我国改良西门子法多晶硅生产技术进展

简述了近几年我国改良西门子法多晶硅的技术进展,列出了大部分已建和在建多晶硅厂(公司)。文中给出了多晶硅产量、电能单耗和SiCl4热氢化的一些数据,并指出当前生产中存在的一些问题。