发展高端产业“双碳”环控技术的思路、机理与措施

高端产业工艺制程不断对高质量的环境控制提出新的要求、新的挑战,引发越来越高的能耗,传统节能降耗措施受到更多的约束,施展的空间更小。“双碳”战略提出了更高要求,本文基于高端产业工艺环境控制的特点与制约因素,介绍了通过多源组合能源提高能源利用效率、改革生产工艺实现高级别微环境与低级别大环境的组合模式、调整实需控制参数与系统解耦实施合理的工艺环境控制、保障工艺制程等方面的典型案例及其理性环控途径,探讨了适合高端产业良性发展的“双碳”环控技术的思路、机理与措施。