氮化反应合成β’-Sialon材料的工艺研究

研究了以硅粉、铝粉和氧化铝粉为原料氮化反应制备不同Z值 β’ Sialon材料的氮化工艺制度 :以 10℃·min- 1的升温速度升到 6 0 0℃ ,再以小于 2℃·min- 1的升温速度升到 70 0℃ ,保温 2 .5h ;以 10℃·min- 1的升温速度升到 12 0 0℃ ,再以 2℃·min- 1的升温速度升到 135 0℃ ,保温 6h。炉内气氛为流动氮气 ,流速小于 0 .2m3 ·h- 1。所有试样的氮化率都在 80 %以上 ,说明该工艺制度是合适的。物相分析表明 :氮化最终产物以 β’ Sialon为主 ,高Z值试样残余较多的α Al2 O3 ,并伴生少量15R相 ;烧结后试样的 β’ Sialon呈棱柱状。