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国内高纯气体应用现状
被引量:
16
1
作者
牛丽红
于世林
《低温与特气》
CAS
2010年第3期7-9,22,共4页
阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠...
阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠性,检测分析仪器性能,实验室间检测能力比对中的应用;在工业生产中,在单项测量仪器或在线流程分析仪器中作为"零点气"的应用。
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关键词
高纯
气体
电子工业
质量保证
“零点”气体
下载PDF
职称材料
题名
国内高纯气体应用现状
被引量:
16
1
作者
牛丽红
于世林
机构
北京化工大学北方学院
出处
《低温与特气》
CAS
2010年第3期7-9,22,共4页
文摘
阐述了我国高纯气体应用现状,强调了在电子工业生产中,特种高纯气体在大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件中的应用;在化学测量质量保证中,校准测量体系,评价分析方法的可靠性,检测分析仪器性能,实验室间检测能力比对中的应用;在工业生产中,在单项测量仪器或在线流程分析仪器中作为"零点气"的应用。
关键词
高纯
气体
电子工业
质量保证
“零点”气体
Keywords
high purity gas
electronics industry
quality assurance
"zero point" gas
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
国内高纯气体应用现状
牛丽红
于世林
《低温与特气》
CAS
2010
16
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