of 5×10^(18) cm^(-3) to achieve high V_(OC). 展开更多
关键词 solar cells a-si:h/c-si heterojunctions open-circuit voltage
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The influence of SiNx substrate on crystallinity of μc-Si film used in thin film transistors
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作者 李娟 吴春亚 +4 位作者 刘建平 赵淑芸 孟志国 熊绍珍 张丽珠 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第6期1330-1334,共5页
This paper found that the crystalline volume ratio (Xc) of μc-Si deposited on SiNx substrate is higher than that on 7059 glass. At the same silane concentration (SC) (for example, at SC=2%), the Xc of μc-Si de... This paper found that the crystalline volume ratio (Xc) of μc-Si deposited on SiNx substrate is higher than that on 7059 glass. At the same silane concentration (SC) (for example, at SC=2%), the Xc of μc-Si deposited on SiNx is more than 64%, but just 44% if deposited on Conning 7059. It considered that the ‘hills' on SiNx substrate would promote the crystalline growth of μc-Si thin film, which has been confirmed by atomic force microscope (AFM) observation. Comparing several thin film transistor (TFT) samples whose active-layer were deposited under various SC, this paper found that the appropriate SC for the μc-Si thin film used in TFT as active layer should be more than 2%, and Xc should be around 50%. Additionally, the stability comparison of μc-Si TFT and a-Si TFT is shown in this paper. 展开更多
关键词 μc-si:h thin film SiNx substrate CRYSTALLINITY bottom-gate TFT
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Structural Un-uniformity and Electrical Anisotropy of μc-Si:H Films
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作者 HAN Chunlong1, LI Juan2 (1. Zhong Huan System Engineering Co., Ltd, Tianjin 300060, CHN 2. Institute of Photo-electronics, Nankai University, Tianjin 300071, CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2010年第4期137-140,145,共5页
Structural un-uniformity and electrical anisotropy of μc-Si∶H film are investigated in this paper. It is found that the structure of μc-Si∶H film along the direction perpendicular to the substrate is not uniform, ... Structural un-uniformity and electrical anisotropy of μc-Si∶H film are investigated in this paper. It is found that the structure of μc-Si∶H film along the direction perpendicular to the substrate is not uniform, which is modulated by film thickness. In addition, there is a dark conductivity anisotropy along the direction parallel(σ∥) and perpendicular(σ⊥)to the substrate in μc-Si∶H film. The reasons for such an property of μc-Si∶H film and the effect of oxygen contamination are analyzed. 展开更多
关键词 μc-sih ThIN film MICRO-STRUCTURE ANISOTROPY electrical PROPERTY
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Simulation of a-Si:H/c-Si heterojunction solar cells: From planar junction to local junction
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作者 Haibin Huang Lang Zhou +1 位作者 Jiren Yuan Zhijue Quan 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期370-377,共8页
In order to obtain higher conversion efficiency and to reduce production cost for hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon(a-Si:H/c-Si) based heterojunction solar cells, an a-Si:H/c-Si heterojunction with lo... In order to obtain higher conversion efficiency and to reduce production cost for hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon(a-Si:H/c-Si) based heterojunction solar cells, an a-Si:H/c-Si heterojunction with localized p–n structure(HACL) is designed. A numerical simulation is performed with the ATLAS program. The effect of the a-Si:H layer on the performance of the HIT(heterojunction with intrinsic thin film) solar cell is investigated. The performance improvement mechanism for the HACL cell is explored. The potential performance of the HACL solar cell is compared with those of the HIT and HACD(heterojunction of amorphous silicon and crystalline silicon with diffused junction) solar cells.The simulated results indicate that the a-Si:H layer can bring about much absorption loss. The conversion efficiency and the short-circuit current density of the HACL cell can reach 28.18% and 43.06 m A/cm^2, respectively, and are higher than those of the HIT and HACD solar cells. The great improvement are attributed to(1) decrease of optical absorption loss of a-Si:H and(2) decrease of photocarrier recombination for the HACL cell. The double-side local junction is very suitable for the bifacial solar cells. For an HACL cell with n-type or p-type c-Si base, all n-type or p-type c-Si passivating layers are feasible for convenience of the double-side diffusion process. Moreover, the HACL structure can reduce the consumption of rare materials since the transparent conductive oxide(TCO) can be free in this structure. It is concluded that the HACL solar cell is a promising structure for high efficiency and low cost. 展开更多
关键词 silicon solar cell a-si:h/c-si heterojunction short-circuit current local junction
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Influence of substrate temperature on the deposition and structural properties of μc-Si:H thin films fabricated with VHF-PECVD
13
作者 YANG Hui-dongt 《Optoelectronics Letters》 EI 2005年第1期21-23,共3页
With in situ optical emission spectroscopy (OES) diagnosis on VHF-generated H2 + SiH4 plasmas,and with the measurements of deposition rate and structure of μc-Si. H thin films fabricated with VHFPECVD technique at... With in situ optical emission spectroscopy (OES) diagnosis on VHF-generated H2 + SiH4 plasmas,and with the measurements of deposition rate and structure of μc-Si. H thin films fabricated with VHFPECVD technique at different substracte temperature, influence of substrate temperature on the deposition of μc-Si.H thin film and on its structural properties have been investigated. The results show that with the increase of substrate temperature,the crystalline volume fraction Xc and average grain size d are enhanced monotonously, but the deposition rate increases firstly and then decreases. The optimized substrate temperature for μc-Si:H thin films deposition under our current growth system is about 210 ℃ ,at which deposition rate O. 8 nm/s of pc-Si;H thin film with Xc-60% and d-9 nm can be obtained. 展开更多
关键词 μc-si: h薄膜 晶体结构 沉积作用 温度条件 生长系统
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基于沉积温度优化和后退火工艺改善a-Si∶H/c-Si界面钝化质量的研究
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作者 王楠 梁芮 周玉琴 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第7期1287-1292,1313,共7页
a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换... a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换红外光谱法对a-Si∶H薄膜的微结构进行表征,以探索其钝化机理:低温下制备的a-Si∶H薄膜氢浓度高并有微空洞,从而影响钝化效果;高温下制备的a-Si∶H薄膜消除了微空洞而明显改善钝化质量。但是,过高的沉积温度又会导致a-Si∶H薄膜中微空位的产生从而影响钝化效果。此外,对比了两种典型后退火工艺对钝化效果的影响:一种是基于200℃退火10min,一种是基于450℃退火30s,并对相关钝化机理进行了研究。结果表明,第二种退火方式明显改善样品的钝化效果,主要原因是该退火消除了低温沉积样品中的微空洞和高温沉积样品中的微空位。最后,通过透射电镜研究了退火后的a-Si∶H/c-Si界面微结构,并未观察到影响钝化效果的外延生长。 展开更多
关键词 氢化非晶硅 a-sih/c-si界面钝化 后退火处理 钝化机理
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H_6P_2W_(18)O_(62)/TiO_2-SiO_2光催化降解有机染料 被引量:8
15
作者 杨志远 刘晓霞 +1 位作者 徐玉林 杨水金 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期571-577,共7页
采用浸渍法制备了H6P2W18O62/Ti O2-Si O2光催化剂,并采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、X射线粉末衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对其进行了表征。通过光催化剂H6P2W18O62/Ti O2-Si O2对含甲基橙模拟废水进行处理,结果表明,H6P2W18... 采用浸渍法制备了H6P2W18O62/Ti O2-Si O2光催化剂,并采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、X射线粉末衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对其进行了表征。通过光催化剂H6P2W18O62/Ti O2-Si O2对含甲基橙模拟废水进行处理,结果表明,H6P2W18O62/Ti O2-Si O2光催化剂表现出较高的光催化性能,在催化剂用量为1.39 g/L,甲基橙溶液质量浓度为5 mg/L,初始p H=3.5,反应时间2.5 h的条件下,甲基橙的降解率可达99.2%,且产生了协同效应。H6P2W18O62/Ti O2-Si O2光催化剂对罗丹明B、亚甲基蓝和甲基红均具有较高的光催化性能,降解率达84.0%~100.0%。光催化剂还表现出较好的重复使用性能,第5次降解率仍为94.4%。 展开更多
关键词 h6P2W18O62/Ti O2-si O2 光催化 降解 甲基橙 水处理技术与环境保护
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α-Si:H快速退火电学性质的研究 被引量:1
16
作者 董会宁 杨文颖 《四川师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1996年第5期83-84,共2页
对α-Si:H材料作快速退火固体晶化工艺处理,Hal效应测试表明:随着退火温度的增加,μH和σ逐渐增加.经800℃,8min退火后,样品电导率激活能0.104eV.
关键词 α-si:h 快速退火 霍尔效应
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MWECRCVD法高速沉积α-Si:H薄膜的红外光谱研究
17
作者 宋雪梅 宋道颖 +5 位作者 陈蔚忠 芦奇力 冯贞健 鲍旭红 邓金祥 陈光华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期321-324,共4页
应用微波电子回旋共振化学气相沉积 (MWECRCVD)方法 ,在较高速度下沉积了α Si:H薄膜 ,用FTIR红外谱仪研究了α Si:H薄膜的结构特性随H2 /SiH4 、沉积温度和沉积速率变化关系 ,并对 2 0 0 0cm-1附近的特征吸收峰用高斯函数进行了拟合分... 应用微波电子回旋共振化学气相沉积 (MWECRCVD)方法 ,在较高速度下沉积了α Si:H薄膜 ,用FTIR红外谱仪研究了α Si:H薄膜的结构特性随H2 /SiH4 、沉积温度和沉积速率变化关系 ,并对 2 0 0 0cm-1附近的特征吸收峰用高斯函数进行了拟合分析 ,获得了沉积高质量α Si:H薄膜的最佳工艺条件。 展开更多
关键词 MWECR-CVD法 α-si:h薄膜 IR分析 高斯函数拟合
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PCVD法沉积a-Si∶H薄膜初始阶段的计算机模拟
18
作者 姚若河 林璇英 +2 位作者 黄创君 杨坤进 林揆训 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期506-507,共2页
利用MonteCarlo模型研究了用PCVD法沉积a Si∶H薄膜初始阶段团簇的大小和数目与衬底温度的关系。该模型考虑了两个成长阶段 ,即成核阶段和晶核成长阶段 ;3种动力学过程 ,即粒子入射、吸附粒子扩散和吸附粒子脱附过程。模拟结果表明 ,随... 利用MonteCarlo模型研究了用PCVD法沉积a Si∶H薄膜初始阶段团簇的大小和数目与衬底温度的关系。该模型考虑了两个成长阶段 ,即成核阶段和晶核成长阶段 ;3种动力学过程 ,即粒子入射、吸附粒子扩散和吸附粒子脱附过程。模拟结果表明 ,随着衬底温度的升高 ,团簇的数目和大小都有所增长 ,且存在一个最佳温度 5 5 0K ,使团簇的数目达到饱和 ,晶粒为最大 。 展开更多
关键词 计算机模拟 MONTE CARLO方法 PCVD 氢化非晶硅合金薄膜 α-si:h薄膜
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CO_2激光化学气相沉积a-Si:H薄膜
19
作者 袁加勇 陈钰清 王颖 《激光技术》 CAS CSCD 1991年第3期166-171,共6页
用输出功率为50W的CW CO_2激光照射纯硅烷(SiH_4)气体得到了a-Si:H薄膜。沉积速率达到200 /min。用电子衍射方法测定了所沉积的薄膜是非晶态的。测量了薄膜的光电导率和暗电导率,其比值达10~4量级。用紫外可见光谱分析了薄膜的光学性质... 用输出功率为50W的CW CO_2激光照射纯硅烷(SiH_4)气体得到了a-Si:H薄膜。沉积速率达到200 /min。用电子衍射方法测定了所沉积的薄膜是非晶态的。测量了薄膜的光电导率和暗电导率,其比值达10~4量级。用紫外可见光谱分析了薄膜的光学性质,计算出光能隙为1.44~2.0eV。得到了沉积速率、光电导率、暗电导率、光学能隙随基片温度变化的关系曲线。阐述了CO_2激光化学气相沉积a-Si:H薄膜的机理。 展开更多
关键词 CO2激光 化学气相沉积 α-si:h
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掺钇α-Si:H膜的光性研究
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作者 张淑芝 程兴奎 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1991年第4期259-264,共6页
用反射消光式椭圆偏振光谱研究了射频溅射法制备的不同衬底温度和不同掺钇浓度下的α-Si:H(Y)膜在可见光区的光学性质,结果与透射谱一致。由红外吸收谱判断膜中氢含量和存在形式随生长条件和掺钇浓度变化。
关键词 掺钇 α-si:h 薄膜 光学性质
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