临界反应距离法微细电化学高效加工大长径比微电极

提出了一种基于临界反应距离控制的微细电化学(μ-ECM)在线高效制备大长径比微电极方法,旨在解决大长径比微电极制备难题。采用强碱性电解液及微秒级电源,实现了钨电极的微米级精度可控去除。分析了微细电化学加工材料去除微观过程,仿真分析了两极距离变化条件下间隙电流密度变化,确定了基于临界反应距离精确控制材料去除的参数选择范围。建立了电极材料蚀除过程数学模型,得到了材料蚀除量的变化规律。进行了系统的工艺实验,研究了电压、脉宽、电解液浓度对微细电极材料去除率的影响规律。采用优化的工艺参数,得到了直径10μm、长径比大于200的微细电极,材料去除率最高可达2.7×10^(-2)mm^(3)/min,加工效率较目前主流方法提高一个数量级。