厚膜一体化温湿度传感器中热敏材料的制备工艺及机理研究

概述了一体化温湿度传感器的特点及发展现状,对厚膜一体化温湿度传感器中热敏材料的设计、制备方法及特性进行了深入的研究,对实验结果进行了分析讨论。给出与一体化传感器中湿敏材料相匹配的负温度系数热敏材料的成分与阻温特性的关系,制备工艺对阻温特性及材料粒度、粒度均匀性的影响,同时,还给出了几组热敏材料的实验数据和用此材料制备的一体化厚膜温湿度传感器的特性曲线。