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一维版图的快速光刻仿真
1
作者
谢春蕾
史峥
林斌
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期60-68,共9页
充分利用光刻系统中光源的部分相干特性和一维图形的特性,提出了针对一维版图的快速平面光刻仿真算法。该方法由一维基元图形查表法、最小查找表及其边缘延伸和无切割的大面积版图仿真组成。仿真结果表明,在保证极高准确性的基础上,相...
充分利用光刻系统中光源的部分相干特性和一维图形的特性,提出了针对一维版图的快速平面光刻仿真算法。该方法由一维基元图形查表法、最小查找表及其边缘延伸和无切割的大面积版图仿真组成。仿真结果表明,在保证极高准确性的基础上,相比于传统的快速仿真方法,该方法将查找表的建立时间缩短了95%以上、基本图形的仿真速度提高了48%左右、大面积版图的仿真速度提高了70%以上。
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关键词
成像系统
光刻
光刻仿真
一维版图
原文传递
题名
一维版图的快速光刻仿真
1
作者
谢春蕾
史峥
林斌
机构
浙江大学超大规模集成电路设计研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期60-68,共9页
文摘
充分利用光刻系统中光源的部分相干特性和一维图形的特性,提出了针对一维版图的快速平面光刻仿真算法。该方法由一维基元图形查表法、最小查找表及其边缘延伸和无切割的大面积版图仿真组成。仿真结果表明,在保证极高准确性的基础上,相比于传统的快速仿真方法,该方法将查找表的建立时间缩短了95%以上、基本图形的仿真速度提高了48%左右、大面积版图的仿真速度提高了70%以上。
关键词
成像系统
光刻
光刻仿真
一维版图
Keywords
imaging systems
lithography
lithography simulation
one-dimensional layout
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一维版图的快速光刻仿真
谢春蕾
史峥
林斌
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
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