一体型平行弹簧扫描隧道显微镜

描述了一种新结构形式的扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）系统。该系统使用一体型平行弹簧和压电致动元件（ＰＺＴ）作为精密二维位置控制器件，使得ｘ轴和ｙ轴间的位移干扰变得极其微小。控制ｚ轴位移及试件与探针间距的压电致动元件是以悬挂方式固定在一体型平行弹簧上的，因此，对ｚ轴的位移干扰亦可忽略。

平行弹簧和PZT组合的钠米结构研究

由平行弹簧和ＰＺＴ构成的纳米位置控制机构，将在纳米加工和测试装置中得到广泛的应用。本文在对该种结构进行了较深入系统探讨的基础上，推出了一种由新型一体型平行弹簧构成的二维纳米微动机构。其轴间干扰小．位置控制精度高，动态特性好。