压电驱动一维微动平台的动力性能仿真

为降低一维微动平台定位机构的复杂性，消除输出位移的耦合，根据s型柔性铰链的结构特性，设计了基于压电堆栈驱动和S型柔性铰链为定位机构的一维微动平台。应用ANSYS软件对其进行动力性能仿真分析。结果表明：材料的许用应力340MPa，微动平台的最大应力为37MPa，这小于许用应力，满足强度设计要求。微动平台可以实现0～46．8μm的微位移输出。该结果为进一步研究二维微动平台提供了参考依据。