低能量X-RAY测厚仪与β-RAY测厚仪在薄膜生产中的应用比较

分析比较了低能量 X- RAY和β- RAY两种测厚仪在薄膜生产测量中的差别。指出低能量 X- RAY测厚仪将逐渐替代 β- RAY测厚仪 ,成为今后薄膜厚度测量的主流机型。