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β反散射镀层测厚仪及其在镀层测量方面的应用
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作者 丁建英 《机电元件》 1990年第1期18-25,共8页
在机械加工行业,厚度测量方法很多,但对于仅1微米或几微米的镀层厚度测量是比较困难的。目前国外已普遍使用,国内也逐渐采用放射性同位素仪表-β反散射镀层测厚仪进行检测。本文试图通过对β反散射测量基本原理、β反散射镀层测厚仪生... 在机械加工行业,厚度测量方法很多,但对于仅1微米或几微米的镀层厚度测量是比较困难的。目前国外已普遍使用,国内也逐渐采用放射性同位素仪表-β反散射镀层测厚仪进行检测。本文试图通过对β反散射测量基本原理、β反散射镀层测厚仪生产厂家、仪表型号、功能、特点和探测系统附件及其选用、维护和常见故障的排除给予启示。 展开更多
关键词 β测厚仪 镀层 测量 应用 测厚仪
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