气相色谱-质谱法同时测定高纯三氯氢硅中4种甲基氯硅烷的方法研究

以1,2-二氯乙烷为内标,采用气相色谱-质谱(GC-MS)联用仪用内标法对多晶硅生产用高纯三氯氢硅(SiHCl3)中一甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷、一甲基三氯硅烷及二甲基二氯硅烷4种杂质快速分离与测定。结果表明,4种甲基氯硅烷经毛细管柱在3min之内实现较好的分离,该方法重现性较好,可用于多晶硅生产用三氯氢硅中含碳杂质甲基氯硅烷的分析测定。

促进剂存在下三氯化铝歧化甲基氯硅烷反应机理探讨

探讨了一甲基三氯硅烷和三甲基一氯硅烷歧化反应机理。实验结果表明,在促进剂一甲基二氯硅烷存在下,以AlCl_3催化的一甲基三氯硅烷与三甲基一氯硅烷的歧化反应实现了一甲基三氯硅烷和三甲基一氯硅烷的有效利用,制得了甲基氯硅烷混合物,反应过程主要为亲核取代反应;一甲基二氯硅烷的主要作用是与AlCl_3结合促进配位化合物[AlCl_4]^-的形成;反应前后一甲基二氯硅烷的含量变化较小。

甲基高含氢硅油安全生产措施与防治

甲基高含氢硅油生产所用原料是甲苯、一甲基二氯硅烷、二甲基二氯硅烷和三甲基一氯硅烷和浓硫酸。甲苯、一甲基二氯硅烷、二甲基二氯硅烷和三甲基一氯硅烷具有闪点低,是A易燃液体,又是A可燃液体。浓硫酸具有强腐蚀性。是危化品建设生产单位。原料在生产、储运等过程中发生的介质泄漏问题,严重影响生产安全、污染环境。所以,生产,运输和贮存都要有严格的安全生产管理制度。