一等量块光波干涉测量要件

以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。

0.5～100毫米一等量块的光波干涉测量

本文拟从测量系统、不确定度与测量结果这两个方面介绍我院测量不确定度为U99≤( 0 0 2 +0 2L) μm的一等量块光波干涉测量。

干涉条纹小数的测量

对高精度干涉条纹小数测量的方法进行了系统的介绍。就干涉条纹小数的定义、暗条纹中心的确定、量块中心长度测量的起始和终了位置进行了较全面的分析，实现了不确定度为2nm的干涉条纹小数的测量。引用实验与国际比对结果理论分析予以验证。