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半导体材料缺陷工程
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作者 杨德仁 《国际学术动态》 2000年第5期31-33,共3页
第8届半导体技术吸杂和缺陷工程会议((Gettering and defect engineering in semicon-ductor technology,GADEST’99)于1999年9月25日至28日在瑞典隆德市附近的赫尔(HOOR)举行。来自24个国家的百位科学家参加了会议,会议交流论文近百篇... 第8届半导体技术吸杂和缺陷工程会议((Gettering and defect engineering in semicon-ductor technology,GADEST’99)于1999年9月25日至28日在瑞典隆德市附近的赫尔(HOOR)举行。来自24个国家的百位科学家参加了会议,会议交流论文近百篇,浙江大学一篇关于硅中氮杂质研究的论文在大会宣读。 展开更多
关键词 “半导体技术吸杂和缺陷工程会议” 半导体材料
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